真空镀膜用防腐蚀靶芯的制作方法
【专利摘要】一种真空镀膜用防腐蚀靶芯，包括磁铁基座、锌块、磁铁、靶材，所述磁铁基座为中空圆管，磁铁基座两端为不锈钢材质，磁铁基座中间为碳钢，磁铁基座上设有锌块，所述磁铁外表面设有一层防腐蚀层，磁铁设置在磁铁基座上，所述靶材为中空圆管，靶材通过两端固定套设在磁铁基座上。该真空镀膜用防腐蚀靶芯通过将磁铁基座与活泼金属锌块连接从而形成原电池，同时在磁铁的外表面包覆或涂覆一层防腐蚀层，将磁铁与冷却水隔离，从而避免了由于电化学腐蚀而导致的磁铁基座和磁铁生锈。
【专利说明】
真空镀膜用防腐蚀靶芯
技术领域
[0001]本实用新型涉及物理气相沉积设备领域，尤其涉及一种真空镀膜用防腐蚀靶芯。
【背景技术】
[0002]真空镀膜技术如物理气相沉积(PVD)等已经在很多领域得到广泛应用，如太阳能光伏、光热、LED、磁存储材料制备等，近年尤甚。靶中磁铁及磁铁基座因被冷却水腐蚀而严重影响其使用寿命，进而影响镀膜产品的生产效率。
[0003]针对磁铁及磁铁基座防腐蚀，人们也采取了很多措施，如磁铁外表面镀铬涂层，冷却水采用去离子水取代自来水等等，这些方法均能起到一定的防腐作用，但同时也存在很多问题，如镀铬涂层易脱落、成本高等。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的在于提供一种结构简单、成本低、可靠性高的真空镀膜用防腐蚀靶芯。
[0005]为解决上述技术问题，本实用新型提供一种真空镀膜用防腐蚀靶芯，包括磁铁基座、锌块、磁铁、靶材，所述磁铁基座为中空圆管，磁铁基座两端为不锈钢材质，磁铁基座中间为碳钢，磁铁基座上设有锌块，所述磁铁外表面设有一层防腐蚀层，磁铁设置在磁铁基座上，所述靶材为中空圆管，靶材通过两端固定套设在磁铁基座上。
[0006]为了更好的保护磁铁基座和磁铁，所述防腐蚀层厚度为0.2?5_。
[0007]为了更好的保护磁铁基座和磁铁，所述防腐蚀层为聚四氟乙烯。
[0008]为了更好的保护磁铁基座和磁铁，所述防腐蚀层为尼龙。
[0009]为了解决上述技术问题，本实用新型还提供一种真空镀膜用防腐蚀靶芯，包括磁铁基座、磁铁、靶材，所述磁铁基座为中空圆管，磁铁基座内表面和外表面各设有一层厚度为0.2?5mm第一防腐蚀层，所述磁铁外表面设有一层厚度为0.2?5mm第二防腐蚀层，磁铁设置在磁铁基座上，所述靶材为中空圆管，靶材通过两端固定套设在磁铁基座上。
[0010]为了更好的保护磁铁基座和磁铁，所述的第一防腐蚀层为聚四氟乙烯。
[0011]为了更好的保护磁铁基座和磁铁，所述的第一防腐蚀层为尼龙。
[0012]为了更好的保护磁铁基座和磁铁，所述的第一防腐蚀层为铬。
[0013]为了更好的保护磁铁基座和磁铁，所述的第二防腐蚀层为聚四氟乙烯。
[0014]为了更好的保护磁铁基座和磁铁，所述的第二防腐蚀层为尼龙。
[0015]本实用新型的有益效果为:该真空镀膜用防腐蚀靶芯通过将磁铁基座与活泼金属锌块连接从而形成原电池，或者在磁铁基座上设有防腐蚀层，同时在磁铁的外表面包覆或涂覆一层聚四氟乙烯或尼龙，将磁铁与冷却水隔离，从而避免了由于电化学腐蚀而导致的磁铁基座和磁铁生锈，同时，由于聚四氟乙烯或尼龙具有一定韧性和可塑性，从而聚四氟乙烯层不易因磕碰等物理损伤导致脱落，避免了磁铁金属防护层因长期腐蚀而导致的防护层剥离脱落，大大延长了靶芯的使用寿命，而且该真空镀膜用防腐蚀靶芯易于制作。
【附图说明】
[0016]附图1为实施例1-实施例4真空镀膜用防腐蚀靶芯的结构示意图；
[0017]附图2为真空镀膜用防腐蚀靶芯剖面图；
[0018]附图3为实施例5-实施例6的真空镀膜用防腐蚀靶芯的结构示意图；
[0019]标号说明:1_磁铁基座；2-磁铁；3-靶材；4-锌块；
【具体实施方式】
[0020]为详细说明本实用新型的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图详予说明。
[0021]实施例1
[0022]参照附图1-附图3，本实用新型提供一种真空镀膜用防腐蚀靶芯，包括磁铁基座1、磁铁2、靶材3，所述磁铁基座I为中空圆管，磁铁基座I内表面和外表面各包覆或涂镀一层第一防腐蚀层，所述磁铁2外表面包覆或涂镀一层第二防腐蚀层，磁铁2设置在磁铁基座I上，所述靶材3为中空圆管，靶材3通过两端固定套设在磁铁基座I上。
[0023]本实施例中，第一防腐蚀层厚度为0.2?5mm。
[0024]本实施例中，第一防腐蚀层为聚四氟乙烯。
[0025]本实施例中，第二防腐蚀层厚度为0.2?5mm。
[0026]本实施例中，第二防腐蚀层为聚四氟乙烯。
[0027]本实施例中，所述磁铁基座I两端为不锈钢材质。
[0028]本实施例中，所述磁铁基座I中间为碳钢。
[0029]真空镀膜时，为了冷却，在磁铁基座I圆管内以及圆管外通入冷却水，本实施例中的真空镀膜用防腐蚀靶芯通过在磁铁基座I的内表面和外表面以及磁铁2的外表面包覆或涂覆一层聚四氟乙烯，将磁铁基座I和磁铁2与冷却水隔离，避免了由于电化学腐蚀而导致的磁铁基座I和磁铁2生锈，同时，由于聚四氟乙烯具有一定韧性和可塑性，从而聚四氟乙烯层不易因磕碰等物理损伤导致脱落，避免了磁铁基座I和磁铁2金属防护层因长期腐蚀而导致的防护层剥离脱落，大大延长了靶芯的使用寿命，而且该真空镀膜用防腐蚀靶芯易于制作。
[0030]实施例2
[0031]参照附图1-附图3，本实用新型提供一种真空镀膜用防腐蚀靶芯，包括磁铁基座1、磁铁2、靶材3，所述磁铁基座I为中空圆管，磁铁基座I内表面和外表面各包覆或涂镀一层第一防腐蚀层，所述磁铁2外表面包覆或涂镀一层第二防腐蚀层，磁铁2设置在磁铁基座I上，所述靶材3为中空圆管，靶材3通过两端固定套设在磁铁基座I上。
[0032]本实施例中，第一防腐蚀层厚度为0.2?5mm。
[0033]本实施例中，第一防腐蚀层为尼龙。
[0034]本实施例中，第二防腐蚀层厚度为0.2?5mm。
[0035]本实施例中，第二防腐蚀层为尼龙。
[0036]本实施例中，所述磁铁基座I两端为不锈钢材质。
[0037]本实施例中，所述磁铁基座I中间为碳钢。
[0038]真空镀膜时，为了冷却，在磁铁基座I圆管内以及圆管外通入冷却水，本实施例中的真空镀膜用防腐蚀靶芯通过在磁铁基座I的内表面和外表面以及磁铁2的外表面包覆或涂覆一层尼龙，将磁铁基座I和磁铁2与冷却水隔离，避免了由于电化学腐蚀而导致的磁铁基座I和磁铁2生锈，同时，由于尼龙具有一定韧性和可塑性，从而聚四氟乙烯层不易因磕碰等物理损伤导致脱落，避免了磁铁基座I和磁铁2金属防护层因长期腐蚀而导致的防护层剥离脱落，大大延长了靶芯的使用寿命，而且该真空镀膜用防腐蚀靶芯易于制作。
[0039]实施例3
[0040]参照附图1-附图3，本实用新型提供一种真空镀膜用防腐蚀靶芯，包括磁铁基座1、磁铁2、靶材3，所述磁铁基座I为中空圆管，磁铁基座I内表面和外表面各涂镀一层第一防腐蚀层，所述磁铁2外表面包覆或涂镀一层第二防腐蚀层，磁铁2设置在磁铁基座I上，所述靶材3为中空圆管，靶材3通过两端固定套设在磁铁基座I上。
[0041]本实施例中，第一防腐蚀层厚度为0.2?5mm。
[0042]本实施例中，第一防腐蚀层为铬。
[0043]本实施例中，第二防腐蚀层厚度为0.2?5mm。
[0044]本实施例中，第二防腐蚀层为聚四氟乙烯。
[0045]本实施例中，所述磁铁基座I两端为不锈钢材质。
[0046]本实施例中，所述磁铁基座I中间为碳钢。
[0047]真空镀膜时，为了冷却，在磁铁基座I圆管内以及圆管外通入冷却水，本实施例中的真空镀膜用防腐蚀靶芯通过在磁铁基座I的内表面和外表面涂镀一层铬，而且在磁铁2的外表面包覆或涂覆一层聚四氟乙烯，将磁铁基座I和磁铁2与冷却水隔离，避免了由于电化学腐蚀而导致的磁铁基座I和磁铁2生锈，同时，由于聚四氟乙烯具有一定韧性和可塑性，从而聚四氟乙烯层不易因磕碰等物理损伤导致脱落，避免了磁铁2金属防护层因长期腐蚀而导致的防护层剥离脱落，大大延长了靶芯的使用寿命，而且该真空镀膜用防腐蚀靶芯易于制作。
[0048]实施例4
[0049]参照附图1-附图3，本实用新型提供一种真空镀膜用防腐蚀靶芯，包括磁铁基座1、磁铁2、靶材3，所述磁铁基座I为中空圆管，磁铁基座I内表面和外表面各涂镀一层第一防腐蚀层，所述磁铁2外表面包覆或涂镀一层第二防腐蚀层，磁铁2设置在磁铁基座I上，所述靶材3为中空圆管，靶材3通过两端固定套设在磁铁基座I上。
[0050]本实施例中，第一防腐蚀层厚度为0.2?5mm。
[0051 ]本实施例中，第一防腐蚀层为铬。
[0052]本实施例中，第二防腐蚀层厚度为0.2?5mm。
[0053]本实施例中，第二防腐蚀层为尼龙。
[0054]本实施例中，所述磁铁基座I两端为不锈钢材质。
[0055]本实施例中，所述磁铁基座I中间为碳钢。
[0056]真空镀膜时，为了冷却，在磁铁基座I圆管内以及圆管外通入冷却水，本实施例中的真空镀膜用防腐蚀靶芯通过在磁铁基座I的内表面和外表面涂镀一层铬，而且在磁铁2的外表面包覆或涂覆一层尼龙，将磁铁基座I和磁铁2与冷却水隔离，避免了由于电化学腐蚀而导致的磁铁基座I和磁铁2生锈，同时，由于尼龙具有一定韧性和可塑性，从而聚四氟乙烯层不易因磕碰等物理损伤导致脱落，避免了磁铁2金属防护层因长期腐蚀而导致的防护层剥离脱落，大大延长了靶芯的使用寿命，而且该真空镀膜用防腐蚀靶芯易于制作。
[0057]实施例5
[0058]参照附图1-附图3，本实用新型提供一种真空镀膜用防腐蚀靶芯，包括磁铁基座1、锌块4、磁铁2、靶材3，所述磁铁基座I为中空圆管，磁铁基座I两端为不锈钢材质，磁铁基座I中间为碳钢，磁铁基座I上设有锌块4，所述磁铁2外表面包覆或涂镀一层厚度为0.2?5mm的聚四氟乙烯，磁铁2设置在磁铁基座I上，所述靶材3为中空圆管，靶材3通过两端固定套设在磁铁基座I上。
[0059]真空镀膜时，为了冷却，在磁铁基座I圆管内以及圆管外通入冷却水，本实施例中的真空镀膜用防腐蚀靶芯通过将磁铁基座I与活泼金属锌块4连接从而形成原电池，同时在磁铁2的外表面包覆或涂覆一层聚四氟乙烯，将磁铁2与冷却水隔离，从而避免了由于电化学腐蚀而导致的磁铁基座I和磁铁2生锈，同时，由于聚四氟乙烯具有一定韧性和可塑性，从而聚四氟乙烯层不易因磕碰等物理损伤导致脱落，避免了磁铁2金属防护层因长期腐蚀而导致的防护层剥离脱落，大大延长了靶芯的使用寿命，而且该真空镀膜用防腐蚀靶芯易于制作。
[0060]实施例6
[0061]参照附图1-附图3，本实用新型提供一种真空镀膜用防腐蚀靶芯，包括磁铁基座1、锌块4、磁铁2、靶材3，所述磁铁基座I为中空圆管，磁铁基座I两端为不锈钢材质，磁铁基座I中间为碳钢，磁铁基座I上设有锌块4，所述磁铁2外表面包覆或涂镀一层厚度为0.2?5mm的尼龙，磁铁2设置在磁铁基座I上，所述靶材3为中空圆管，靶材3通过两端固定套设在磁铁基座I上。
[0062]真空镀膜时，为了冷却，在磁铁基座I圆管内以及圆管外通入冷却水，本实施例中的真空镀膜用防腐蚀靶芯通过将磁铁基座I与活泼金属锌块4连接从而形成原电池，同时在磁铁2的外表面包覆或涂覆一层尼龙，将磁铁2与冷却水隔离，从而避免了由于电化学腐蚀而导致的磁铁基座I和磁铁2生锈，同时，由于尼龙具有一定韧性和可塑性，从而尼龙层不易因磕碰等物理损伤导致脱落，避免了磁铁2金属防护层因长期腐蚀而导致的防护层剥离脱落，大大延长了靶芯的使用寿命，而且该真空镀膜用防腐蚀靶芯易于制作。
[0063]以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
【主权项】
1.一种真空镀膜用防腐蚀靶芯，其特征在于，包括磁铁基座、锌块、磁铁及靶材，所述磁铁基座为中空圆管，磁铁基座两端为不镑钢材质，磁铁基座中间为碳钢，磁铁基座上设有梓块，所述磁铁外表面设有一层防腐蚀层，磁铁设置在磁铁基座上，所述靶材为中空圆管，靶材通过两端固定套设在磁铁基座上。2.根据权利要求1所述的真空镀膜用防腐蚀靶芯，其特征在于，所述防腐蚀层厚度为0.2?5mmο3.根据权利要求1至2任何一项所述的真空镀膜用防腐蚀靶芯，其特征在于，所述防腐蚀层为聚四氟乙烯。4.根据权利要求1至2任何一项所述的真空镀膜用防腐蚀靶芯，其特征在于，所述防腐蚀层为尼龙。5.一种真空镀膜用防腐蚀靶芯，其特征在于，包括磁铁基座、磁铁及靶材，所述磁铁基座为中空圆管，磁铁基座内表面和外表面各设有一层厚度为0.2?5mm第一防腐蚀层，所述磁铁外表面设有一层厚度为0.2?5mm第二防腐蚀层，磁铁设置在磁铁基座上，所述靶材为中空圆管，靶材通过两端固定套设在磁铁基座上。6.根据权利要求5所述的真空镀膜用防腐蚀靶芯，其特征在于，所述的第一防腐蚀层为聚四氟乙烯。7.根据权利要求5所述的真空镀膜用防腐蚀靶芯，其特征在于，所述的第一防腐蚀层为尼龙。8.根据权利要求5所述的真空镀膜用防腐蚀靶芯，其特征在于，所述的第一防腐蚀层为铬。9.根据权利要求5至8任何一项所述的真空镀膜用防腐蚀靶芯，其特征在于，所述的第二防腐蚀层为聚四氟乙烯。10.根据权利要求5至8任何一项所述的真空镀膜用防腐蚀靶芯，其特征在于，所述的第二防腐蚀层为尼龙。
【文档编号】C23C14/35GK205590790SQ201521101149
【公开日】2016年9月21日
【申请日】2015年12月28日
【发明人】曹明刚, 孙亚楠, 王静, 杨兴, 范兵, 闫超, 闫超一, 朱磊
【申请人】沧州天瑞星光热技术有限公司