真空泵以及真空泵的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明是有关于一种真空栗(pump)以及真空栗的制造方法。
【背景技术】
[0002]以往，在半导体制造装置或液晶制造装置等的腔室(chamber)排气时，使用有涡轮分子栗(turbo-molecular pump)等真空栗。在半导体制造装置或液晶制造装置的刻蚀制造过程(etching process)中，会产生反应产物堆积在真空栗的问题。因此，已知有利用加热单元使栗温度上升来抑制反应产物的堆积。例如，在专利文献1中所记载的真空栗中，因为反应产物容易堆积在包含圆筒状转子(rotor)与定子(stator)(螺纹定子)的排气部，所以将加热器(heater)埋入定子内以直接进行加热而升温。
[0003][现有技术文献]
[0004][专利文献]
[0005][专利文献1]日本专利特开2011-80407号公报
[0006]另外，在相对于定子以微小的间隙(gap)进行转子高速旋转的真空栗中，需要将转子与定子配置成同心状态。因此，当将定子固定于基座(base)时，在固定部，将定子侧的轴部与基座侧的孔部设为空隙(c 1 earance)为0.1mm左右的嵌合关系而进行定子的定位。
[0007]然而，如果如上所述般在定子设置加热器进行加热，会有如下问题:因热膨胀而空隙变小，轴部的整周会接触于孔部，作为高温部的定子的热会逸散到作为低温部的基座，从而定子温度下降。
【发明内容】
[0008]本发明的优选的实施方式的真空栗包括:圆筒状的转子；圆筒状的定子，与所述转子协动而排出气体；以及筒状的基座，固定有所述定子；且所述定子与所述基座之间不具有嵌合构造，且以与所述基座同心状态固定于该基座。
[0009]更优选的实施方式中，在所述定子及所述基座分别形成有销孔(pinhole)，所述销孔供定位销嵌入，所述定位销用于将所述定子及所述基座设为所述同心状态。
[0010]更优选的实施方式中，所述定子及所述基座分别具有抵接部，所述抵接部在所述同心状态下形成有径向间隙，且当所述定子的径向位置偏移时相互接触而阻止所述定子与所述转子的接触。
[0011]本发明的优选的实施方式的真空栗包括:圆筒状的转子；圆筒状的定子，与所述转子协动而排出气体；以及基座，与所述定子以同心状态固定；且在所述定子及所述基座分别设置有抵接部，所述抵接部在所述同心状态下形成有径向间隙，且当所述定子的径向位置偏移时相互接触而阻止所述定子与所述转子的接触。
[0012]本发明的优选的实施方式的真空栗的制造方法中，所述真空栗包括:圆筒状的转子；圆筒状的定子，与所述转子协动而排出气体；以及筒状的基座，固定有所述定子；所述真空栗的制造方法的特征在于:使用定位治具(jig)，将所述定子相对于所述基座定位成同心状态，在所述同心状态下将所述定子固定于所述基座，且在将所述定子固定于所述基座之后去除所述定位治具。
[0013][发明的效果]
[0014]根据本发明，可确实地避免作为高温部的定子与作为低温部的基座的接触。
【附图说明】
[0015]图1是表示本发明的真空栗的一种实施方式的图，且表示涡轮分子栗的剖面。
[0016]图2是从底面侧观察涡轮分子栗所得的图。
[0017]图3是图1的设置有定子加热部28的部分的放大图。
[0018]图4是图1的图示左侧的定子22与基座20的固定部的放大图。
[0019]图5是表示变形例1的图。
[0020]图6是表示变形例2的图。
[0021 ]图7是表示变形例3的图。
[0022]图8是表示变形例4的图。
[0023]图9是表示变形例5的图。
[0024]图10是表示可适用间隙G2的定位构造的另一例的图。
[0025]图11是对间隙G2的效果进行说明的图。
[0026]图12 (a)、图12 (b)是表示在定子22与隔热构件24之间形成间隙G2的情况的图。
[0027]【主要元件符号说明】
[0028]1:涡轮分子栗10:转子
[0029]11:转子轴12:旋转叶片
[0030]13:转子圆筒部20:基座
[0031]20d、43b、43c:凸部21:固定叶片
[0032]22:定子22a:平面部
[0033]22b:台阶部
[0034]22c、201 a、201、400、421、430:内周面
[0035]23:栗壳24:隔热构件
[0036]26:排气端口27、280:加热器
[0037]28:定子加热部29、210:间隔件
[0038]30:壳体32:径向磁轴承
[0039]33:轴向磁轴承34:马达
[0040]35a、35b:机械轴承40?44:定位构件
[0041]42a、43a:贯通孔42c:环状凸部
[0042]44a:平板部44b:圆筒部
[0043]44c:圆柱部200、205、221、286:销孔
[0044]202:环状部203:温度传感器
[0045]209、222、282:螺栓211、223:垫圈
[0046]220、28 lb:凸缘部
[0047]220a、401、420、431、440:外周面
[0048]220c:环状卡合部281:加热器部件
[0049]281a:孔部283:密封塞
[0050]284:密封构件G、GO、Gl、G2、G3:间隙
【具体实施方式】
[0051]以下，参照图对用以实施本发明的方式进行说明。图1是表示本发明的真空栗的一种实施方式的图，且表示涡轮分子栗的剖面。涡轮分子栗1包括转子10，所述转子10形成有多段旋转叶片12及转子圆筒部13。在栗壳(pump casing) 23的内侧，与多段旋转叶片12相应地以层叠的方式配置有多段固定叶片21。沿栗轴向层叠的多段固定叶片21分别隔着间隔件(spacer) 29而配置于基座20上。旋转叶片12及固定叶片21分别包含沿周向配置的多个祸轮(turbine)叶片。
[0052]在转子圆筒部13的外周侧，隔着间隙而配置有圆筒形状的定子22。本实施方式中，基座20为筒状的构件，定子22配置于基座20的内周侧，且螺固于基座20的上端面。在转子圆筒部13的外周面或定子22的内周面的任一面形成有螺纹槽，由转子圆筒部13与定子22构成螺纹槽栗。利用旋转叶片12及固定叶片21而排出的气体分子经螺纹槽栗部进一步压缩，最终从设于基座20的排气端口(port) 26排出。
[0053]在转子10固定有转子轴(shaft) 11，该转子轴11由径向(radial)磁轴承32及轴向(axial)磁轴承33支撑，且由马达(motor) 34旋转驱动。当磁轴承32、磁轴承33未动作时，转子轴11由机械轴承(mechanical bearing) 35a、机械轴承35b支撑。径向磁轴承32、轴向磁轴承33、马达34及机械轴承35b收纳在壳体(housing) 30内，所述壳体30固定于基座20。
[0054]另外，在现有的涡轮分子栗中，也有将基座20与壳体30 —体地形成而制成基座的构成，但在任一构成中均为在筒状的基座的内周侧配置定子22的构成。
[0055]在基座20设置有加热器27及温度传感器(sensor) 203，所述加热器27用以对基座20进行加热，所述温度传感器203对基座20的温度进行检测。本实施方式的涡轮分子栗1可用于产生大量反应产物的工艺，在定子22的下部外周面，固定有对定子22进行加热的专用的定子加热部28。图2是从底面侧观察涡轮分子栗所得的图，且将一部分以破断面表示。定子加热部28是以将基座20的周面内外贯通的方式而设置。也可设置两个以上的定子加热部28。
[0056]图3是图1的设置有定子加热部28的部分的放大图。如图3所示，定子加热部28是在加热器部件(heater block) 281安装有加热器280。加热器部件281利用螺栓(bolt) 282而固定于定子22的外周面。在配置有螺栓282的孔部281a，设置有用以密封该孔部281a的密封塞283。而且，在加热器部件281的轴部(贯通基座20的部分)，设置有密封(seal)构件284作为真空密封件。利用该密封构件284而将贯通基座20的加热器部件281的轴部与基座20的间隙密封。
[0057]如图2所示，在定子22的外周面的一部分形成有平面部22a，使形成于加热器部件281的前端的平面接触于该平面部22a。
[0058]当将加热器部件281固定于定子22时，使用定位构件(例如，定位销)，以使加热器部件281的轴心与基座侧的贯通孔的轴心大致一致的方式进行加热器部件281的定位。在本实施方式中，使用定位销作为定位构件，在图2所示的加热器部件281，形成有供定位销卡合的销孔286。另一方面，在基座20，也形成有供定位销卡合的销孔205。通过使定位销卡合于销孔205、销孔286，而进行加热器部件281与基座侧贯通孔的定心。定位销在将加热器部件281螺固于定子22之后被去除。
[0059]另外，在本实施方式中，定子加热部28