一种提高冷泵的再生效率装置的制作方法

文档序号:14792416发布日期:2018-06-28 03:37阅读:238来源:国知局

本实用新型涉及加热技术领域,尤其涉及到一种提高冷泵的再生效率装置。



背景技术:

这些年来,随着投光学镀膜行业的快速发展,低温泵的再生是使泵内贮存的气体解析和脱附的过程再生的方式有多种,其所需时间和再生效果也有差别;再生方式的选择、冷头温度测量方法以及再生起点终点的判断对低温泵系统自动化有着重要意义;目前国外的低温泵生产厂家都推出了自动化程度很高的低温泵产品国内有关研究单位也在积极开展相关工作。

冷泵再生的化霜是一个难题,自然加热再生是最简单的低温泵再生方法,它是利用泵壁与周围空气的热交换来使泵升温的,在刚开始再生时,由于泵内真空度较高,因此主要是依靠泵壁的热辐射和泵内的热传导使冷板逐渐升温,这个升温过程相当缓慢。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于克服上述现有技术中的不足之处而提供一种结构简单,实用的提高冷泵的再生效率装置。

本实用新型是通过如下方式实现的:

一种提高冷泵的再生效率装置,其特征在于:包括与冷泵外壁相配合的硅胶加热板,所述硅胶加热板由直板卷曲形成圆筒状,硅胶加热板的前端和尾端之间不相连,且硅胶加热板的前端和尾端之间形成有让位槽,所述硅胶加热板的前端和尾端上分别设有安装槽;所述安装槽上设有一个以上的安装孔;硅胶加热板的前端和尾端上的安装孔之间通过弹簧锁扣相连接;所述硅胶加热板上设有用以调控硅胶加热板加热温度的温度调节旋钮,所述硅胶加热板和温度调节旋钮分别与电源相连接。

本实用新型的有益效果在于:结构简单,易于操作,适用于冷泵的加热;可以推广至常规的冷泵类装置的加热;通过对冷泵的外部加热,使冷泵的温度升高,转动温度调节旋钮,调节所需的温度,辅助冷泵自身来促进冷泵的化霜过程,加快冷泵的再生,缩短再生时间。

附图说明

图1本实用新型结构示意图。

具体实施方式

下面通过具体实施例,并结合附图,对本实用新型的技术方案作进一步的具体说明。应当理解,本实用新型的实施方式并不局限于下面的实施例,对本实用新型所做的任何形式上的变通和/或改变都将落入本实用新型保护范围。

实施例:

一种提高冷泵的再生效率装置,如图1所示,包括与冷泵1外壁相配合的硅胶加热板2,硅胶加热板2由直板卷曲形成圆筒状,硅胶加热板2的前端和尾端之间不相连,且硅胶加热板2的前端和尾端之间形成有让位槽21,方便硅胶加热板2与冷泵1的安装;硅胶加热板2的前端和尾端上分别设有安装槽3,方便安装孔4的加工、定位;安装槽3上设有一个以上的安装孔4;硅胶加热板2的前端和尾端上的安装孔4之间通过弹簧锁扣5相连接,弹簧锁扣5将硅胶加热板2与冷泵1外壁贴合;硅胶加热板2上设有用以调控硅胶加热板2加热温度的温度调节旋钮6,硅胶加热板2和温度调节旋钮6分别与电源相连接。

实施时,通过硅胶加热板2对冷泵1的外部加热,使冷泵1的温度升高,转动温度调节旋钮6,调节所需的温度,辅助冷泵1自身来促进冷泵1的化霜过程,加快冷泵1的再生,缩短再生时间。

以上所述仅为本实用新型的实施例,并非因此限制本实用新型的专利范围,凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换,或直接或间接运用在其他相关的技术领域,均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

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