技术特征：
技术总结
一种流体控制装置，包含：压电致动器包括悬浮板；外框；支架；压电元件；壳体包括出口板及底座，出口板供压电致动器设置于其中，底座包括入口板及共振片，入口板具有相连通于外的汇流腔室，共振片设置固定于入口板上，并具有中空孔洞；胶体设置于压电致动器之外框与底座的共振片之间，以维持压电致动器与底座的共振片之间具有间隙；其中，悬浮板由具有线膨胀系数比压电元件的线膨胀系数小的材料形成，且具有一受热变形保持弯曲的硬度，以及悬浮板与共振片的线膨胀系数不同，以让悬浮板与共振片之间之间隙得到一特定变形位移量。
技术研发人员：黄哲威;陈世昌;廖家淯;韩永隆;黄启峰
受保护的技术使用者：研能科技股份有限公司
技术研发日：2017.01.05
技术公布日：2018.07.13