一种干式真空泵的制作方法

本技术涉及一种喷油螺杆真空泵主机。

背景技术：

1、真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。抽取的空气根据工况会有所不同，通常会有含小颗粒杂质的气体、可凝性气体和腐蚀性气体等相对恶劣的工况，本实用新型干式真空泵工作腔纯净无油，转子间不接触，可以应用于此工况，极限真空度可以达到1pa(a)。

2、真空泵的使用工况多种多样，传统的真空系统已经无法满足半导体行业、医药行业、化工行业等对干净无油、耐腐蚀和较高真空度的要求，市场对干式真空泵有着迫切的需求，但是先进的技术一直被国外所掌控，我国的干式真空泵尚处于起步阶段。

3、现有方案一：爪式真空泵，式真空泵气体通道较为复杂，气体容易在腔内凝结，且转子表面的防腐涂层极易在装配时破损，影响使用寿命。

4、现有方案二：无油涡旋真空泵爪，无油涡旋真空泵抽气量小，且不能抽取腐蚀性气体，应用工况受限。

技术实现思路

1、本实用新型所要解决的主要技术问题是提供一种干式真空泵，性能稳定，故障率低，气体通道短，气体可快速排出机器，减少气体的凝结，工作腔大，抽气量大。

2、为了解决上述的技术问题，本实用新型提供了一种干式真空泵，包括：配电柜、螺杆主机、气密封装置、框架、气镇装置和消音系统；

3、所述消音系统沿着框架的长度方向设置在框架的一端外侧，并且其进气端与螺杆主机压缩腔的出气端连通；所螺杆主机设置在框架并沿着框架的长度方向延伸，所述配电柜沿着框架的宽度方向设置在螺杆主机的外侧；

4、所述螺杆主机内置有变螺距转子。

5、在一较佳实施例中：所述变螺距转子外侧喷涂有防腐涂层。

6、在一较佳实施例中：所述螺杆主机的吸气端和出气端分别设置在螺杆主机沿着宽度方向的两侧，并沿着长度方向间隔一定距离。

7、相较于现有技术，本实用新型的技术方案具备以下有益效果：

8、本实用新型提供了一种干式真空泵，变螺距转子可喷防腐涂层，大大提高使用寿命，性能稳定，故障率低，气体通道短，气体可快速排出机器，减少气体的凝结，工作腔大，抽气量大；螺杆主机的转子为变螺距转子，转子无接触，排气温度相对较低，布局紧凑，占地面积小，配有消音器，噪音低，且机器基本无需保养。

技术特征：

1.一种干式真空泵，其特征在于包括：配电柜、螺杆主机、气密封装置、框架、气镇装置和消音系统；

2.根据权利要求1所述的一种干式真空泵，其特征在于：所述变螺距转子外侧喷涂有防腐涂层。

3.根据权利要求1所述的一种干式真空泵，其特征在于：所述螺杆主机的吸气端和出气端分别设置在螺杆主机沿着宽度方向的两侧，并沿着长度方向间隔一定距离。

技术总结
本技术提供了一种干式真空泵，包括：配电柜、螺杆主机、气密封装置、框架、气镇装置和消音系统；所述消音系统沿着框架的长度方向设置在框架的一端外侧，并且其进气端与螺杆主机压缩腔的出气端连通；所螺杆主机设置在框架并沿着框架的长度方向延伸，所述配电柜沿着框架的宽度方向设置在螺杆主机的外侧；所述螺杆主机内置有变螺距转子。上述的干式真空泵，性能稳定，故障率低，气体通道短，气体可快速排出机器，减少气体的凝结，工作腔大，抽气量大。

技术研发人员：曹璐,林思桥,苏小仕,周立飞
受保护的技术使用者：厦门东亚机械工业股份有限公司
技术研发日：20230510
技术公布日：2024/1/15