排放系统的制作方法

此揭露是有关于一种排放系统。
背景技术：
：排放系统中的乱流区阻碍了排放系统上游的气体与粒子的移除。排放管中的弯折与连接处降低了排放气体的移动速度而扰乱了排放气流，其减低了泵送效率。在排放系统悬浮或输送的微粒物质倾向堆积于排放系统中的乱流区。排放管中微粒物质的堆积降低了排放管中可用以排放气体与粒子流通过排放系统的面积。微粒物质的堆积降低了泵送效率并导致维护成本增加，需手动移除堆积的微粒物质以维护排放气流于所欲程度的不受干扰，因此降低了作业效率。技术实现要素：一种排放系统，包含入口、排放管、震动组件、旁通管以及回馈路径。入口配置以接收排放混合物。排放管连接至入口。震动组件连接至排放管。旁通管连接至排放管。回馈路径由外部气体源延伸至震动组件，其中回馈路径与排放管分离。附图说明图1A为依据一些实施方式的震动组件的剖面图；图1B为依据一些实施方式的震动组件的剖面图；图2A为依据一些实施方式描绘出气体流量与震动组件的加速度/速度间关系的图表；图2B为依据一些实施方式描绘出气体压力与震动组件的加速度/速度间关系的图表；图3为依据一些实施方式的排放系统的示意图；图4为依据一些实施方式的排放系统作业的流程图；图5为依据一些实施方式的用以控制排放系统的控制器的方块图。具体实施方式接下来的揭露提供许多不同的实施方式或范例，以实施所提出标的物的不同特征。元件、数值、作业、材料、摆设或类似的特定范例，将于下文详述以简化本揭露。当然，此仅为举例而非限制。亦可构思其他元件、数值、作业、材料、摆设等等。举例而言，本揭露中第一特征形成于第二特征上或上方，在其后可包含第一特征与第二特征为直接接触的实施方式，而亦可包含于第一特征与第二特征之间形成额外特征的实施方式，如此第一特征与第二特征可不为直接接触。此外，本揭露可在多种范例中使用重复的参考编码及/或字母。此重复的目的乃为简易及清晰度，而非宣告所讨论的多种实施方式及/或配置之间的关系。进一步而言，为了便于描述，本文可使用诸如“下面”、“下方”、“下部”、“上方”、“上部”及类似者等空间相对性术语来描述如图中所图示的一个元件或特征与另一元件(或多个元件)或特征(或多个特征)的关系。除了图中所描绘的定向外，空间相对性术语意欲囊括使用或操作中的元件的不同定向。设备可经其他方式定向(旋转90度或处于其他定向)且因此可同样解读本文所使用的空间相对性描述词。另外，术语“由…制成”可意指“包括”或“由…组成”。许多排放系统会处理包含有微粒物质的排放流。在一些例子中，微粒物质堆积于排放系统中，特别于乱流区。流动干扰造成通过排放系统的流速下降。通过排放系统的流速随排放管中直径、弯曲以及排放管间连接的变化而改变。与排放系统的标准气流相比之下，降低的流速导致悬浮于排放系统中的粒子更加频繁的接触并附着于排放系统管线的内壁，或附着于黏附于内壁上的其他粒子。举例而言，排放系统的入口的排放管倾向于具有较大的直径。与直径较小的排放管相比，排放管的较大直径降低了排放管中的流速。标准流速能克服使粒子黏附于排放管内壁或其他粒子的摩擦力。然而，在流速降低处，粒子附着于排放管内壁的风险增加。附着的粒子会造成复合效应，一旦开始，将会促使更多的粒子附着于排放管中一开始的粒子堆积处。随着时间经过，排放系统中的粒子堆积降低了排放系统的流速。降低的流速对应至降低的粒子移除效率。在一些例子中，降低的流速与降低的粒子移除效率导致了半导体晶圆或由制造设备处理的其他物品的污染。在一些例子中，降低的粒子移除效率提高了预防性维护的频率。维护排放系统以移除附着粒子能使堵塞的系统回复至标准性能。然而，维护包含在其过程中将连接至排放系统的工具自正常作业中移除。肇因于微粒污染的维护降低了制造设备的可用性与生产力。在一些实施方式中，排放管的内壁为涂层表面。在一些实施方式中，在受涂布的表面上的涂层包含聚四氟乙烯(polytetrafluoroethylene,PTFE)、聚氨酯(polyurethane)、聚丙烯(polypropylene)、尼龙(nylon)或其他与不锈钢相比具有更小的静摩擦力的涂层。搅动附着于排放管内壁的粒子有助排放管中的气流从内壁移除粒子，从而降低排放管中的粒子堆积。通过产生排放管的震动以搅动排放管中的粒子。排放管的位移传递至粒子并把粒子推回排放管中央，其处具有最高的流速。通过搅动排放管中的粒子，减缓排放管中的粒子堆积。就结果而言，延长了预防性维护的时程、附接于排放管的制造工具持续作业了较长的时间并且增加了整体产能。图1A为依据一些实施方式的震动组件100的剖面图。震动组件100包含震动元件110以及固定装置120。震动元件110连接至固定装置120。在震动元件110与固定装置120之间有垫片130。固定装置120是配置以将震动组件100连接至排放系统的排放管150。此领域中的通常技艺者应能识得图1A中标示的排放管150是为清楚起见，且并非震动组件100的部分。震动元件110是配置以产生震动位移，透过固定装置120传送震动位移至排放管150。震动元件110包含入口112以及出口114。入口112配置以接收气流，而出口114配置以输出气流。入口112与出口114皆连接至腔体116。可移动元件115位于腔体116中。从腔体116的入口112通过腔体116至出口114的气流创造出流通路径118。气体沿流通路径118移动造成可移动元件115在腔体116中位移。通过控制流速及/或气压，由震动元件110使可移动元件115的位移产生震动运动。在一些实施方式中，震动元件110具有不同配置。举例而言，在一些实施方式中，震动元件110含有马达，马达配置以转动具有不平衡重量的元件。不平衡重量的转动造成了震动元件110的震动运动。在一些实施方式中，省略可移动元件115而控制通过腔体116的气体速度以创造震动运动。震动元件110包含强壮且坚韧的材料，其具有足够的机械强度以免受可移动元件115伤害。震动元件110的重量增加时，震动运动所产生的动能亦增加；然而，需增加通过腔体116的气体速度以产生震动运动。在一些实施方式中，震动元件110包含不锈钢、铁、铝或其他适当的材料。入口112配置以接收气流。在一些实施方式中，入口112包含穿越口以接收用以导引气流的导管。在一些实施方式中，入口112包含检查阀(checkvalve)以防止气流从入口112的方向流出腔体116。在一些实施方式中，入口112包含可控制阀配置以选择性地允许气流进入腔体116。当入口112的直径D1增加时，沿着流通路径118的气体速度下降。沿着流通路径118较高的气体速度会增加可移动元件115的速率并增加震动运动的频率。在一些实施方式中，入口112的直径D1介于约1厘米至约5厘米之间。出口114是配置以输出气流。在一些实施方式中，出口114包含穿越口以接收导引气流的导管。在一些实施方式中，出口114包含检查阀以防止气流从出口114的方向进入腔体116。在一些实施方式中，出口114包含可控制阀配置以选择性地允许气流离开腔体116。当出口114的直径D2增加时，沿着流通路径118的气体速度下降。在一些实施方式中，出口114的直径D2介于约1厘米至约5厘米之间。在一些实施方式中，出口114的直径D2与入口112的直径D1相同。在一些实施方式中，入口112的直径D1大于出口114的直径D2。在一些实施方式中，入口112的直径D1小于出口114的直径D2。可移动元件115包含滚珠承轴。可移动元件115的材料足够强壮与坚韧以免于在腔体116中移动时受损。当可移动元件115的重量增加时，腔体116中可移动元件115的位移所产生的动能亦增加；然而，亦须增加通过腔体116的气体速度以移动可移动元件115。在一些实施方式中，可移动元件115的重量介于约0.005公斤至约0.5公斤之间。在一些实施方式中，可移动元件115包含不锈钢、铁、铝或其他适当的材料。在一些实施方式中，震动元件110的材料与可移动元件115的材料相同。在一些实施方式中，震动元件110的材料与可移动元件115的材料不同。在一些实施方式中，震动元件110包含铝而可移动元件115包含不锈钢。可移动元件115具有球状形状。球状形状有助于使可移动元件115得以在对腔体116内壁造成最小伤害的状况下在腔体116中移动。可移动元件115的球状形状亦有助于促进更均匀的震动运动。在一些实施方式中，可移动元件115具有的直径介于约0.5厘米至约1厘米之间。在一些例子中，更大的直径需要更大的震动元件110，从而在没有显著功能益处的情形下增加制造成本。在一些例子中，较小的直径提供的震动不足以搅动排放管150中的粒子。可移动元件115具有不同的形状以创造较紊乱的震动运动。在一些例子中，紊乱的震动运动有助于增加排放管150中粒子的搅动。在一些实施方式中，可移动元件115为多棱镜、蛋形、自由形或其他适当的形状。腔体116为震动元件110中的开放空间以容许可移动元件115移动并创造震动运动。腔体116为圆形。腔体116的圆形形状有助于提供平顺的流通路径118以创造更均匀的震动运动。在一些实施方式中，腔体116具有不同的形状以制造更紊乱的震动运动。在一些实施方式中，腔体116为多棱镜、蛋形或自由形。在一些实施方式中，省略可移动元件115，腔体116的形状是用以单独通过通过流通路径118的气体创造震动运动。腔体116位于震动元件110的中央。在一些实施方式中，腔体116自震动元件110的中央偏移以增加震动运动的幅度。流通路径118决定可移动元件115在腔体116中移动的方向。流通路径118由腔体116的入口112与出口114的位置以及腔体116的形状所决定。固定装置120将震动元件110连接至排放管150。固定装置120为轴环。在一些实施方式中，固定装置120包含磁铁、夹钳、螺丝、铆钉、弹簧、焊接、黏着剂或其他适当的连接机构。固定装置120环绕延伸于排放管150的整个周缘。在一些实施方式中，固定装置120仅环绕延伸排放管150周围的一小部分。固定装置120包含多个接触点122，接触点122直接接触排放管150。接触点122将来自震动元件110的震动运动传递至排放管150。在一些实施方式中，固定装置120包含铝、铁、钢或其他适当的材料。接触点122有助于传送震动元件110所产生的震动。在一些实施方式中，接触点122有助于降低在震动组件100作业时对排放管150造成的磨损。并非将整个固定装置120直接接触至排放管150，而仅通过接触点122接触排放管150较少的面积。此安排有助于降低磨损，因为在作业时固定装置120相较于排放管150的移动会较轻微，而导致两结构间的彼此摩擦较轻微。通过使用接触点122，可重新安排固定装置120于排放管150周围的位置以改变排放管150的磨损处。与排放管150相比，接触点122包含较软的材料以降低震动组件100作业时对排放管150造成的磨损。在一些实施方式中，接触点122包含铝、铁、钢或其他适当的材料。在一些实施方式中，接触点122与固定装置120其余处具有相同的材料。在一些实施方式中，接触点122与固定装置120其余处具有不同的材料。在一些实施方式中，震动组件100的使用寿命至少有1.5年。较长的使用寿命代表制造成本的降低。在一些实施方式中，接触点122与固定装置120其余处构成一整体。在一些实施方式中，接触点122可自固定装置120其余处移除以便于代换接触点122。在一些实施方式中，可移除式接触点122通过螺丝、板手、黏着剂或其他适当的组件连接至固定装置120其余处。接触点122平均环绕分布于排放管150。在一些实施方式中，接触点122的长度介于约0.5厘米至约1厘米之间。在一些实施方式中，接触点122间的空隔介于约0.5厘米至约1厘米之间。在一些实施方式中，两相邻接触点122间的空隔与另外两相邻接触点122间的空隔不同。垫片130有助于减低在震动组件100作业时对震动元件110与固定装置120所造成的磨损。与震动元件110及固定装置120相比，垫片130包含较软的材料。在一些实施方式中，垫片130通过延伸穿过垫片130的螺丝连接至震动元件110并且连接至固定装置120。在一些实施方式中，垫片130通过黏着剂连接至固定装置120或震动元件110。图1B为依据一些实施方式的震动元件110的剖面图。图1B为图1A中提供的震动元件110的放大图。连接开口117在图1B中较图1A中明显。连接开口117允许连接元件，如螺丝延伸通过震动元件110、通过垫片130(图1A)并进入固定装置120。震动元件110具有宽度W介于约7厘米至约16厘米之间。震动元件110的高度H介于约4厘米至约10厘米之间。震动元件110的深度D介于约1.5厘米至约5.5厘米之间。当震动元件110的尺寸增大时，震动元件110的质量亦随之增加。震动元件110的质量会对由震动运动所产生的动能产生影响。图2A为气体的流量与震动组件100的加速度/速度间的关系图。在一些实施方式中，施加的压力控制为约0.5MPa，震动组件100的加速度与速度皆正比于气体流量。在一些实施方式中，震动元件110的入口112是配置以接收流量介于约每分钟30升至约每分钟50升的气体，且加速度介于约20毫米/秒平方至约35毫米/秒平方之间。在一些例子中，较高的流速提高可移动元件115磨损的风险。在一些例子中，较低的流速提供的震动不足以搅动排放管150中的粒子。气体的流速决定了腔体116中可移动元件115的速度。基于可移动元件115的质量，由可移动元件115的位移所施放出的力介于约1x10-3牛顿至约1.75x10-3牛顿之间。图2B为气压与震动组件100的加速度/速度间的关系图。在一些实施方式中，流量控制为约每分钟35升，震动组件100的加速度与速度皆正比于介于0.1Mpa至0.3Mpa间的气压。当压力超过0.3Mpa时，加速度与速度皆因固定流量的限制而饱和。图3为依据一些实施方式排放系统300的示意图。排放系统300包含连接至入口302的混合箱310。在一些实施方式中，排放系统300亦被称为区域洗涤器(localscrubber)。循环元件306是配置以提供压力差以使粒子与液体通过排放系统300。至少于一实施方式中，循环元件306为涡轮。出口304连接至循环元件306的出口。旁通管320连接至混合箱310的下游。可控制阀325连接至旁通管320以控制通过旁通管320的气流。回馈路径322将外部气体源370连接至震动组件330。外部气体源370的气体被供应至震动元件330，如，沿着回馈路径322的震动组件330的震动元件110(图1A)。震动组件330连接至旁通管320下游的排放管。在一些实施方式中，震动组件330连接至旁通管320上游的排放管。在一些实施方式中，多于一个震动组件330连接至排放管。举例而言，于至少一个实施方式中，第一震动组件330A位于第一耦合元件312附近与混合箱310下方，且第二震动组件330B位于第二耦合元件314附近与清洗段上方。在一些实施方式中，排放系统300包含震动感应器335。震动感应器335配置以侦测震动组件330的震动。在一些实施方式中，震动感应器335总是连接至震动组件330以即时监控震动组件330。在一些实施方式中，震动感应器335只在震动组件330作业时启动。在一些实施方式中，震动感应器335于预定时间间隔连接至震动组件330，举例而言，每十二小时。在一些实施方式中，震动感应器335包含激光导引感应器、红外线感应器、微波运动感应器、紫外运动感应器或其他适当的感应器。在一些实施方式中，使用多于一个震动感应器335以侦测多个震动组件330。可选择性地配置反应器340以对排放及/或微粒物质进行高温热解。第一排泄槽350配置以提供清洗液至排放管于清洗液入口345，清洗液入口345在图中以与排放管交叉的虚线表示。使用清洗液以将排放及/或粒子往下冲。第一排泄槽350配置以接收来自排放管的粒子与液体。第二排泄槽355选择性地由一阀连接至第一排泄槽350以将液体自排放系统300移除。在一些实施方式中，第二排泄槽355是配置以通过返回管360将净化后的清洗液回收回排放系统300中。外部气体源370配置以供应气体至回馈路径322与反应器340。在一些实施方式中，回馈路径322与反应器340分别由外部气体源370与备用外部气体源(未绘制)供应。排放系统300配置以自制造工具301(1)-301(n)移除排放及/或粒子。在一些实施方式中，制造工具301(1)-301(n)包含熔炉、微影制程工具、沉积腔、平坦化工具、蚀刻工具或其他适当的制造工具。通过自制造工具301(1)-301(n)移除粒子，排放系统300有助于防止制造出的元件受到污染，如，半导体晶圆受粒子污染。入口302配置以接收来自一或多个制造工具301(1)-301(n)的排放混合。举例而言，在一些实施方式中，入口302配置以接收来自熔炉的排放混合与其他来自微影制程仪器的排放混合。排放混合包含气体与粒子。于图3中只有包含一个入口302，此领域中的通常技艺者应了解在一些实施方式中可包含多个入口302。入口302组合于混合箱310中。循环元件306连接至排放系统300的出口304附近以提供压力差以使排放通过排放系统300。在一些实施方式中，气体出口304连接至总排放系统(generalexhaustsystem,GEX)，酸性排放系统(acidexhaustsystem,SEX)或氨排放系统(ammoniaexhaustsystem,AEX)。在一些实施方式中，循环元件306包含泵浦。在一些实施方式中，循环元件306包含风扇。在一些实施方式中，循环元件306所创造的压力差是可控制，以此调整粒子与液体通过排放系统300的速度。混合箱310配置以接收来自入口302或多个入口302的粒子与液体。在一些实施方式中，混合箱310连接至加热元件380或等离子辅助元件，加热元件380配置以维持液体于气态，等离子辅助元件配置以化学分解排放气体。举例而言，至少于一实施方式中，排放包含氯化铵，混合箱310的温度介于约100度摄氏至约130度摄氏之间以避免产生固态的氯化铵。在一些例子中，较高的温度在没有显著功能益处的情形下会增加制造成本。在一些例子中，较低的温度增加产生更多粒子的风险。在一些实施方式中，混合箱310与加热元件380或等离子辅助元件构成一整体。混合箱310有助于将入口302自循环元件306所创造的压力差分隔开来，该压力差可能对沿入口302上游的制造工具301(1)-301(n)造成负面影响。混合箱310包含粒子以及液体，如接收自入口302的气体。在一些实施方式中的排放不含有粒子，旁通管320配置以将混合箱310输出的排放物质的气体移除。可控制阀325配置以选择性地容许气体流进旁通管320。在一些实施方式中，可控制可控制阀325以调节旁通管320中的气体压力。通过控制旁通管320中的气体压力，亦可控制回馈路径322中的气体压力，其有助于调节直接来自于混合箱310的气体量。震动组件330配置以震动离开混合箱310的排放管以搅动排放管中的粒子以降低粒子在排放管中堆积的风险。在一些实施方式中，震动组件330相同于震动组件100(图1A)。震动组件330配置以通过回馈路径322接收来自旁通管320的气体。通过使用来自回馈路径322的气体以产生震动去搅动排放管中的粒子，排放系统300能够更有效率的作业，而与其他仅依靠外部气体供应的系统相比具有较低的成本。震动组件330亦可接收来自备用外部气体源370的气体。在一些实施方式中，震动组件330的震动元件包含多个入口，如一个入口连接至外部气体源370而另一个入口连接至备用气体源。反应器340配置以化学分解未被冲进第一排泄槽350的粒子以及液体。在一些实施方式中，反应器340包含多个加热元件380，加热元件380配置以将内部温度提升到约750度摄氏至约1000度摄氏之间。于至少一例子中，为了均匀的增加内部温度，约4至8个加热管环绕排列于反应器340中。在一些实施方式中，反应器340包含等离子辅助元件以高温热解粒子以及液体。外部气体源370连接至反应器340以刮除黏附于加热元件380、等离子辅助元件以及反应器340内壁的粒子。第一排泄槽350配置以接收排放管的输出，包含粒子以及清洗液。来自清洗液入口345的清洗液通过一或多条管线回收至第一排泄槽350。在一些实施方式中，第一排泄槽350包含热交换器用以冷却清洗液以促进溶解于清洗液中的溶解粒子沉积。第一排泄槽350配置以提供清洗液至排放系统300的不同部分以协助使粒子通过排放系统300。在一些实施方式中，清洗液为水。在一些实施方式中，清洗液为溶剂，溶剂配置以至少部分地溶解排放系统300中的粒子。在一些实施方式中，通过控制泵浦346来控制第一排泄槽350中的压力。在一些实施方式中，通过控制外部气体源370来控制清洗液供应中的压力。第一排泄槽350中较高的压力导致清洗液从清洗液入口345离开时具有较高的速度并增加排放系统300中粒子的流量。然而，使用较高的压力亦会施加更大的应力于排放系统300的元件上并增加排放系统300的作业成本。在一些实施方式中，第一排泄槽350包含加热元件380以在递送干净液体至清洗液入口345前增加清洗液的温度。增加清洗液的温度有助于溶解更多排放管中的粒子且降低粒子堆积的风险。清洗液入口345位于排放管沿线的多个地点。排放系统300使用多个清洗液入口345有助于增强通过排放系统300的粒子的流量并降低粒子堆积的风险。在一些实施方式中，每个清洗液入口345包含喷头。泵浦346有助于在清洗液离开排放管后将清洗液返还至清洗液入口345。第二排泄槽355由一阀连接至第一排泄槽350。该阀是配置以开放以允许清洗液从第一排泄槽350流至第二排泄槽355以将清洗液传送至再生程序以协助移除溶解于清洗液中的粒子。举例而言，重复使用的清洗液可能达到粒子饱和而于排放管中移动粒子的能力呈现降低。此时清洗液被送至清洗液再生程序，程序中自清洗液移除溶解的粒子以协助恢复清洗液在排放系统300中协助移动粒子的能力。在一些实施方式中，清洗液在回收至排放系统300前先在第二排泄槽355中净化。返回管360连接第一排泄槽350以清洗排放系统300以促进清洗液的再循环。返回管360亦连接至循环元件306。循环元件306协助于返回管360中产生足够的压力差以从排放系统300移除清洗液至第一排泄槽350。通过将气体自第一排泄槽350移除，返回管360亦有助于移除任何旁通管320下游的排放管中残留的气体。返回管360亦配置以接收外部供应的清洗液。举例而言，当一些清洗液被移除以经历再生程序时，清洗液的外部供应提供额外的清洗液至返回管360以协助排放系统300中维持有足够的清洗液以将粒子移出排放管。外部气体源370配置以供应气体至反应器340。外部气体源370进一步配置以供应额外的气体至震动组件330及/或反应器340。在一些实施方式中，使用阀以控制供应至震动组件330以及反应器340的外部气体。外部气体源370配置以供应惰性气体，惰性气体不会与震动组件330或反应器340任一者的材料发生反应。在一些实施方式中，惰性气体包括氮、氩或其他适当的惰性气体。回馈路径322连接至震动组件330以提供气体至震动组件330的震动元件。控制回馈路径322中的气压以协助调节由震动组件330所产生用以搅动排放系统300的排放管中粒子的震动。在一些实施方式中，基于连接至震动组件330的排放管中的流量来控制可控制阀325。举例而言，如果排放管中的流量低于预设阀值，则打开可控制阀325以增加回馈路径322中的压力以创造更多震动以及使排放管中的粒子受到更大的搅动。在排放系统300作业期间，于排放系统300的各处放有仪表以监控：排放管沿线的流量(粒子或粒子与清洗液的混合物)、旁通管320中的压力、返回管360中的压力以及其他有关地区。基于这些仪表所回传的信息，阀，如可控制阀325，被开启或关上以有效率地从排放系统300移除粒子。举例而言，如果排放管中所侦测到的流量低于预定阀值，控制器会打开可控制阀325以增加旁通管320与回馈路径322中的压力。因此，由震动组件330所产生的振动量增加且排放管中的粒子受到更多的搅动。在其他例子中，如果旁通管320中的压力低于预定阀值而可控制阀325已经完全打开，控制器则增加外部气体源370至震动组件330的气流。在一些实施方式中，可连接至排放系统300的控制器是配置以使用量测到的流量以及压力对作业员提出排放系统300有维护必要的警示。在一些实施方式中，控制器可警示作业员排放系统300应于预定时间范围内接受维护。在一些实施方式中，控制器可警示作业员排放系统300应即刻受到维护。警示以及维护时程基于所量测到的流量以及压力而有所不同。排放系统300，其包含震动组件330，有助于降低制造程序的成本。与其他排放系统相比，排放系统300具有四倍长的预防性维护周期。举例而言，对于不包含震动组件330的排放系统所执行的预防性维护为每月一次。然而，在一些例子中，对于排放系统300所执行的预防性维护为每四个月一次。预防性维护周期的增长是归功于排放管中粒子的搅动，其降低了粒子堆积量。减少预防性维护次数不仅代表排放系统300可于更长的时间内维持作业，亦代表连接至排放系统300的制造工具可维持作业。连接至排放系统300的制造工具越多，增加的生产力亦随之增加。使用一非限制性范例以强调震动组件330的影响。将一个震动组件330连接至一个与排放系统300类似的排放系统。震动组件330连接至旁通管320下方，类似于图3中所示的位置。在一些实施方式中，供应每分钟35升流量的氮至震动组件330的震动元件。由氮气流动所产生的力为1.3x10-4公斤力。在排放系统的多个位置，以速度(毫米/秒)为单位测量震动量。据此，可承受的剪力约为每平方英寸3.55x10-8千磅(poundsperinch,ksi)。为了得知震动组件330的开启或关闭之间的差别，以下将针对排放系统300在图3中的位置a～f的震动情况进行测试，其中位置a位于混合箱310；位置b位于混合箱310下游的排放管；位置c位于位置b下游的排放管；位置d位于旁通管320；位置e位于邻近于震动组件330的排放管；位置f位于位置e下游的排放管。测试结果提供于表格1中。表格1位置abcdef震动组件(关闭)0.40.30.30.40.40.4震动组件(开启)0.40.50.50.41.10.5表格1指出当震动组件330的震动元件启动时排放管的震动增加了将近300％。此震动增加转而搅动排放管内的粒子并降低粒子在排放管中堆积的风险。排放系统300包含单一个震动组件330。在一些实施方式中，排放系统300包含复数个震动组件330位于排放管沿线的多个位置。在一些例子中，震动组件330加装于排放系统300中经验上倾向于堆积粒子的位置。在一些实施方式中，排放系统300中所有的震动组件330皆控制为同一单位。在一些实施方式中，排放系统300中至少一个震动组件330是自排放系统300中至少其他震动组件330外独立控制。图4为依据一些实施方式中排放系统作业方法400的流程图。于步骤402中，启动震动组件，如震动组件100或震动组件330。在一些实施方式中，通过从旁通管供应气体至震动组件的震动元件来启动震动组件。在一些实施方式中，通过从外部气体源供应气体至震动组件来启动震动组件。在步骤404中，侦测通过排放管的流量及/或旁通管的压力。在一些实施方式中，排放管的流量与旁通管的压力皆被侦测。在一些实施方式中，仅侦测排放管的流量或旁通管的压力的其中一者。在一些实施方式中，在排放管沿线的多个位置侦测通过排放管的流量。在一些实施方式中，步骤406中使用多个侦测到的流量中的最低流量作为比较。在一些实施方式中，步骤406中使用侦测到流量的平均值作为比较。在步骤406中，比较侦测值与预定阀值。如果侦测值高于或等于预定阀值，则排放系统被视为运作正常而无须调整。如步骤406的箭头Y所指，只要未侦测到低于预定阀值的数值，就会重复进行侦测与比较。在一些实施方式中，连续性地重复此循环。在一些实施方式中，周期性地重复此循环。如果侦测值低于预定阀值，则排放系统作业方法400接续至步骤业408；如步骤406中箭头N所指。在步骤408中，增加回馈路径中的流量及/或启动外部气体源，如，外部气体源370。在一些实施方式中，每次增加的流量约为10％或每分钟5升。在一些实施方式中，通过开启可控制阀以增加回馈路径中的气体量以增加回馈路径中的压力。回馈路径中的气体流进震动组件的震动元件。增加回馈路径中的压力会增加震动组件造成的震动位移量。在一些实施方式中，外部气流的启动是通过将阀开启以允许气体由外部气体源流进震动组件的震动元件。在一些实施方式中，在外部气体源启动前，增加回馈路径中的压力直到可控制阀完全打开。在一些实施方式中，同时增加回馈路径中的压力与启动外部气流。在步骤410中，侦测通过排放管的流量及/或回馈路径中的压力。在一些实施方式中，排放管中的流量与回馈路径中的压力皆被侦测。在一些实施方式中，仅侦测排放管中流量或回馈路径中压力的其中一者。在一些实施方式中，在排放管沿线的多个位置侦测通过排放管的流量。在一些实施方式中，使用多个侦测到流量中的最低流量于步骤412中作为比较。在一些实施方式中，使用侦测到的流量的平均于步骤412中作为比较。在步骤412中，比较侦测值与预定阀值。步骤406与步骤412的预定阀值相同。预定阀值为一个足以允许排放系统有效从制造工具移除粒子以使制造工具得以依设计所作业的数值。如果侦测值高于或等于预定阀值，则排放系统被视为在可接受的范围内运作而无立即维护的必要。如步骤412的箭头Y所指，排放系统作业方法400进行至步骤414。如果侦测值低于预定阀值，则建议立即维护以预防制造产出下降。如步骤412的箭头N所指，排放系统作业方法400接续至步骤414。在一些实施方式中，步骤412会延迟一特定时间间隔以容许步骤408的效果显示于步骤410的侦测值。在步骤414中，产生排放系统维护时程的信息。传达此信息给排放系统的作业员。在一些实施方式中，此信息提供执行维护的建议时程。在一些实施方式中，此信息包含视听组件。在一些实施方式中，排放系统作业方法400在步骤414之后返回步骤404。在一些实施方式中，排放系统作业方法400在步骤414之后返回步骤410。在一些实施方式中，步骤410对一段时间内连续产生的维护时程信息做出限制。举例而言，在一些实施方式中，每星期最多产生一次维护时程的信息。在步骤416中，产生排放系统紧急维护的信息。传送此信息至排放系统的作业员。在一些实施方式中，此信息包含视与听组件。在一些实施方式中，接续步骤416，关闭排放系统以避免对制造工具造成伤害。在一些实施方式中，在步骤416后延迟一段特定时间才进行关闭。在一些实施方式中，信息中亦包含关机时间。图5为依据一或多个实施方式中用以控制排放系统的系统500的示意图。系统500包含硬件处理器502以及非暂态的计算机可读储存中介504，计算机可读储存中介504编有程序码，如，计算机程序码506(如，一组可执行的指令)。计算机可读储存中介504亦编有指令507以作为与制造机器间的接口以产生记忆阵列。硬件处理器502通过汇流线508电性耦接至计算机可读储存中介504。硬件处理器502亦通过汇流线508电性耦接至输入/输出接口510。网络接口512亦通过汇流线508电性连接至硬件处理器502。网络接口512连接至网络514，所以硬件处理器502以及计算机可读储存中介504得以经由网络514连接至外部单元。硬件处理器502是配置以执行编码于计算机可读储存中介504中的计算机程序码506以使系统500得以执行描述于排放系统作业方法400中的部分或全部的功能。在一些实施方式中，硬件处理器502为中央处理单元(centralprocessingunit,CPU)、多处理器、分布式处理系统、专用集成电路(applicationspecificintegratedcircuit,ASIC)及/或适当的处理单元。在一些实施方式中，计算机可读储存中介504为电子、磁、光、电磁、红外及/或半导体的系统、仪器或元件。举例而言，计算机可读储存中介504包含半导体或固态记忆体、磁带、可移除式计算机软盘、随机存取记忆体(randomaccessmemory,RAM)、只读记忆体(readonlymemory,ROM)、硬式磁盘及/或光盘。在一些实施方式中使用光盘，计算机可读储存中介504包含只读光盘记忆体(compactdisk-readonlymemory,CD-ROM)、光盘读取(compactdisk-read/write,CD-R/W)及/或数字影音光盘(digitalvideodisc,DVD)。在一些实施方式中，计算机可读储存中介504存有计算机程序码506，配置计算机程序码506使系统500执行排放系统作业方法400。在一些实施方式中，计算机可读储存中介504亦储存有执行排放系统作业方法400所需的信息以及执行排放系统作业方法400时所产生的信息，诸如流量/压力阀值参数516、阀位置参数518、维护时程参数520、流量/压力参数522及/或一组用以执行排放系统作业方法400的作业的可执行指令。在一些实施方式中，计算机可读储存中介504存有指令507作为与制造机器间的接口。指令507使硬件处理器502得以产生可被排放系统读取的指令以在制造过程时有效实施排放系统作业方法400。系统500包含输入/输出接口510。输入/输出接口510耦接至外部电路。在一些实施方式中，输入/输出接口510包含键盘、鼠标、滚轮、触控板及/或游标方向键以与硬件处理器502交流信息及指令。系统500亦包括耦接至硬件处理器502的网络接口512。网络接口512使系统500得以与网络514通讯，其连接至一或多个其他其他计算机系统。网络接口512包含无线网络接口诸如蓝芽、WIFI、WIMAX、GPRS或WCDMA；或有线网络接口诸如乙太网络、USB或IEEE-1394。在一些实施方式中，排放系统作业方法400实施于二或更多个系统500中，而诸如记忆体类型、记忆体阵列输出、输入/输出电压、输入/输出针脚位置以及电荷泵的信息通过网络514在不同系统500间交换。作业期间，硬件处理器502执行一组指令以比较流量/压力参数522与流量/压力阀值参数516。基于此比较的结果，硬件处理器502是配置以执行指令传送控制信号至排放系统的阀以控制阀位置并更新阀位置参数518。硬件处理器502亦配置以基于维护时程参数520产生关于维护时程的信息。实施细节的一面向是有关于一种排放系统。排放系统包含入口，配置以接收排放混合物。排放系统进一步包含排放管，连接至入口。排放系统进一步包含震动组件，连接至排放管。排放系统进一步包含旁通管，连接至排放管。排放系统进一步包含回馈路径，由外部气体源延伸至震动组件，其中回馈路径与排放管分离。在一些实施方式中，排放系统的震动组件包含震动元件以及固定装置。震动元件连接至回馈路径而固定装置连接至震动元件，其中固定装置是配置以将震动元件的震动运动传送至排放管以震动排放管。在一些实施方式中，排放系统的震动元件包含腔体、入口以及出口。腔体用以容纳可移动元件，入口配置以接收来自回馈路径的气流而腔体的入口与出口定义通过腔体的流通路径。在一些实施方式中，排放系统包含外部气体源。外部气体源连接至反应器。在一些实施方式中，排放系统的震动元件包含第一入口以及第二入口。第一入口连接至回馈路径而第二入口连接至备用外部气体源。在一些实施方式中，排放系统的固定装置沿着排放管的整个周缘环绕延伸。在一些实施方式中，排放系统的固定装置进一步包含多个接触点。接触点直接接触排放管。在一些实施方式中，排放系统的接触点是均匀环绕分布于排放管周围的整个周缘。在一些实施方式中，排放系统进一步包含可控制阀。可控制阀连接至旁通管，其中可控制阀是配置以控制旁通管中的压力。在一些实施方式中，排放系统进一步包含第一排泄槽。第一排泄槽配置以供应清洗液至排放管中的多个清洗液入口。在一些实施方式中，排放系统的震动组件连接至排放管的一个位置，该位置位于每个清洗液入口的上游。在一些实施方式中，排放系统的震动组件连接至排放管，位于排放管的下游。实施细节的另一面向是有关于震动组件。震动组件包含震动元件。震动元件包含腔体。震动元件进一步包含入口与出口，入口配置以接收气流，出口配置以输出气流。震动元件进一步包含位于腔体中的可移动元件，其中可移动元件配置以基于气流位移。震动组件进一步包含连接至震动元件的固定装置，其中固定装置包含复数个由内部表面延伸出的接触点。在一些实施方式中，震动组件进一步包含垫圈。垫圈位于震动元件以及固定装置之间。在一些实施方式中，每一接触点是与固定装置构成一整体。在一些实施方式中，接触点的至少一者是可自固定装置移除。在一些实施方式中，腔体是位于震动元件的中央。本实施细节的又一面向是有关于一种排放系统使用方法。排放系统使用方法包含启动与排放管连接的震动组件，其中震动组件配置以震动排放管。排放系统使用方法进一步包含量测指示通过排放管粒子流的数值。排放系统使用方法进一步包含比较数值与预定阀值。排放系统使用方法进一步包含增加排放管的震动频率以作为数值低于预定阀值时的反应。在一些实施方式中，启动震动组件包含扰动附着于排放管的内壁的粒子。在一些实施方式中，增加振动频率的步骤包含增加外部气体源中的压力。本揭露已由范例及上述实施方式描述，应了解本揭露并不限于所揭露的实施方式。相反的，本揭露涵盖多种更动及近似的布置(如，此领域中的通常技艺者所能明显得知者)。因此，附加的权利要求应依据最宽的解释以涵盖所有此类更动及近似布置。当前第1页1 2 3