一种可提高蒸汽射流速度的扩散泵的制作方法

本实用新型涉及扩散泵领域，特别涉及一种可提高蒸汽射流速度的扩散泵。

背景技术：

可提高蒸汽射流速度的扩散泵是目前获取真空的最主要的工具之一，其原理是通过处于分子状态下的被抽气体分子扩散进入高速定向运动的油蒸汽内，由动量传递而被携带至前级来完成抽气作用。现有的可提高蒸汽射流速度的扩散泵喷嘴，其张角角度一般设置为50～60度，从喷嘴喷射出的蒸汽射流几乎是紧贴着导流管竖直向下喷射，虽然在喷嘴处速度可达到280m/s左右，但是蒸汽射流覆盖面积较小，没有喷射到泵腔内壁只形成了一个很小的成闭合回路，导致此时蒸汽射流所能携带的空气体积比较小，导致抽气效果不理想。

技术实现要素：

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的是提供一种可提高蒸汽射流速度的扩散泵，该装置设计合理、结构简单，便于安装和维护。

本实用新型所采用的技术方案是：一种可提高蒸汽射流速度的扩散泵，包括带有中空油腔、进气口和出气口的外罩、套接在外罩表面的水冷套、设置在油腔底部的加热装置及设置在加热装置上方的的泵芯，泵芯上端设有伞形喷嘴，其技术要点是，泵芯为圆柱形，在泵芯的顶部设上开口外沿，所述外沿的内径略大于泵芯的内径，在所述的伞形喷嘴内壁上还设有圆锥状插芯，所述的圆锥状插芯插接在泵芯外沿的开口内，圆锥状插芯与泵芯外沿之间的空隙形成气流通道。

上述方案中，所述的加热装置包括电热丝和控制柜，电热丝设置在油液内对油液加热，电热丝的两端伸出泵芯外并与控制柜连接，所述的控制柜连接控制器。

本实用新型的有益效果是：该可提高蒸汽射流速度的扩散泵，对伞形喷嘴进行改进，使圆锥形插芯与泵芯外沿形成气流通道，伞形喷嘴的张角角度为40-45度之间时，蒸汽射流在喷嘴处的速度可臥达到300m/s以上，并且喷射到泵腔内壁形成面积较大的方向向下的蒸汽射流，能够携带更多的空气向出口流动，抽气效果比较理想。该结构设计合理，大大提高了扩散泵的工作效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例中可提高蒸汽射流速度的扩散泵的结构示意图；

图中序号说明如下：1外罩、1-1油腔、1-2进气口、2水冷套、3出气口、4挡油弯头、5控制柜、6电热丝、7油液、8泵芯、9外沿、10伞形喷嘴、10-1圆锥形插芯。

具体实施方式

使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图1和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

实施例1：

本实施例中的可提高蒸汽射流速度的扩散泵，包括带有中空油腔1-1和进气口1-2的外罩1、设置在外罩1外侧的水冷套2、设置在油腔1-1底部的加热装置及设置在加热装置上方的的泵芯8，在泵芯8的上端还设有伞形喷嘴10，泵芯8为圆柱形，在泵芯8的顶部设有上开口的外沿9，外沿9的内径略大于泵芯8的内径，在伞形喷嘴10内壁上还设有圆锥状插芯10-1，圆锥状插芯10-1插接在泵芯8外沿的开口内，圆锥状插芯10-1与泵芯8外沿之间的空隙形成气流通道。伞形喷嘴10的张角为40度，喷嘴喷出的蒸汽射流会在泵腔内形保持一段较长的高速射流，效果最佳。

泵芯8的内径设为4mm。在外罩1上还连接带有出气口3的挡油弯头4，便于抽出气体。

本实施例中的加热装置包括电热丝6和控制柜5，电热丝6设置在油液7内对油液7加热，电热丝6的两端伸出泵芯8并与位于泵芯8外的控制柜5连接。本实施例的油液7中设有多组加热装置，这种结构使加热面积增大，提高热传导速度，使损耗更低，不仅节省了能源成本，而且缩短了扩散累升温时间，提高了其工作效率。各加热装置的控制柜分别连接外界控制器，再结合温度传感器采集油液温度，实现对各加热装置的分别控制。另外，这种多加热装置结构，也可避免由于某个加热装置损坏而影响加热的效果，用户可根据需要随时进行更换，方便可靠。

实施例2：

本实施例与实施例1的区别在于，伞形喷嘴10的张角为43度。

实施例3：

本实施例与实施例1的区别在于，伞形喷嘴10的张角为45度。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。