扩散泵节能控制系统的制作方法

文档序号:9076419阅读:541来源:国知局
扩散泵节能控制系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及机械技术领域,尤其涉及扩散栗。
【背景技术】
[0002]在卷绕式高真空镀膜机中,一般都会用到扩散栗进行抽真空以达到高真空要求。根据不同机型用到的扩散栗数量不一,一米宽度内一般只用一个,超过一米到三米内的就要用到二到四个扩散栗才能实现高真空的要求保证镀膜质量。
[0003]然而扩散栗存在耗能高、启动时间长、抽真空效果差等问题。扩散栗所消耗的能耗,已经占据了整个真空镀膜机的能耗的一大部分。而现在在高真空镀膜行业,为增强企业的竞争力量降低生产成本已经是大多数厂家唯一的出路。
[0004]真空镀膜本身就要去真空度较高,否则会影响产品的附着力和蒸发均匀度等。这就要求扩散栗必须保证合适的工作温度。现有的控制方式难以同时保证温度又节能的要求。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型的目的在于提供扩散栗节能控制系统,以解决上述至少一个技术问题。
[0006]本实用新型所解决的技术问题可以采用以下技术方案来实现:
[0007]扩散栗节能控制系统,包括与真空镀膜机的下室联通的真空度控制装置,其特征在于,所述真空度控制装置设有至少两组,至少两组真空度控制装置与所述下室并联连接;
[0008]每组所述真空度控制装置包括一与所述下室联通的扩散栗、一排气阀、一抽气阀,每个所述扩散栗均通过一个所述抽气阀与所述下室联通,每个所述扩散栗通过一个所述排气阀分别与一维持栗、一前级栗联通;
[0009]所述扩散栗的下端部设有一加热器,所述扩散栗设有一中空腔体,所述加热器位于所述中空腔体的下方,所述扩散栗的内壁设有温度传感器,所述温度传感器连接一微型处理器系统,所述微型处理器系统连接所述加热器。
[0010]本实用新型便于根据不同的产品要求,实时的调整真空度控制装置工作的个数,本实用新型通过在扩散栗的内壁设有温度传感器,实时调整工作温度的同时,当温度传感器检测到的数据温度限值时,加热器停止工作,减少了能耗。
[0011]所述下室的内壁上设有一真空度传感器,所述真空度传感器是一无线传感器,所述真空度传感器内设有一无线通讯模块;
[0012]所述微型处理器系统设有一与所述无线通讯模块相匹配的无线收发模块,所述真空度传感器无线通讯连接所述微型处理器系统。
[0013]在整个真空镀膜机镀膜周期中扩散栗并不是一直处于抽真空状态,通过微型处理器系统根据真空度的变化,调整加热装置的工作情况,扩散栗的加热方式可以做不同的调整,从而减少能耗提高工作效率。本实用新型通过无线收发的方式,解决了传统有线连接的布线繁琐性。
[0014]所述真空度控制装置包括一显示屏,所述显示屏位于真空镀膜机的壳体上,所述显示屏是一触控显示屏,所述显示屏连接所述微型处理器系统,所述微型处理器系统连接所述扩散栗。
[0015]本实用新型通过显示屏根据不同的产品有选择性的选择启动扩散栗的数量。
[0016]所述排气阀与所述抽气阀均为电磁阀,所述微型处理器系统连接所述排气阀与所述抽气阀。
[0017]便于通过显示屏控制排气阀与抽气阀的导通与闭合。
[0018]所述微型处理器系统位于所述真空镀膜机的壳体内。
[0019]所述下室通过一控制上下室联通状态的第一阀门与上室联通,所述第一阀门是一电磁阀。
[0020]所述微型处理器系统连接所述第一阀门。
[0021]所述维持栗与所述至少两组真空度控制装置并联连接,所述维持栗与所述至少两组真空度控制装置之间设有一控制维持栗与扩散栗导通状态的第二阀门,所述第二阀门是一电磁阀。
[0022]所述微型处理器系统连接所述第二阀门。
[0023]所述至少两组真空度控制装置还连接有一控制前级栗与扩散栗导通状态的第三阀门,所述第三阀门与所述至少两组真空度控制装置的出气口联通;
[0024]所述第三阀门是一电磁阀。
[0025]所述微型处理器系统连接所述第三阀门。
[0026]所述第三阀门设有一进气口、一出气口,所述第三阀门的进气口与出气口处均设有一低真空测量装置。便于检测真空度。
[0027]传统的真空镀膜机,整个镀膜周期大致分为三个不同工作状态,本实用新型通过对三个过程的加热方式进行了有机的调整。第一个状态,准备状态,这时上卷膜材刚镀完扩散栗还处于高温状态,关闭第三阀门只用一维持栗维持扩散栗的真空度防止栗油氧化。在这个状态下油温下降非常缓慢。因此这个时期扩散栗基本可以停止加热只需要维持200°C以上即可。第二个状态时关闭真空室开始抽真空到镀膜要求的真空度的过程。这是为了提高抽速节约抽真空时间,扩散栗应该全功率加热。第三个状态时在镀膜过程到镀膜结束。这个时期只需要保证高于1.0E*10 3Hibar的真空值就可以满足产品的要求。通过温度传感器与加热器的结合,保证扩散栗不低于设定的工作温度即可。
【附图说明】
[0028]图1为本实用新型的局部结构示意图。
【具体实施方式】
[0029]为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体图示进一步阐述本实用新型。
[0030]参照图1,扩散栗节能控制系统,包括与真空镀膜机的下室I联通的真空度控制装置,真空度控制装置设有至少两组,至少两组真空度控制装置与下室I并联连接;每组真空度控制装置包括一与下室I联通的扩散栗3、一排气阀4、一抽气阀2,每个扩散栗3均通过一个抽气阀2与下室I联通,每个扩散栗3通过一个排气阀4分别与一维持栗5、一前级栗联通;扩散栗3的下端部设有一加热器,扩散栗3设有一中空腔体,加热器位于中空腔体的下方,扩散栗3的内壁设有温度传感器,温度传感器连接一微型处理器系统,微型处理器系统连接加热器。本实用新型便于根据不同的产品要求,实时的调整真空度控制装置工作的个数,本实用新型通过在扩散栗3的内壁设有温度传感器,实时调整工作温度的同时,当温度传感器检测到的数据温度限值时,加热器停止工作,减少了能耗。
[0031]下室I的内壁上设有一真空度传感器,真空
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