真空扩散泵的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于真空栗技术领域，尤其涉及一种真空扩散栗。
【背景技术】
[0002]扩散栗是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一。扩散栗是一种次级栗，它需要机械栗作为前级栗。扩散栗中的油在蒸发油腔中加热到沸腾温度(约为200度)产生大量的油蒸气，油蒸气经由各级喷嘴定向高速喷出。由于扩散栗进气口附近被抽气体的分压强高于蒸气流中该气体的分压强。这样，被抽气体分子沿着蒸气方向高速运动，气体分子碰到栗体内壁又反射回来，而油蒸汽则在内壁上冷凝成油滴后沿内壁滴落到蒸发油腔中继续循环加热使用，气体分子则再受到蒸气流碰撞而重新沿蒸气流方向流向栗壁。经过几次碰撞后，气体分子被压缩到低真空端，再由下几级喷嘴喷出的蒸气进气多级压缩，最后由前级栗抽走，而油蒸气在冷却的栗壁上被冷凝后又返回到下层重新被加热，如此循环工作达到抽气目的。如在“CN203114757 U”公开的一种名为“一种真空扩散栗”的实用新型专利，该专利中的真空扩散栗，包括栗体，栗体上设有入口和出口，栗体外壁设有冷却夹套；由于油蒸汽与栗体内壁接触面积不够大，冷凝效果不佳，被抽气体在被前级栗从出气口抽走时，由于油蒸汽不能被充分冷凝，尚有少许油蒸汽参杂在被抽气体中，一起被抽走，污染被抽气体，影响了被抽气体的纯度。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的在于解决上述技术问题，提供一种真空扩散栗，该真空扩散栗大大削减了被抽气体在抽出栗体时所夹杂的油蒸汽数量，保证了被抽气体的纯净度，防止污染气体。
[0004]本实用新型的技术方案如下:
[0005]—种真空扩散栗，包括栗体、冷却夹套和出气口，所述冷却夹套包裹在所述栗体的外侧，并与所述栗体形成一个可以盛装冷却液的冷凝腔，所述冷凝腔与进水管道和出水管道相通，所述栗体的内壁设有波纹管状的圆环结构。
[0006]进一步地，所述栗体外壁设有波纹管状的圆环结构。
[0007]进一步地，所述波纹管状的圆环结构设置的范围覆盖整个所述冷却夹套所包裹的栗体的内壁和外壁。
[0008]进一步地，所述出气口内设有滤油网。
[0009]本实用新型的有益效果:本实用新型在栗体外侧设置冷凝腔，用于盛装冷却液，同时将栗体内外表面皆做成波纹管状的圆环结构来增大冷却接触面积，可快速高效地冷却油蒸汽，使被抽气体在抽出时尽量少夹杂油蒸汽，防止污染气体。在出气口端设置滤油网，使气体被抽出之前被过滤，进一步提高被抽气体的纯净度，免受油汽污染。此外，增大冷却面积提高冷却速度的同时也使油蒸汽的体积缩减变快，形成更大的压力差，使气体逐级向下流动速度加快，更利于抽气。
【附图说明】
[00?0]图1为本实用新型结构不意图。
[0011]图2为图1中A处的局部放大视图。
[0012]图3为栗体为双面波纹管状圆环结构时的A处局部放大视图。
[0013]元件标号说明:栗体1、冷凝腔2、冷却夹套3、出水管道4、进水管道5、滤油网6、出气P7o
【具体实施方式】
[0014]以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。
[0015]下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明:
[0016]如图1一2所示，一种真空扩散栗，包括栗体I和一圆筒状冷却夹套3，冷却夹套3—端设有带孔圆板，栗体I穿过冷却夹套3的带孔圆板，使冷却夹套3包裹在栗体I的外侧，并与栗体I形成一个冷凝腔2，冷凝腔2与设在冷却夹套3上的进水管道5和出水管道4相通，用于实现冷凝腔内冷却液的循环流动，使冷却液不断带走栗体I内壁的热量，从而使油蒸汽快速冷凝。冷却夹套3不限于上述圆筒状结构，也可用其他形式，例如一个U型槽在底部开孔，该孔套在栗体I上，亦可与栗体I围成一个腔体，故在此不对冷却夹套3做具体结构形式的限定，凡是能与栗体I外壁围成一个任何形状的可盛装冷却液的腔体的结构均可采用。为提高栗体I内壁与油蒸汽的接触面积，栗体I的内壁还设有波纹管状的凹凸不平的圆环，用于增大接触面积，充分冷凝油蒸汽，且波纹管状的圆环结构具有凹凸相连的圆弧面，也利于油滴滚落。上述冷却夹套3的腔体两端处与栗体I焊接，可防止冷却液渗漏；当然也可采用钢丝或者抱箍将冷凝夹套3和栗体I紧固在一起，再添加密封胶密封。
[0017]进一步地，如图3所示，为进一步提高冷却效果，特将栗体I外壁也做成上述波纹管状的圆环状结构，以增大冷却液与栗体I的接触面积，迅速带走栗体I上的热量。
[0018]进一步地，为提高接触面积，尽可能充分冷却油蒸汽，波纹管状圆环结构设置的范围覆盖整个冷却夹套3所包裹的栗体I的内壁和外壁。
[0019]进一步地，为防止被抽气体在从气体出气口7抽出时夹带少许油蒸汽，特在出气口7内设有滤油网6，用于过滤被抽气体中夹杂的少量油汽，保证被抽气体的纯净度。该滤油网可以选择不锈钢钢丝网，或者钢丝球类。
[0020]上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
【主权项】
1.一种真空扩散栗，包括栗体、冷却夹套和出气口，其特征在于:所述冷却夹套包裹在所述栗体的外侧，并与所述栗体形成一个可以盛装冷却液的冷凝腔;所述冷凝腔与进水管道和出水管道相通;所述栗体的内壁设有波纹管状的圆环结构。2.根据权利要求1所述真空扩散栗，其特征在于:所述栗体外壁设有波纹管状的圆环结构。3.根据权利要求1或2所述真空扩散栗，其特征在于:所述波纹管状的圆环结构设置的范围覆盖整个所述冷却夹套所包裹的栗体的内壁和外壁。4.根据权利要求1所述真空扩散栗，其特征在于:所述出气口内设有滤油网。
【专利摘要】本实用新型公布了一种真空扩散泵，包括泵体、冷却夹套和出气口，所述冷却夹套包裹在所述泵体的外侧，并与所述泵体形成一个可以盛装冷却液的冷凝腔，所述冷凝腔与进水管道和出水管道相通，所述泵体的内壁设有波纹管状的圆环结构。本实用新型可快速高效地冷却油蒸汽，使被抽气体在抽出时尽量减少夹杂的油蒸汽，防止污染气体。
【IPC分类】F04F9/00
【公开号】CN205349879
【申请号】CN201620146099
【发明人】汪金波, 刘康乐, 张俊杰, 张玉巧
【申请人】湖北东田光电材料科技有限公司
【公开日】2016年6月29日
【申请日】2016年2月26日