流体压力缸的制作方法

本发明涉及在活塞配置有磁铁的流体压力缸。

背景技术：

以往，例如作为工件等的搬送机构(致动器)，公知有具备随着压力流体的供给而位移的活塞的流体压力缸。通常，流体压力缸具有缸筒、以能够沿轴向移动的方式配置在缸筒内的活塞、以及与活塞连结的活塞杆。

在日本特开2008-133920号公报中，公开了为了检测活塞的位置而在活塞的外周部安装环状的磁铁并且在缸筒的外侧配置有磁传感器的流体压力缸。在该结构的情况下，磁传感器仅配置于缸筒的周向的一部分，与此相对，磁铁为环状(整周)。因此，关于活塞的位置检测，磁铁有必要以上的体积。另一方面，在日本特开2017-3023号公报所公开的流体压力缸中，在活塞的外周部仅在周向的一部分保持有磁铁(非环状磁铁)。

在日本特开2017-3023号公报的流体压力缸中，磁传感器与磁铁的距离(周向的位置关系)始终恒定。因此，无法对位置固定的磁传感器进行磁力调整(磁传感器与磁铁的周向的位置关系的调整)。

另一方面，具有使用带型的传感器安装件在圆形的缸筒的外周部安装磁传感器的结构。在该结构的情况下，能够在缸筒的外周部的任意位置配置磁传感器，因此能够在调整了磁传感器与非环状磁铁的距离的基础上安装磁传感器。然而，在将磁传感器安装于缸筒的外周部后，在使活塞杆旋转的情况下，存在磁传感器与非环状磁铁的距离变化这样的问题。

另外，在将磁传感器安装于在缸筒的外侧固定的位置的结构中，在使活塞杆旋转的情况下，存在磁传感器与非环状磁铁的距离变化这样的问题。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种能够解决上述现有技术所具有的课题中的至少一个的流体压力缸。

为了实现上述目的，本发明的流体压力缸具备：缸筒，该缸筒在内部具有圆形的滑动孔；活塞单元，该活塞单元配置成能够沿着所述滑动孔往复移动；以及活塞杆，该活塞杆从所述活塞单元向轴向突出，所述活塞单元具有：圆形的活塞主体，该活塞主体从所述活塞杆向径向外侧突出；衬垫，该衬垫安装于所述活塞主体的外周部，并以能够滑动的方式与所述缸筒的内周面接触；可动部件，该可动部件以能够相对于所述活塞主体相对旋转的方式安装于所述活塞主体的外周部，并具有磁铁保持部；以及磁铁，该磁铁由所述磁铁保持部保持，并在所述活塞主体的周向上局部配置，所述活塞杆能够相对于所述缸筒相对旋转，所述可动部件相对于所述缸筒的相对旋转被限制。

根据具备上述结构的流体压力缸，由于磁铁仅配置于周向的必要部位，因此能够实现产品成本以及产品重量的削减。另外，在将磁传感器安装于在缸筒的外侧固定的位置且能够调整缸筒的周向位置的结构的情况下，若使缸筒旋转，则保持于配置在缸筒内的可动部件的磁铁也一体地旋转。因此，通过调整配置于缸筒的外侧的磁传感器与磁铁的距离(磁传感器与磁铁的周向的位置关系)，能够容易地调整对磁传感器的磁力。因此，能够在一种气缸构造中使用灵敏度不同的多种磁传感器。由此，能够实现由部件的合理化带来的产品成本的削减。

另一方面，在使用带型的传感器安装件将磁传感器安装于缸筒的外周部的任意位置的结构的情况下，即使在将磁传感器安装于缸筒的外周部后使活塞杆旋转，磁传感器与磁铁的距离也被维持。另外，在将磁传感器安装于在缸筒的外侧固定的位置的结构的情况下，即使使活塞杆旋转，磁传感器与磁铁的距离也被维持。因此，例如在将流体压力缸向设备安装时，能够在不改变磁传感器与磁铁的距离的情况下使活塞杆旋转，很方便。

优选的是，所述可动部件是以阻止所述活塞主体与所述缸筒接触的方式构成的耐磨环。

根据该结构，可动部件兼作为保持磁铁的部件和耐磨环，因此能够削减部件数量。因此，能够实现由部件的合理化带来的产品成本的进一步削减。

优选的是，在所述活塞主体的外周部设置有圆环状的磁铁配置槽，所述磁铁保持部插入到所述磁铁配置槽。

在流体压力缸中，在磁传感器的安装位置未被预先决定的情况下采用环状磁铁，但根据上述结构，在使用非环状磁铁的情况(本发明)和使用环状磁铁的情况下，能够采用共通的活塞主体。因此，能够实现由部件的合理化带来的产品成本的削减。

优选的是，在所述缸筒的内周面，沿着所述缸筒的轴向设置有止转用槽，在所述可动部件设置有与所述止转用槽卡合的止转用突起。

由此，能够以简单的结构限制可动部件与缸筒的相对旋转。

优选的是，所述可动部件具有沿着所述活塞主体的外周部在周向上延伸的周向部，所述磁铁保持部从所述周向部向轴向突出，所述止转用突起遍及所述周向部的外表面及所述磁铁保持部的外表面地设置。

根据该结构，能够容易地获得为了良好地限制可动部件与缸筒的相对旋转所需的止转用突起的轴向长度。

优选的是，在所述衬垫的外周部设置有凸部，该凸部插入到所述止转用槽，并且以能够滑动的方式与所述止转用槽的内表面接触。

根据该结构，能够良好地确保止转用槽的位置处的密封性。

优选的是，所述磁铁保持部具有安装有所述磁铁的磁铁安装槽，所述磁铁安装槽沿轴向贯通所述磁铁保持部，并且在径向内侧开口。

根据该结构，在组装工序中，能够容易地将磁铁安装于磁铁保持部。

根据本发明的流体压力缸，能够实现产品重量的削减，并且能够调整磁传感器与磁铁的距离。或者，根据本发明的流体压力缸，能够在不影响磁传感器与磁铁的距离的情况下使活塞杆旋转。

根据与添附的附图协同的接下来的优选的实施方式例的说明来进一步明确上述目的、特征以及优点。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式的流体压力缸的立体图。

图2是图1所示的流体压力缸的剖视图。

图3是图1所示的流体压力缸的分解立体图。

图4a是缸筒与可动部件的止转构造(多边形状)的剖视说明图。

图4b是缸筒与可动部件的止转构造(弧状)的剖视说明图。

图5是另一结构的缸筒的立体图。

图6是又一结构的缸筒的立体图。

图7是本发明的第二实施方式的流体压力缸的局部剖视侧视图。

具体实施方式

以下，列举多个优选的实施方式，参照附图对本发明的流体压力缸进行说明。

图1所示的第一实施方式的流体压力缸10具备在内部具有圆形的滑动孔13(缸室)的中空筒状的缸筒12、配置于缸筒12的一端部的杆罩14、以及配置于缸筒12的另一端部的盖罩16。另外，如图2及图3所示，流体压力缸10具备以能够沿轴向(x方向)移动的方式配置在缸筒12内的活塞单元18和与活塞单元18连结的活塞杆20。该流体压力缸10例如用作用于搬送工件等的致动器。

缸筒12例如由铝合金等金属材料构成，由沿轴向延伸的筒体构成。在第一实施方式中，缸筒12形成为中空圆筒形。

在缸筒12的内周面设置有沿着缸筒12的轴向延伸的止转用槽24。止转用槽24形成为宽度(周向宽度)朝向径向外侧减小的锥形状(梯形状或三角形状)。止转用槽24也可以形成为其他的多边形状(例如四边形状)。在第一实施方式中，止转用槽24在缸筒12的内周面仅设置于周向的一个部位。另外，也可以在缸筒12的内周面沿周向隔开间隔地设置多个(例如三个)止转用槽24。

如图1及图2所示，杆罩14设置成封闭缸筒12的一端部(箭头x1方向侧的端部)，例如是由与缸筒12相同的金属材料构成的部件。在杆罩14设置有第一端口15a。如图2所示，设置于杆罩14的环状突出部14b插入缸筒12的一端部。

在杆罩14与缸筒12之间配置有圆形环状的衬垫23。在杆罩14的内周部配置有圆形环状的衬套25及衬垫27。在杆罩14的内周部配置有圆形环状的第一缓冲衬垫68a。

盖罩16例如是由与缸筒12相同的金属材料构成的部件，设置成封闭缸筒12的另一端部(箭头x2方向侧的端部)。通过盖罩16来气密地封闭缸筒12的另一端部。在盖罩16设置有第二端口15b。

设置于盖罩16的环状突出部16b插入到缸筒12的另一端部。在盖罩16与缸筒12之间配置有圆形环状的衬垫31。在盖罩16的内周部配置有圆形环状的第二缓冲衬垫68b。

如图1所示，缸筒12、杆罩14及盖罩16通过多个连结杆32及螺母34沿轴向紧固。多组连结杆32及螺母34在周向上隔开间隔地设置。因此，缸筒12以夹持在盖罩16与杆罩14之间的状态被固定。

如图2所示，活塞单元18以能够沿轴向滑动的方式收容在缸筒12内(滑动孔13)，将滑动孔13内分隔为第一端口15a侧的第一压力室13a和第二端口15b侧的第二压力室13b。在本实施方式中，活塞单元18与活塞杆20的基端部20a连结。

活塞单元18具有从活塞杆20向径向外侧突出的圆形的活塞主体40、安装于活塞主体40的外周部的圆形环状的衬垫42、以能够相对于活塞主体40相对旋转的方式安装于活塞主体40的外周部的可动部件44、以及在活塞主体40的周向上局部配置的磁铁46。

活塞主体40具有沿轴向贯通的贯通孔40a。活塞杆20的基端部20a(细径部)插入活塞主体40的贯通孔40a，并且通过铆接而固定(连结)于活塞主体40。另外，活塞主体40与活塞杆20的固定构造不限于铆接，也可以是拧入构造。

在活塞主体40的外周部，衬垫安装槽50、磁铁配置槽52及耐磨环安装槽54设置在轴向的不同位置。磁铁配置槽52设置在衬垫安装槽50与耐磨环安装槽54之间。衬垫安装槽50、磁铁配置槽52以及耐磨环安装槽54均构成为遍及周向的整周地延伸的圆形环状。

磁铁配置槽52的底部52a位于比耐磨环安装槽54的底部54a靠径向内侧的位置。因此，磁铁配置槽52的槽深比耐磨环安装槽54的槽深更深。作为活塞主体40的构成材料，例如可举出碳钢、不锈钢、铝合金等金属材料、硬质树脂等。

衬垫42是由橡胶材料或弹性体材料等弹性材料构成的环状的密封部件(例如o型环)。衬垫42安装于衬垫安装槽50。

衬垫42以能够滑动的方式与缸筒12的内周面接触。具体而言，衬垫42的外周部遍及整周地与滑动孔13的内周面气密或液密地紧贴。衬垫42的内周部遍及整周地与活塞主体40的外周面气密或液密地紧贴。通过衬垫42，将活塞单元18的外周面与滑动孔13的内周面之间密封，滑动孔13内的第一压力室13a与第二压力室13b被气密或液密地分隔。

如图3所示，在衬垫42的外周部设置有凸部56，该凸部56插入到止转用槽24，并且以能够滑动的方式与止转用槽24的内表面接触。凸部56形成为与止转用槽24相同的多边形状。即，凸部56形成为宽度(周向宽度)朝向径向外侧减小的锥形状(梯形状或三角形状)。凸部56与止转用槽24气密或液密地紧贴。

通过凸部56与止转用槽24卡合，从而将衬垫42相对于缸筒12的相对旋转限制。由于活塞主体40与活塞杆20以不能相对旋转的方式连结，因此当使活塞杆20旋转时，活塞主体40也一起旋转。此时，活塞主体40能够相对于衬垫42相对旋转。

此外，在缸筒12的内周面沿周向隔开间隔地设置有多个止转用槽24的情况下，也可以在衬垫42上沿周向隔开间隔地设置有多个(与止转用槽24的个数相同或比其少的个数)凸部56。

可动部件44具有沿着活塞主体40的外周部在周向上延伸的周向部57和从周向部57向轴向突出的磁铁保持部58。磁铁保持部58在周向上隔开间隔地设置有多个(在图示例中为四个)。此外，磁铁保持部58也可以仅设置一个。

磁铁保持部58插入到磁铁配置槽52。磁铁保持部58具有安装有磁铁46的磁铁安装槽58a。磁铁安装槽58a在轴向上贯通磁铁保持部58，并且在径向内侧开口。更具体而言，磁铁保持部58具有从周向部57向轴向突出的基部58b和从基部58b的周向两侧向径向内侧延伸的一对保持臂58c。一对保持臂58c彼此相对地延伸，并且具有向彼此相对的方向突出的一对爪部58d。在一对保持臂58c之间形成有磁铁安装槽58a。

在第一实施方式中，可动部件44是以阻止活塞主体40与缸筒12接触的方式构成的耐磨环44a，安装于耐磨环安装槽54。在流体压力缸10的工作中，在与轴向垂直的方向上较大的横向载荷作用于活塞单元18时，耐磨环44a防止活塞主体40的外周面与滑动孔13的内周面接触。耐磨环44a的外径比活塞主体40的外径大。

耐磨环44a由低摩擦材料构成。耐磨环44a与滑动孔13的内周面之间的摩擦系数比衬垫42与滑动孔13的内周面之间的摩擦系数小。作为这样的低摩擦材料，例如可举出聚四氟乙烯(ptfe)那样的兼具低摩擦性和耐磨耗性的合成树脂材料、金属材料(例如轴承钢)等。

周向部57安装于耐磨环安装槽54。周向部57构成为圆形环状，在周向的一部分形成有狭缝57a(切缝)。狭缝57a形成在相对于磁铁保持部58在周向上错开的位置。具体而言，狭缝57a形成于在周向上相邻的磁铁保持部58之间。在组装时，将可动部件44在径向强制扩展而配置于耐磨环安装槽54的周围后，通过弹性恢复力再次缩径，从而安装于耐磨环安装槽54。

可动部件44相对于缸筒12的相对旋转被限制。具体而言，在第一实施方式中，在缸筒12的内周面沿着缸筒12的轴向设置有止转用槽24，在可动部件44设置有与止转用槽24卡合的止转用突起60。止转用突起60能够相对于止转用槽24在轴向上滑动。

止转用突起60从可动部件44的外周部向径向外侧突出。如图4a所示，止转用突起60形成为与止转用槽24相同的多边形状。即，止转用突起60形成为宽度(周向宽度)朝向径向外侧减小的锥形状(梯形状或三角形状)。在缸筒12的内周面沿周向隔开间隔地设置有多个止转用槽24的情况下，也可以在可动部件44上沿周向隔开间隔地设置多个(与止转用槽24的个数相同或比其少的个数)止转用突起60。

止转用突起60在周向部57的外表面57b及磁铁保持部58的外表面58e沿轴向延伸设置。即，止转用突起60遍及周向部57的外表面57b及磁铁保持部58的外表面58e双方而设置。

止转用槽24不限于上述锥形状，如图4b所示，截面也可以构成为弧状。在该情况下，设置于可动部件44的止转用突起60构成为与弧状的止转用槽24相同的弧状。另外，在止转用槽24构成为弧状的情况下，也可以不在衬垫42设置凸部56(图3)。在该情况下，衬垫42的外周部也仿照弧状的止转用槽24的形状而弹性变形，因此密封性得到维持。

如图3所示，磁铁46构成为仅存在于活塞主体40的周向的一部分的非环状(点状)，安装于磁铁保持部58(磁铁安装槽58a)。在第一实施方式中，仅在多个磁铁保持部58中的一个磁铁保持部58安装有磁铁46。磁铁46例如是铁氧体磁铁、稀土类磁铁等。

如图2所示，在缸筒12的外侧安装有磁传感器64。具体而言，在连结杆32(图1)安装有传感器用托架66。在传感器用托架66保持有磁传感器64。由此，磁传感器64经由传感器用托架66以及连结杆32而相对于盖罩16以及杆罩14被固定位置。通过利用磁传感器64感知磁铁46产生的磁力来检测活塞单元18的动作位置。

活塞杆20是沿着滑动孔13的轴向延伸的柱状(圆柱状)的部件。活塞杆20贯通杆罩14。活塞杆20的顶端部20b向滑动孔13的外部露出。在活塞主体40的与杆罩14侧相邻的位置，在活塞杆20的外周部固定有第一缓冲环69a。在隔着活塞主体40而与第一缓冲环69a相反的一侧，第二缓冲环69b与活塞杆20同轴地固定于活塞主体40。

由第一缓冲衬垫68a、第二缓冲衬垫68b、第一缓冲环69a以及第二缓冲环69b构成缓和行程末端处的冲击的气垫机构。此外，代替这样的气垫机构或者除了该气垫机构以外，例如也可以将由橡胶材料等弹性材料构成的减震器分别安装于例如杆罩14的内壁面14a及盖罩16的内壁面16a。

如上述那样构成的流体压力缸10如下进行动作。此外，在以下的说明中，对使用空气(压缩空气)作为压力流体的情况进行说明，但也可以使用空气以外的气体。

在图2中，流体压力缸10通过经由第一端口15a或第二端口15b导入的作为压力流体的空气的作用，使活塞单元18在滑动孔13内沿轴向移动。由此，与该活塞单元18连结的活塞杆20进退移动。

具体而言，为了使活塞单元18向杆罩14侧位移(前进)，使第一端口15a成为大气开放状态，从未图示的压力流体供给源经由第二端口15b向第二压力室13b供给压力流体。这样一来，活塞单元18被压力流体压向杆罩14侧。由此，活塞单元18与活塞杆20一起向杆罩14侧位移(前进)。

通过活塞单元18与杆罩14抵接，活塞单元18的前进动作停止。在活塞单元18接近前进位置时，第一缓冲环69a与第一缓冲衬垫68a的内周面接触，在该接触部分形成气密密封件，在第一压力室13a形成气垫。由此，在杆罩14侧的行程末端附近，活塞单元18的位移减速，因此行程末端到达时的冲击得到缓和。

另一方面，为了使活塞主体40向盖罩16侧位移(后退)，使第二端口15b成为大气开放状态，从未图示的压力流体供给源经由第一端口15a向第一压力室13a供给压力流体。这样一来，活塞主体40被压力流体压向盖罩16侧。由此，活塞单元18向盖罩16侧位移。

并且，通过活塞单元18与盖罩16抵接，活塞单元18的后退动作停止。在活塞单元18接近后退位置时，第二缓冲环69b与第二缓冲衬垫68b的内周面接触，在该接触部分形成气密密封件，在第二压力室13b形成气垫。由此，在盖罩16侧的行程末端附近，活塞单元18的位移减速，因此行程末端到达时的冲击得到缓和。

在该情况下，第一实施方式的流体压力缸10起到以下的效果。

根据流体压力缸10，由于磁铁46仅配置于周向的必要部位，因此能够实现产品成本以及产品重量的削减。另外，若使缸筒12相对于杆罩14以及盖罩16旋转，则保持于配置在缸筒12内的可动部件44的磁铁46也一体地旋转。因此，通过调整配置于缸筒12的外侧的磁传感器64与磁铁46的距离(磁传感器64与磁铁46的周向的位置关系)，能够容易地调整对磁传感器64的磁力。因此，能够在一种气缸构造中使用灵敏度不同的多种磁传感器64。由此，能够实现由部件的合理化带来的产品成本的削减。

可动部件44是以阻止活塞主体40与缸筒12接触的方式构成的耐磨环44a。根据该结构，可动部件44兼作保持磁铁46的部件和耐磨环44a，因此能够实现由部件的合理化带来的产品成本的进一步削减。

在活塞主体40的外周部设置有圆环状的磁铁配置槽52。并且，磁铁保持部58插入到磁铁配置槽52。在流体压力缸10中，在磁传感器64的安装位置未被预先决定的情况下采用环状磁铁，但根据上述结构，能够在使用非环状的磁铁46的流体压力缸10(本发明)和使用环状磁铁的流体压力缸中采用共通的活塞主体40。因此，能够实现由部件的合理化带来的产品成本的削减。

在缸筒12的内周面沿着缸筒12的轴向设有止转用槽24。并且，在可动部件44设置有与止转用槽24卡合的止转用突起60。由此，能够以简单的结构限制可动部件44与缸筒12的相对旋转。

如图4a所示，在止转用槽24及止转用突起60构成为多边形状的情况下，能够良好地限制可动部件44与缸筒12的相对旋转。

如图4b所示，在止转用槽24及止转用突起60构成为弧状的情况下，能够容易地确保由衬垫42带来的所期望的密封性。另外，在该情况下，由于在衬垫42上不需要凸部56，因此能够使用与以往相同的衬垫，能够简化结构并且是经济的。

如图3所示，可动部件44具有沿着活塞主体40的外周部在周向上延伸的周向部57，磁铁保持部58从周向部57向轴向突出。并且，止转用突起60遍及周向部57的外表面57b及磁铁保持部58的外表面58e而设置。根据该结构，能够容易地获得为了良好地限制可动部件44与缸筒12的相对旋转所需的止转用突起60的轴向长度。

在衬垫42的外周部设置有凸部56，该凸部56插入到止转用槽24，并且以能够滑动的方式与止转用槽24的内表面接触。根据该结构，能够良好地确保止转用槽24的部位处的密封性(第一压力室13a与第二压力室13b之间的气密性或液密性)。

磁铁保持部58具有安装有磁铁46的磁铁安装槽58a。并且，磁铁安装槽58a在轴向上贯通磁铁保持部58，并且在径向内侧开口。根据该结构，在组装工序中，能够容易地将磁铁46安装于磁铁保持部58。

在所述流体压力缸10中，也可以采用图5所示的缸筒12a来代替缸筒12。该缸筒12a具有大致四边形状的外形。在缸筒12a的外周部设置有沿轴向延伸的多个传感器安装槽70。具体而言，在构成缸筒12a的外周部的四个面上各设置有两个、共计八个传感器安装槽70。因此，在缸筒12a的外侧固定的位置安装磁传感器64。在缸筒12a的内周面设置有止转用槽24。

在缸筒12a的四边形状的各角部形成有杆插通孔72。在这些杆插通孔72插通有连结杆32。因此，在流体压力缸10中采用缸筒12a的情况下，缸筒12a的周向位置不能调整(即使松开连结杆32的紧固，缸筒12a也无法旋转)。

在采用缸筒12a的流体压力缸10中，即使使活塞杆20旋转，磁传感器64与磁铁46的距离也被维持。因此，例如在流体压力缸10向设备安装时，能够在不改变磁传感器64与磁铁46的距离的情况下使活塞杆20旋转，很方便。

在所述流体压力缸10中，也可以采用图6所示的缸筒12b来代替缸筒12。在该缸筒12b的外周部的一部分设置有沿轴向延伸的突起74。在该突起74内设置有开关安装用槽74a。在开关安装用槽74a内插入板状(薄型)的磁传感器64a。在缸筒12b的内周面设置有止转用槽24。

在采用缸筒12b的流体压力缸10中，即使使活塞杆20旋转，磁传感器64a与磁铁46的距离也被维持。因此，例如在流体压力缸10向设备安装时，能够在不改变磁传感器64a与磁铁46的距离的情况下使活塞杆20旋转，很方便。

图7所示的第二实施方式的流体压力缸10a具备在内部具有圆形的滑动孔13的中空筒状的缸筒80、配置于缸筒80的一端部的杆罩82、配置于缸筒80的另一端部的盖罩84、以能够沿轴向(x方向)移动的方式配置在缸筒80内的活塞单元86、以及与活塞单元86连结的活塞杆88。

缸筒80形成为中空圆筒形。在缸筒80的两端部内周面形成有内螺纹部90a、90b。在缸筒80的内周面设置有沿着缸筒80的轴向延伸的止转用槽24。在缸筒80与杆罩82之间、以及在缸筒80与盖罩84之间分别配置有圆形环状的衬垫92a、92b。

虽未详细图示，但在缸筒80的外周面使用带型的传感器安装件将磁传感器64(参照图1等)安装于任意的位置。传感器安装件具备保持磁传感器64的传感器支架和将传感器支架固定于缸筒80的外周部的带部。由于能够在缸筒80的外周部的任意位置配置磁传感器64，因此能够在调整了磁传感器64与磁铁46的距离(周向的位置关系)的基础上安装磁传感器64。

形成于杆罩82的外螺纹部94a与形成于缸筒80的一端部内周面的内螺纹部90a螺合。在杆罩82上形成有第一端口96a。在杆罩82的内周部配置有圆形环状的衬套98及衬垫100。

在杆罩82的内壁面82a安装有由弹性材料构成的减震器102。形成于盖罩84的外螺纹部94b与形成于缸筒80的另一端部内周面的内螺纹部90b螺合。在盖罩84上形成有第二端口96b。在盖罩84的内壁面84a上安装有由弹性材料构成的减震器104。

活塞单元86具有从活塞杆88向径向外侧突出的圆形的活塞主体106、安装于活塞主体106的外周部的衬垫42、以能够相对于活塞主体106相对旋转的方式安装于活塞主体106的外周部的可动部件44、以及在活塞主体106的周向上局部配置的磁铁46。

活塞杆88的基端部88a(细径部)插入到形成于活塞主体106的贯通孔106a，并通过铆接而固定。此外，活塞主体106与活塞杆88的固定构造不限于铆接，也可以是拧入构造。

根据第二实施方式的流体压力缸10a，即使在将磁传感器64安装于缸筒80的外周部后(设定磁传感器64与磁铁46的周向距离后)使活塞杆88旋转，磁传感器64与磁铁46的距离也被维持。因此，例如，在将流体压力缸10a向设备安装时，能够在不改变磁传感器64与磁铁46的距离的情况下使活塞杆88旋转，很方便。

此外，在第二实施方式中，对于与第一实施方式共通的部分，能够得到与第一实施方式相同或同样的作用以及效果。

本发明并不限定于上述实施方式，在不脱离本发明的主旨的范围内，能够进行各种改变。