流体控制装置的制作方法

文档序号:14924458发布日期:2018-07-13 14:47阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种流体控制装置,包含:压电致动器包括悬浮板;外框;支架;压电元件;壳体包括出口板及底座,出口板供压电致动器设置于其中,底座包括入口板及共振片,入口板具有相连通于外的汇流腔室,共振片设置固定于入口板上,并具有中空孔洞;胶体设置于压电致动器之外框与底座的共振片之间,以维持压电致动器与底座的共振片之间具有间隙;其中,悬浮板由具有线膨胀系数比压电元件的线膨胀系数小的材料形成,且具有一受热变形保持弯曲的硬度,以及悬浮板与共振片的线膨胀系数不同,以让悬浮板与共振片之间之间隙得到一特定变形位移量。

技术研发人员:黄哲威;陈世昌;廖家淯;韩永隆;黄启峰
受保护的技术使用者:研能科技股份有限公司
技术研发日:2017.01.05
技术公布日:2018.07.13
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1