磁控溅射生产线罐体旋片泵的制作方法

1.本实用新型涉及太阳能器件技术领域，具体涉及一种磁控溅射生产线罐体旋片泵。


背景技术：

2.真空管是太阳能热水器的核心，内外层之间为真空。在内玻璃管的表面上需要利用特种工艺涂有光谱选择性吸收涂层，用来最大限度的吸收太阳辐射能。在镀膜时主要采用磁控溅射的方式进行，在生产线中，需要先对太阳能真空管进行抽真空，现有的低成本抽真空泵一般采用旋片式真空泵，目前的旋片式真空泵的旋片多采用弹簧装置进行长度伸缩，这种结构在太阳能真空管这种高真空要求的生产线中，高真空度和高速运转的状态下，弹簧装置存在高负荷的往复机械运动，抽真空过程中，弹簧装置会受到大量的横向作用力，很容易导致弹簧装置爆裂。


技术实现要素：

3.针对现有技术中的缺陷，本实用新型提供磁控溅射生产线罐体旋片泵，以降低旋片爆裂概率。
4.磁控溅射生产线罐体旋片泵，包括泵体，所述泵体开设有进气口和出气口，所述泵体内部还包括截面为圆形的气缸，所述气缸内设置有定子和旋片，所述定子上设有用于驱动旋片转动的电机，电机驱动所述旋片转动，所述旋片的转轴与气缸中轴不共轴，所述定子的一部分与气缸内壁相连固定，所述旋片始终将所述气缸分隔为两个区域，所述进气口通至定子的左侧，所述出气口通至定子的右侧；
5.所述旋片包括转轴，所述转轴与定子的电机转轴连接固定，转轴的两边固定有第一固定板和第二固定板；
6.所述第一固定板外围套设有第一活动板，第一固定板内部开设有空腔，第一活动板的空腔与第一固定板的空腔相通，第一活动板的空腔内设置有磁固定板，所述磁固定板上设置有多个第一永磁片，所述第一固定板的空腔内设置有第一牵引电磁铁，第一牵引电磁铁始终对第一永磁片施有排斥电磁力；
7.所述第二固定板外围套设有第二活动板，第二固定板内部开设有空腔，第二活动板的空腔与第二固定板的空腔相通，第二活动板的空腔内设置有磁固定板，所述磁固定板上设置有多个第二永磁片，第二固定板的空腔内设置有第二牵引电磁铁，第二牵引电磁铁始终对第二永磁片施有排斥电磁力；
8.第一固定板、第一活动板、第二固定板和第二活动板采用抗磁性材料制成。
9.进一步的，所述泵体的底部设有脚座。
10.进一步的，所述第一牵引电磁铁的排斥电磁力定向至所述第一永磁片。
11.进一步的，所述第一永磁片依次排布在第一牵引电磁铁的电磁力方向上。
12.进一步的，所述第二牵引电磁铁的排斥电磁力定向至所述第二永磁片。
13.进一步的，所述第二永磁片依次排布在第二牵引电磁铁的电磁力方向上。
14.进一步的，所述第一活动板的末端设置有第一滑头。
15.进一步的，所述第二活动板的末端设置有第二滑头。
16.本实用新型的有益效果体现在：本实用新型在使用时，定子和旋片配合将气缸内分隔为三个区域，旋片逆时针转动时从进气口抽气，并从出气口排气，将进气口对接太阳能管的需要抽真空的区域，从而实现抽气和排气实现抽真空；
17.在旋片的内部结构中，第一活动板套设在第一固定板上构成活塞结构以实现伸缩，第二活动板套设在第二固定板上构成活塞结构以实现伸缩运动，第一牵引电磁铁排斥第一永磁片以向外推第一活动板，多个第一永磁片能够接收更多的第一牵引电磁铁的磁感线，以提升磁推力，同理第二牵引电磁铁排斥第二永磁片以向外推第二活动板，多个第二永磁片能够接收更多的第二牵引电磁铁的磁感线，以提升磁推力；在磁推力的作用下，第一活动板和第二活动板始终具有向外伸长趋势，从而贴紧气缸内壁以分隔三个区域；
18.通过磁推动的方式使得旋片推紧在气缸内壁上，在活动板活塞伸缩往复运动中，没有弹簧装置等机械结构的高速往复机械运动，只有无接触式的磁力推动，从而避免了机械往复结构的不可靠性为旋片带来的不可靠性，无论旋片如何高速转动，牵引电磁铁对永磁片的磁推力均不会受到机械性的影响，磁感线始终不受影响，磁推力始终不受影响，避免了机械结构的弹簧式旋片的不可靠性；
19.同时第一固定板、第一活动板、第二固定板和第二活动板采用抗磁性材料制成，能够一定程度地防止第一牵引电磁铁影响第二永磁片，以及一定程度地防止第二牵引电磁铁影响第一永磁片。
附图说明
20.为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。
21.图1为本实用新型一实施例提供结构剖视图；
22.图2为图1所示的旋片的内部结构剖视图。
具体实施方式
23.下面将结合附图对本实用新型技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。
24.需要注意的是，除非另有说明，本技术使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域技术人员所理解的通常意义。
25.磁控溅射生产线罐体旋片泵，如图1和2所示，包括泵体1，所述泵体1开设有进气口101和出气口102，所述泵体1内部还包括截面为圆形的气缸5，所述气缸5内设置有定子2和旋片3，所述定子2上设有用于驱动旋片3转动的电机，电机驱动所述旋片3转动，所述旋片3的转轴与气缸5中轴不共轴，所述定子2的一部分与气缸5内壁相连固定，所述旋片3始终将
所述气缸5分隔为两个区域，所述进气口101通至定子2的左侧，所述出气口102通至定子2的右侧；
26.所述旋片3包括转轴306，所述转轴306与定子2的电机转轴连接固定，转轴306的两边固定有第一固定板305和第二固定板307；
27.所述第一固定板305外围套设有第一活动板302，第一固定板305内部开设有空腔，第一活动板302的空腔与第一固定板305的空腔相通，第一活动板302的空腔内设置有磁固定板312，所述磁固定板312上设置有多个第一永磁片303，所述第一固定板305的空腔内设置有第一牵引电磁铁304，第一牵引电磁铁304始终对第一永磁片303施有排斥电磁力；
28.所述第二固定板307外围套设有第二活动板309，第二固定板307内部开设有空腔，第二活动板309的空腔与第二固定板307的空腔相通，第二活动板309的空腔内设置有磁固定板312，所述磁固定板312上设置有多个第二永磁片310，第二固定板307的空腔内设置有第二牵引电磁铁308，第二牵引电磁铁308始终对第二永磁片310施有排斥电磁力；
29.第一固定板305、第一活动板302、第二固定板307和第二活动板309采用抗磁性材料制成。
30.本实用新型在使用时，可以是如图1和2所示的实施例，定子2和旋片3配合将气缸5内分隔为三个区域，旋片3逆时针转动时使得a区域从进气口101抽气，并使得c区域从出气口102排气，将进气口101对接太阳能管的需要抽真空的区域，从而实现抽气和排气实现抽真空；
31.在旋片3的内部结构中，第一活动板302套设在第一固定板305上构成活塞结构以实现伸缩，第二活动板309套设在第二固定板307上构成活塞结构以实现伸缩运动，第一牵引电磁铁304排斥第一永磁片303以向外推第一活动板302，多个第一永磁片303能够接收更多的第一牵引电磁铁304的磁感线，以提升磁推力，同理第二牵引电磁铁308排斥第二永磁片310以向外推第二活动板309，多个第二永磁片310能够接收更多的第二牵引电磁铁308的磁感线，以提升磁推力；在磁推力的作用下，第一活动板302和第二活动板309始终具有向外伸长趋势，从而贴紧气缸5内壁以分隔三个区域；
32.通过磁推动的方式使得旋片3推紧在气缸5内壁上，在活动板活塞伸缩往复运动中，没有弹簧装置等机械结构的高速往复机械运动，只有无接触式的磁力推动，从而避免了机械往复结构的不可靠性为旋片带来的不可靠性，无论旋片如何高速转动，牵引电磁铁对永磁片的磁推力均不会受到机械性的影响，磁感线始终不受影响，磁推力始终不受影响，避免了机械结构的弹簧式旋片的不可靠性；
33.同时第一固定板305、第一活动板302、第二固定板307和第二活动板309采用抗磁性材料制成，能够一定程度地防止第一牵引电磁铁304影响第二永磁片310，以及一定程度地防止第二牵引电磁铁308影响第一永磁片303。
34.进一步的，所述泵体1的底部设有脚座4以供支撑泵体1。
35.优选的，所述第一牵引电磁铁304的排斥电磁力定向至所述第一永磁片303，所述第二牵引电磁铁308的排斥电磁力定向至所述第二永磁片310，可以一定程度地防止第一牵引电磁铁304的磁感线从旋片3侧面外泄。
36.优选的，所述第一永磁片303依次排布在第一牵引电磁铁304的电磁力方向上，所述第二永磁片310依次排布在第二牵引电磁铁308的电磁力方向上，以提升牵引电磁铁对永
磁片的电磁力效果。
37.进一步的，所述第一活动板302的末端设置有第一滑头301，所述第二活动板309的末端设置有第二滑头311。第一活动板302和第二活动板309在伸缩过程中，第一滑头301和第二滑头311始终与气缸5内壁接触滑动，可选用摩擦系数较小的材料以降低滑头和气缸内壁的摩擦力，优选的可在气缸内壁设置内陷轨道，第一滑头301和第二滑头311处于内陷轨道中滑动从而进一步固定旋片3的转动轨迹。
38.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求和说明书的范围当中。