半导体外延设备专用鼓风机的制作方法

1.本发明涉及半导体生产技术领域，具体涉及一种半导体外延设备专用鼓风机。


背景技术：

2.半导体生产中，外延(epi)设备内部会产生热气，若不及时将热气排出，会导致其内部的机台温度过高，进而导致很多电器元件无法工作。外延(epi)设备内部产生的热风需要通过鼓风机吹入排气管道并通过排气管道排出。
3.epi鼓风机长时间使用后，会产生异响和震动等不良现象，需要进行更换或维修，目前，epi鼓风机的原厂交货期为6个月左右，维修可显著降低运行成本。现有的epi鼓风机存在不便于安装和拆卸、不便于维修的问题。


技术实现要素：

4.针对现有技术中的缺陷，本发明提供了一种半导体外延设备专用鼓风机，以解决现有的鼓风机不便于安装和拆卸、不便于维修的问题。
5.本发明提供了一种半导体外延设备专用鼓风机，
6.包括外壳体、定子组件、转子组件和接线组件；
7.所述外壳体呈圆筒状，外壳体的内周靠近其前端设有环形凸台，外壳体的内周沿轴向设有若干条由所述环形凸台向后延伸至接近该外壳体后端的凸键，外壳体的侧壁位于所述凸键的后方开设有第一通孔；
8.所述定子组件包括外套体、内套体和定子线圈，所述外套体适配于所述外壳体内，所述外壳体的后端可拆卸地安装有环形盖板，该外套体的两端抵在所述环形凸台和环形盖板之间，所述外套体的外周沿轴向设有若干条贯穿前后两端的键槽，且各所述凸键一一对应插入各所述键槽内，所述外套体的后端设有一缺口，该缺口与所述第一通孔之间通过一所述键槽相连，所述内套体同轴设于所述外套体内，内套体和外套体之间通过若干导流片相连，相邻两个所述导流片之间形成气流通道，内套体的侧壁上靠近其后端还设有第二通孔，所述定子线圈设于所述内套体内；
9.所述转子组件转动适配于所述定子线圈内，内套体的后端可拆卸地安装有后盖，所述转子组件后端设有第一转轴，所述第一转轴通过第一轴承安装于所述后盖上，转子组件的前端设有第二转轴，所述第二转轴通过第二轴承安装于所述内套体的前端，第二转轴的前端还安装有适配于所述外壳体内的叶轮；
10.所述接线组件包括电连接器和导线，所述电连接器设于所述外壳体外，所述导线的一端与所述电连接器相连，导线的另一端依次穿过所述第一通孔、键槽、缺口和第二通孔后与所述定子线圈相连。
11.进一步地，所述外壳体的后端设有第一连接环，所述环形盖板通过螺栓固定于所述第一连接环。
12.进一步地，所述环形盖板的后侧设有凸出的环形接口。
13.进一步地，所述内套体的后端设有第二连接环，所述后盖通过螺栓固定于所述第二连接环，后盖的前侧设有定位环，所述定位环适配于所述内套体内。
14.进一步地，所述后盖的后侧设有第一轴承安装槽，所述第一轴承安装于所述第一轴承安装槽内，所述后盖的后侧通过螺丝安装有将第一轴承固定在第一轴承安装槽内的第一轴承压盖。
15.进一步地，所述内套体的前端具有封板，所述封板的前侧设有轴承安装架和第二轴承压盖，所述轴承安装架的前侧设有第二轴承安装槽，所述第二轴承安装于所述第二轴承安装槽内，所述第二轴承压盖设于所述轴承安装架的前侧并将所述第二轴承固定在第二轴承安装槽内，轴承安装架和第二轴承压盖通过螺丝固定于所述封板。
16.进一步地，所述叶轮包括罩在所述内套体前端的轴承安装架和第二轴承压盖外的轮盘、以及沿周向间隔设于所述轮盘外的多个叶片，所述轮盘的中心固定于所述第二转轴上。
17.进一步地，所述外壳体的前端设有锥形出风口。
18.进一步地，所述外壳体的前端设有第三连接环，所述锥形出风口的后端设有第四连接环，所述第三连接环和第四连接环之间通过螺栓固定。
19.进一步地，所述外壳体和锥形出风口之间还设有网孔板，所述网孔板的周部固定在所述第三连接环和第四连接环之间。
20.本发明的有益效果体现在：
21.该用该鼓风机抽排半导体外延设备机台内部的热气时，外壳体的后端向下并接入机台，外壳体的前端向上并对准排气管道，转子组件的定子线圈通电带动转子组件转动，进而带动叶轮转动，叶轮转动时带动气流从下向上流动，使得机台内部的热气从外壳体的后端吸入，再经过外套体和内套体之间的气流通道，然后从外壳体前端吹入排气管道内，最后通过排气管道排出。
22.本技术定子组件的外套体和内套体通过导流片连接为一体结构，组装时，先将转子组件和定子组件组装再一起，内套体后端的后盖先不装，然后将组装好的转子组件和定子组件从外壳体的后端插入，插入时，外套体外侧的键槽对准外壳体内侧的凸键，为了防止导线卡在外套体和外壳体之间，导线需要顺着外套体外侧的键槽向后延伸，转子组件和定子组件插入到位后，再将导线卡入外套体后端的缺口，并从第二通孔穿入内套体内，然后将导线与定子线圈连接，导线接好后，再在内套体的后端安装后盖和轴承，最后在外壳体的后端安装环形盖板，使得定子组件的外套体抵紧在环形凸台和环形盖板之间，即可完成组装，该鼓风机的拆卸为组装的逆过程，这里不作赘述。
23.因此，本技术不仅便于安装和拆卸，拆卸时可以将定子组件和转子组件整体从外壳体内拆出来，便于对定子组件和转子组件进行维修。
附图说明
24.为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。
25.图1为本发明实施例的外部立体图；
26.图2为本发明实施例的内部剖视图；
27.图3为图2的a-a剖视图。
28.附图中，100-外壳体；110-环形凸台；120-凸键；130-第一通孔；140-环形盖板；141-环形接口；150-第一连接环；160-第三连接环；200-定子组件；210-外套体；211-键槽；212-缺口；220-内套体；221-第二通孔；222-第二连接环；223-定位环；224-封板；230-定子线圈；240-导流片；250-后盖；251-第一轴承安装槽；252-第一轴承压盖；260-轴承安装架；261-第二轴承压盖；262-第二轴承安装槽；300-转子组件；310-第一转轴；320-第一轴承；330-第二转轴；340-第二轴承；350-叶轮；351-轮盘；352-叶片；400-接线组件；410-电连接器；420-导线；500-锥形出风口；510-第四连接环；600-网孔板。
具体实施方式
29.下面将结合附图对本发明技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本发明的保护范围。
30.需要注意的是，除非另有说明，本技术使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域技术人员所理解的通常意义。
31.如图1-图3所示，本发明实施例提供了一种半导体外延设备专用鼓风机，包括外壳体100、定子组件200、转子组件300和接线组件400。
32.外壳体100呈圆筒状，外壳体100的内周靠近其前端设有环形凸台110，外壳体100的内周沿轴向设有若干条由环形凸台110向后延伸至接近该外壳体100后端的凸键120，外壳体100的侧壁位于凸键120的后方开设有第一通孔130。
33.定子组件200包括外套体210、内套体220和定子线圈230，外套体210适配于外壳体100内，外壳体100的后端可拆卸地安装有环形盖板140，该外套体210的两端抵在环形凸台110和环形盖板140之间。具体来说，为了便于安装环形盖板140，外壳体100的后端设有第一连接环150，环形盖板140通过螺栓固定于第一连接环150。为了便于将外套体210与半导体外延设备的机台相连，环形盖板140的后侧设有凸出的环形接口141。外套体210的外周沿轴向设有若干条贯穿前后两端的键槽211，且各凸键120一一对应插入各键槽211内，外套体210的后端设有一缺口212，该缺口212与第一通孔130之间通过一键槽211相连，内套体220同轴设于外套体210内，内套体220和外套体210之间通过若干导流片240相连，相邻两个导流片240之间形成气流通道，内套体220的侧壁上靠近其后端还设有第二通孔221，定子线圈230设于内套体220内。
34.转子组件300转动适配于定子线圈230内，内套体220的后端可拆卸地安装有后盖250，具体来说，为了便于安装后盖250，内套体220的后端设有第二连接环222，后盖250通过螺栓固定于第二连接环222，后盖250的前侧设有定位环223，定位环223适配于内套体220内。
35.转子组件300后端设有第一转轴310，第一转轴310通过第一轴承320安装于后盖250上。具体来说，后盖250的后侧设有第一轴承安装槽251，第一轴承320安装于第一轴承安装槽251内，后盖250的后侧通过螺丝安装有将第一轴承320固定在第一轴承安装槽251内的第一轴承压盖252。安装第一轴承320时，先将第一轴承320套在第一转轴310上并嵌入第一
轴承安装槽251内，然后再通过螺丝将第一轴承压盖252固定在后盖250的后侧，使得第一轴承压盖252将第一轴承320压紧固定即可。
36.转子组件300的前端设有第二转轴330，第二转轴330通过第二轴承340安装于内套体220的前端。具体来说，内套体220的前端具有封板224，封板224的前侧设有轴承安装架260和第二轴承压盖261，轴承安装架260的前侧设有第二轴承安装槽262，第二轴承340安装于第二轴承安装槽262内，第二轴承压盖261设于轴承安装架260的前侧并将第二轴承340固定在第二轴承安装槽262内，轴承安装架260和第二轴承压盖261通过螺丝固定于封板224。安装第二轴承340时，先将第二转轴330从内套体220前端的封板224穿出，然后再套上轴承安装架260，再将第二轴承340套在第二转轴330上并嵌入第二轴承安装槽262内，然后再盖上第二轴承压盖261，最后通过螺丝将轴承安装架260和第二轴承压盖261一并固定在封板224上，使得轴承安装架260和第二轴承压盖261将第二轴承340夹紧。
37.第二转轴330的前端还安装有适配于外壳体100内的叶轮350。具体来说，叶轮350包括罩在内套体220前端的轴承安装架260和第二轴承压盖261外的轮盘351、以及沿周向间隔设于轮盘351外的多个叶片352，轮盘351的中心固定于第二转轴330上。叶轮350的轮盘351罩住内套体220的前端，叶轮350的叶片352正对外套体210和内套体220之间的气流通道，叶轮350转动时，气流能够顺着轮盘351罩的外表面流到外壳体100的前端，气流的流动更通畅。
38.外壳体100的前端设有锥形出风口500。通过设置锥形出风口500，从环形的气流通道吹出的气流通过锥形出风口500向中间汇聚，使得吹出的风能够集中在一起并灌入排气通道。具体地，为了便于安装锥形出风口500，外壳体100的前端设有第三连接环160，锥形出风口500的后端设有第四连接环510，第三连接环160和第四连接环510之间通过螺栓固定。
39.半导体外延设备中的鼓风机一般前端朝上、后端朝下竖向安装，为了防止杂物掉入鼓风机内导致叶轮350损坏，外壳体100和锥形出风口500之间还设有网孔板600，网孔板600的周部固定在第三连接环160和第四连接环510之间。
40.接线组件400包括电连接器410和导线420，电连接器410设于外壳体100外，导线420的一端与电连接器410相连，导线420的另一端依次穿过第一通孔130、键槽211、缺口212和第二通孔221后与定子线圈230相连。
41.该用该鼓风机抽排半导体外延设备机台内部的热气时，外壳体100的后端向下并接入机台，外壳体100的前端向上并对准排气管道，转子组件300的定子线圈230通电带动转子组件300转动，进而带动叶轮350转动，叶轮350转动时带动气流从下向上流动，使得机台内部的热气从外壳体100的后端吸入，再经过外套体210和内套体220之间的气流通道，然后从外壳体100前端吹入排气管道内，最后通过排气管道排出。
42.本技术定子组件200的外套体210和内套体220通过导流片240连接为一体结构，组装时，先将转子组件300和定子组件200组装再一起，内套体220后端的后盖250先不装，然后将组装好的转子组件300和定子组件200从外壳体100的后端插入，插入时，外套体210外侧的键槽211对准外壳体100内侧的凸键120，为了防止导线420卡在外套体210和外壳体100之间，导线420需要顺着外套体210外侧的键槽211向后延伸，转子组件300和定子组件200插入到位后，再将导线420卡入外套体210后端的缺口212，并从第二通孔221穿入内套体220内，然后将导线420与定子线圈230连接，导线420接好后，再在内套体220的后端安装后盖250和
轴承，最后在外壳体100的后端安装环形盖板140，使得定子组件200的外套体210抵紧在环形凸台110和环形盖板140之间，即可完成组装，该鼓风机的拆卸为组装的逆过程，这里不作赘述。
43.因此，本技术不仅便于安装和拆卸，拆卸时可以将定子组件200和转子组件300整体从外壳体100内拆出来，便于对定子组件200和转子组件300进行维修。
44.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本发明的权利要求和说明书的范围当中。