专利名称：倒置式空气弹簧隔振器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种倒置式空气弹簧隔振器，用于隔离来自外界垂直方向的振动。该隔振器主要应用于光学、超精密检测、超精密加工等领域。
背景技术：
随着超精密仪器对精度和性能要求的不断提高，环境振动成为一个不可忽视的因素。目前最有效的办法是隔振，对一个隔振系统来说，系统刚度越低，则其固有频率越低，因此降低刚度是提高隔振性能最直接，有效的办法。隔振分为垂直方向隔振和水平方向隔振，前者最常用的当属空气弹簧，其具有成本低廉和性能优异等特点，因此得到广泛使用。当前双腔室空气弹簧一般上腔室和下腔室垂直串联组成，且上腔室与负载支撑面相连，下腔室位于上腔室下部。这种方式造成隔振一起高度和重心较高，对仪器稳定性不利。同时，与空气弹簧橡胶连接的上支撑板与隔振器下部不固连，移动时容易造成仪器损坏。
实用新型内容本实用新型的目的是提出一种倒置式空气弹簧隔振器，可实现低频垂直隔振，搬运及挪放时不易造成损伤。本实用新型的目的是通过如下技术方案实现的:一种倒置式空气弹簧隔振器，含有主腔室、附加腔室、水平调节阀、负载支撑板、橡胶活塞以及由外壳下板和外壳上板组成的外壳，其特征在于:所述的主腔室采用倒置安装，负载支撑板紧固在外壳上板的内表面；所述的橡胶活塞通过外壳下板的通孔和地面接触；所述的附加腔室安装在外壳下板上；所述的水平调节阀一端与外壳上板固连，另一端通过外壳下板的通孔与地面接触；所述的主腔室至少采用三个，且构成正多边形或矩形。本实用新型与现有的技术相比较，具有以下优点和突出效果:①隔振器主腔室与传统的放置方式不同，采用倒置安装，橡胶活塞与地面接触，避免搬运时对仪器造成不必要的损伤；②隔振器水平调节阀位于外壳下板外部，便于对负载支撑面进行水平调节。
图1为本实用新型提供的倒置式空气弹簧隔振器侧视图。图2为本实用新型提供的倒置式空气弹簧隔振器前视图。图3为本实用新型提供的倒置式空气弹簧隔振器仰视图。图中:1_外壳下板；2_主腔室；3_附加腔室；4_水平调节阀；5橡胶活塞；6_负载支撑板；7-外壳上板。
具体实施方式
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以下结合附图对本实用新型的结构和工作原理做进一步的说明。图1 图3是本实用新型的结构原理示意图，该倒置式空气弹簧隔振器包括外壳、主腔室2、附加腔室3、水平调节阀4几个主要部分，其中主腔室2采用三个，形成正三角形；主腔室2还可以采用三个以上，构成正多边形或矩形。所述的外壳是一个钣金件，包括外壳下板I和外壳上板7，两者通过钣金件固连；所述的负载支撑板6固定在外壳上板7的内表面，橡胶活塞通过外壳下板I的通孔与地面接触；所述的附加腔室3与外壳下板I内表面固定；所述的水平调节阀4 一端紧固在外壳上板7的内表面，另一端通过外壳下板I的通孔与地面接触。本实用新型提供的倒置式空气弹簧隔振器工作原理如下:空气弹簧充气后橡胶活塞5浮起，支撑仪器及负载浮起，当受到来自地面的振动时，橡胶活塞5发生变形，主腔室2体积发生变化，仪器高度升高或降低，通过水平调节阀4的作用从而导致附加腔室3发生变化，由于空气弹簧的特定作用使系统机械能转化为热能消耗，实现垂直方向的隔振效果。
权利要求1.一种倒置式空气弹簧隔振器，含有主腔室(2)、附加腔室(3)、水平调节阀(4)负载支撑板(6)、橡胶活塞(5)以及由外壳下板(I)和外壳上板(7)组成的外壳，其特征在于:所述的主腔室(2)采用倒置安装，负载支撑板(6)紧固在外壳上板(7)的内表面；所述的橡胶活塞(5)通过外壳下板(I)的通孔和地面接触；所述的附加腔室(3)安装在外壳下板(I)上；所述的水平调节阀(4) 一端与外壳上板(7)固连，另一端通过外壳下板(I)的通孔与地面接触；所述的主腔室(2)至少采用三个，且构成正多边形或矩形。
专利摘要倒置式空气弹簧隔振器，涉及一种精密仪器或光学仪器的振动隔离设备。该实用新型包括外壳、主腔室、附加腔室和水平调节阀。与传统空气弹簧的橡胶活塞支撑负载不同，该实用新型采用空气弹簧主腔室倒置形式，其橡胶活塞与地面接触，因此避免了搬运时对仪器的损伤，同时水平调节阀一端与外壳上板连接，另一端通过外壳下板的通孔与地面接触，使得外壳支撑板更容易调平。该空气弹簧隔振器主要用于超精密试验台、超精密机床和光学平台等设备的垂直方向的隔振。
文档编号F16F15/027GK203067650SQ201220748399
公开日2013年7月17日 申请日期2012年12月28日 优先权日2012年12月28日
发明者朱煜, 徐登峰, 曹胜, 黎远成, 闫永固, 管高峰, 李强, 董桂清, 雷忠兴, 荆新丽 申请人:清华大学, 北京华卓精科科技有限公司