一种带有自动控制的防返油阀系统的油封式机械泵的制作方法

1.本发明涉及油封式机械泵获得真空技术领域，具体涉及一种带有自动控制的防返油阀系统的油封式机械泵。


背景技术：

2.油封式机械泵在工作中，泵腔中的润滑油部分会蒸发然后逆气流方向运动进入真空室，造成返油，污染真空室。返油在半导体、食品等很多领域都是不允许或者严格限制的。那油封式机械泵通常通过以下方法来防止返油，通过开启气镇阀，放入气体，增加压力，可以有效减少返油，或者在入口管道中设置各种捕集阱，如冷阱、吸附阱等来捕集油蒸气，像液氮冷阱、氧化铝吸附阱可以捕集99％的返流油蒸气，其他的还有离子阱、半导体制冷阱等，但需要注意的是这些捕集设备都需要维护清理，像吸附阱不仅会饱和失效，同时氧化铝、分子筛等还可能产生灰尘影响主泵设备，同时还影响泵的抽速，再者，就是采用特殊泵油，利用特殊泵油的低蒸气压特性，降低返油量，但特殊泵油的价格较贵，会影响到它的使用，综上所述，本技术现提出一种带有自动控制的防返油阀系统的油封式机械泵来解决上述出现的问题。


技术实现要素：

3.本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种带有自动控制的防返油阀系统的油封式机械泵，所述防返油阀系统可向油封式机械泵的真空腔内部注入气体，防止真空腔的真空度过大，蒸发后的润滑油形成的气体逆气流进入真空腔内部，污染真空腔。
4.本发明解决其技术问题所采用的技术方案为：一种带有自动控制的防返油阀系统的油封式机械泵，包括：油封式机械泵本体，所述油封式机械泵本体内部设有真空腔，油封式机械泵本体在启动的过程中，真空腔在获得真空的过程中，真空度不断增加；执行单元，所述执行单元包括管路，所述管路的一端为空气进口，另一端与所述油封式机械泵本体的真空腔连通，空气可由所述管路进入所述油封式机械泵本体的真空腔内部；控制单元，所述控制单元包括控制模块和电磁阀，所述电磁阀用于控制管路的工作状态，需要向真空腔通入空气时，电磁阀打开保持管路通畅即可，所述控制模块包括单片机、与单片机电性连接的控制器、与单片机数据连接的人机交互界面，所述单片机用于比对数据，所述控制器用于控制电磁阀的工作状态，所述人机交互界面用于人工输入真空度的极限参数，并传输至单片机；真空度采集单元，所述真空度采集单元包括与单片机数据连接的真空规管，所述真空规管的检测端口位于所述油封式机械泵本体的真空腔内部，用于检测所述真空腔的真空度，并将数据传输至单片机；供电单元，所述供电单元用于为执行单元、控制单元以及真空度采集单元提供电能。
5.根据本发明实施例的油封式机械泵，油封式机械泵本体启动过程中，油封式机械泵本体内部的真空腔不断获得真空，外部空气可经过管路进入真空腔内部，可使真空腔内
部的真空度维持在一个稳定的状态，防止真空腔的真空度过高，润滑油蒸发形成的气体逆气流通过入口管道进入真空腔内部，污染真空腔；此外，通过管路进入的空气经入口管道排出，进一步防止润滑油蒸发形成的气体进入真空腔，防止真空腔被污染。
6.在一些实施例中，设备还包括过滤单元，所述过滤单元包括过滤器，所述管路贯穿经过过滤器设置。
7.在一些实施例中，所述人机交互界面还包括与单片机数据连接的显示器。
8.在一些实施例中，所述执行单元还包括流量阀，所述管路贯穿流量阀设置。
9.在一些实施例中，所述流量阀为电动控制。
10.根据本发明实施例的油封式机械泵，由于设有前文所述的防返油阀系统，可以有效智能采集真空度信息，并做出判断，防止油封式机械泵返油现象的发生。
11.本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
附图说明
12.附图1表示的是本发明的系统框图；
13.附图2表示的是本发明的结构示意图。
14.附图标记中：1.油封式机械泵本体；2.执行单元；3.控制单元；4.真空度采集单元；5.过滤单元；6.供电单元；21.空气进口；22.管路；23.流量阀；31.电磁阀；32.控制模块；321.单片机；332.控制器；333.人机交互界面；41.真空规管；51.过滤器。
具体实施方式
15.下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明，而非对该发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与发明相关的部分。
16.下面参考附图1-图2描述本发明实施例的带有自动控制的防返油阀系统的油封式机械泵的具体结构。
17.如图1所示，根据本发明实施例的油封式机械泵，包括油封式机械泵本体1、执行单元2、控制单元3、真空度采集单元4以及供电单元6。
18.如图2所示，执行单元2包括管路22，管路22的一端为空气进口21，另一端与油封式机械泵本体1的真空腔连通，空气可由管路22进入油封式机械泵本体1的真空腔内部；控制单元3包括控制模块33和电磁阀31，电磁阀31用于控制管路22的工作状态，需要向真空腔通入空气时，电磁阀31打开保持管路22通畅即可，控制模块33包括单片机、与单片机电性连接的控制器、与单片机数据连接的人机交互界面333，单片机用于比对数据，控制器用于控制电磁阀31的工作状态，人机交互界面333用于人工输入真空度的极限参数，并传输至单片机；真空度采集单元4包括与单片机数据连接的真空规管41，真空规管41的检测端口位于油封式机械泵本体1的真空腔内部，用于检测真空腔的真空度，并将数据传输至单片机；供电单元6用于为执行单元2、控制单元3以及真空度采集单元4提供电能。
19.可以理解的是，油封式机械泵本体1在启动的过程中，油封式机械泵本体1的入口管道的环境温度不断升高，使润滑油蒸发形成气体，且油封式机械泵本体1内部真空腔的真
空度不断增加，润滑油蒸发形成的气体会因负压的作用，逆气流进入真空腔内部，对真空腔造成污染。
20.在本发明的实施例中，空气从空气进口21进入管路22后，通入油封式机械泵的真空腔中，使真空腔维持真空度的稳定，防止真空腔的真空度过大，导致负压将润滑油蒸发形成的气体从真空腔的入口管道吸入真空腔内部；此外，空气进入真空腔内部后，在真空腔启动产生负压的过程中，从入口管路排出，会形成气体的流动，进一步防止了蒸发后的润滑油形成的气体逆气流进入真空内部，提升真空腔的洁净度，防止真空腔被污染。
21.根据本发明实施例的油封式机械泵，由于空气从管路22可直接进入油封式机械泵本体1的真空腔中，可迅速减小真空腔的真空度，降低了润滑油蒸发后形成的气体被负压吸入真空腔，污染真空腔的可能，从而提高了真空腔的洁净度。此外，在本发明中，真空规对真空腔的真空度实时监测，并将数据传输至单片机，使用人员将极限真空度参数通过人机交互界面333传输至单片机，单片机对真空规检测的数据与人工输入的数据进行比对，真空规检测的数据达到或超过人工输入的数据时，单片机将信号传输至控制器，控制器控制电磁阀31打开，使管路22保持通畅，由于真空腔内部为负压，在气压的作用下，空气从管路22进入真空腔，使真空腔的真空度减小，达到防返油的目的。
22.在一些实施例中，如图2所示，油封式机械泵还包括过滤单元5，过滤单元5包括过滤器51，管路22贯穿过滤器51设置，空气从空气进口21进入管路22时，先由过滤器51对空气进行过滤，保证空气的洁净度，防止通入的空气对真空腔造成污染。
23.在一些实施例中，如图2所示，执行单元2还包括流量阀23，管路22贯穿流量阀23设置，流量阀23用于控制空气的流量，可以理解的是，空气持续进入真空腔中，使真空腔的真空度不断减小，进而容易导致油封式机械泵本身的工作效果降低，因此，需要通过流量阀23对管路22中空气的量进行限定。
24.可选的，如图2所示，流量阀23可选用电动控制，并与控制器电性连接，可以理解的是，电磁阀31和流量阀23需要同步配合使用，因此，电磁阀31和流量阀23可以共用一个控制器。当然，也可以设置两个控制器或使用其他的控制方法，这里不再一一举例说明。
25.在一些实施例中，如图2所示，人机交互界面333还包括与单片机数据连接的显示器，可以理解的是，显示器可对真空规检测的实时数据和人工输入的极限真空度参数进行显示，更加方便人工对真空度的掌握，既保证油封式机械泵的效率，又可以避免润滑油蒸发形成的气体污染油封式机械泵的真空腔。
26.实施例一
27.下面参考图1-图2描述本发明一个具体实施例的油封式机械泵。
28.本实施例的油封式机械泵包括油封式机械泵本体1、执行单元2、控制单元3、真空度采集单元4以及供电单元6。执行单元2包括管路22，管路22的一端为空气进口21，另一端与油封式机械泵本体1的真空腔连通，空气可由管路22进入油封式机械泵本体1的真空腔内部；控制单元3包括控制模块33和电磁阀31，电磁阀31用于控制管路22的工作状态，需要向真空腔通入空气时，电磁阀31打开保持管路22通畅即可，控制模块33包括单片机、与单片机电性连接的控制器、与单片机数据连接的人机交互界面333，单片机用于比对数据，控制器用于控制电磁阀31的工作状态，人机交互界面333用于人工输入真空度的极限参数，并传输至单片机；真空度采集单元4包括与单片机数据连接的真空规管41，真空规管41的检测端口
位于油封式机械泵本体1的真空腔内部，用于检测真空腔的真空度，并将数据传输至单片机；供电单元6用于为执行单元2、控制单元3以及真空度采集单元4提供电能。
29.下面参考图1-图2描述本发明另一个具体实施例的油封式机械泵。
30.本实施例的油封式机械泵包括油封式机械泵本体1、执行单元2、控制单元3、真空度采集单元4、过滤单元5以及供电单元6。执行单元2包括管路22和流量阀23，管路22的一端为空气进口21，另一端与油封式机械泵本体1的真空腔连通，空气可由管路22进入油封式机械泵本体1的真空腔内部，管路22贯穿流量阀23设置，用于对进入真空腔的空气的量进行限定，且流量阀23优选采用电动控制；控制单元3包括控制模块33和电磁阀31，电磁阀31用于控制管路22的工作状态，需要向真空腔通入空气时，电磁阀31打开保持管路22通畅即可，控制模块33包括单片机、与单片机电性连接的控制器、与单片机数据连接的人机交互界面333，单片机用于比对数据，控制器用于控制电磁阀31和流量阀23的工作状态，人机交互界面333用于人工输入真空度的极限参数，并传输至单片机，人机交互界面333还设置有与单片机数据连接的显示器，用于显示真空腔的真空度以及人工输入的极限真空度参数；真空度采集单元4包括与单片机数据连接的真空规管41，真空规管41的检测端口位于油封式机械泵本体1的真空腔内部，用于检测真空腔的真空度，并将数据传输至单片机；过滤单元5包括过滤器51，管路22贯穿过滤器51设置；供电单元6用于为执行单元2、控制单元3以及真空度采集单元4提供电能。
31.需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。
32.以上描述仅为本技术的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本技术中所涉及的发明范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离所述发明构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本技术中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。
33.除说明书所述的技术特征外，其余技术特征为本领域技术人员的已知技术，为突出本发明的创新特点，其余技术特征在此不再赘述。