压力容器的制造方法
【专利摘要】本实用新型主要在压力容器的第二本体与第一本体的间设有至少一主动密封元件，另在相对于主动密封元件内圈位置设有至少一被动密封元件；于使用时，可控制主动密封元件是否与第二本体接触，且在主动密封元件与第二本体接触的状态下，第一本体的第一容积空间抽真空，藉由第一容积空间所产生的负压作用，让第二本体与第一本体及被动密封元件紧密贴合，并且让作用力同时平均分布于被动密封元件上。从而可获致相对较为可靠的密封效果，以及在第二本体与第一本体盖阖过程中，不会造成主动密封元件及被动密封元件扭曲变形，有利于第二本体与第一本体快速盖阖，进而提升使用对象的加工产能。
【专利说明】压力容器
【技术领域】
[0001]本实用新型有关一种压力容器，尤指一种可以获致较佳密封效果的压力容器。
【背景技术】
[0002]在既有习知的加工【技术领域】当中，经常会透过改变加工环境压力差的方式达到预期的加工效果；例如，在习知的半导体晶片封装过程中，必须先从晶圆切割出适当大小的晶片，再将其黏附于一载板上(载板可为一基板或可为一导线架等各种可以承载晶片用以联外部电子讯号用的承载物)。在黏附的过程中，胶着材料中会产生许多气泡，造成老化后的胶着材料中会有空腔而影响产品的可靠性、质量。
[0003]因此，在黏附的过程中多会进一步施以高压与高温于胶着材料的上，主要利用高温使胶着材料的黏度降低，以及利用高压使于胶着材料中已存在的气泡因压力差而排除于胶着材料之外、或因压力差而使胶着材料中的气泡缩小，进而有效提升产品的质量及可靠性。以及，就处理硅晶圆等的ULSI半导体制程而言，有在半导体基板上形成具备接触孔的绝缘氧化膜，并于此膜面上形成铝合金膜，然后藉由氩气等的惰性气体来作成高温、高压环境，且将铝合金膜埋入接触孔内最深部的所谓的高压回流制程。
[0004]类似的高压环境主要被限制在一压力容器当中，该压力容器基本上由一容器本体及一盖体所组成，该容器本体设有至少一方便加工物进出的开口，再由盖体对应盖阖于容器本体的开口处；再者，为避免盖体与容器本体的接合处产生压力渗漏，整体压力容器且如图1所示，进一步于盖体12与容器本体11的接合处设置数量不等的密封元件13 (如O环)。
[0005]原则上，压力容器可藉由设于盖体12与容器本体11的间的密封元件13增加密封效果，理论上，亦会随着密封元件13的数量增加而更产生相对较佳的密封效果；再者，传统压力容器的盖体12与容器本体11相盖阖后，透过分布在盖体12周围的夹具14压制力量，使密封元件13紧密贴合于盖体12与容器本体11之间而产生密封效果。
[0006]然而，在实际的使用状态下，若是采用逐一将夹具14紧扣的操作方式，经常因为盖体12周围的夹具14力量分布不均，而使盖体12与容器本体11无法完全密合；以及，若是采用旋转盖体12的方式让全数夹具14同时紧扣，而仅由夹具14的力量使盖体12与容器本体11紧密贴合时，则在盖体12与容器本体11相对旋转的操作过程中，全数密封元件13的上、下部位分别会接受来自盖体12及容器本体11的不同方向的作用力，经常导致密封元件13扭转变形而无法达到预期的密封效果。
实用新型内容
[0007]有鉴于此，本实用新型所解决的技术问题在提供一种可以获致较佳密封效果的压力容器。
[0008]本实用新型所采用的技术手段如下所述。
[0009]为达上揭目的，本实用新型的压力容器，基本上包括:一第一本体、一第二本体、至少一主动密封元件、至少一被动密封元件，以及复数连接件；其中，该第一本体具有一供收容加工物的第一、至少一与第一容积空间相通的第一压力控制通道、一与第一容积空间相通的开口，于开口边沿环设有一供与第二本体接触的贴合面，于贴合面上设有至少一道环绕于开口外围供收容主动密封元件的限位沟槽，于限位沟槽与开口之间设有至少一道环绕于开口外围供固定被动密封元件的定位沟槽，另于限位沟槽处设有至少一第二压力控制通道；该第二本体供覆盖于该第一本体的开口处，且可供重复开阖；该至少一主动密封元件安装于第一本体的限位沟槽中，可受限位沟槽内的压力变化而与第一本体相对位移；该至少一被动密封元件被固定在第一本体的定位沟槽中，且其表面相对凸出贴合面预定高度；各连接件相对设于第一本体的开口周围处，供构成第二本体与第一本体相连接。
[0010]依据上述技术特征，所述第二本体设有一与第一容积空间对应的第二容积空间。
[0011]依据上述技术特征，所述至少一主动密封元件在其内外侧边沿凸设有供与限位沟槽的壁面贴合的翼部。
[0012]依据上述技术特征，所述第一本体在其开口边沿设有一相对凸出周围预定宽度的肩部，该贴合面且延伸至肩部处。
[0013]所述至少一定位沟槽的槽口宽幅相对小于或等于或大于槽底宽幅。
[0014]所述压力容器将全数连接件固设于第一本体的肩部处，且全数连接件由一可供第二本体对应嵌入的扣体所构成。
[0015]所述压力容器将全数连接件固设于第二本体上，且全数连接件由一可供第一本体的肩部对应嵌入的扣体所构成。
[0016]所述压力容器将预定数量的连接件固设于第一本体的肩部处，全数固设于第一本体肩部处的连接件由一可供第二本体对应嵌入的扣体所构成；以及，将其余的连接件固设于第二本体上，全数固设于第二本体上的连接件由一可供第一本体的肩部对应嵌入的扣体所构成。
[0017]所述各连接件由一穿设于第二本体与第一本体的肩部之间的螺栓，以及一与螺栓相螺接的螺帽组成。
[0018]所述第二本体设有一透明视窗。
[0019]具体而言，本实用新型所揭露的压力容器，可以产生下列功效。
[0020]1.可获致相对较为可靠的密封效果，大幅提升压力容器的适用性及实用性。
[0021 ] 2.可有效避免主动密封元件及被动密封件扭曲变形。
[0022]3.可有效降低主动密封元件及被动密封件磨损，进而提升主动密封元件及被动密封件的使用寿命。
[0023]4.在盖体与容器本体盖阖过程中，较不会造成主动密封元件及被动密封件扭曲变形，有利于盖体与容器本体快速盖阖，进而提升使用对象的加工产能。
【专利附图】
【附图说明】
[0024]图1为一现有压力容器的局部剖视图。
[0025]图2为本实用新型第一实施例的压力容器结构剖视图。
[0026]图3为本实用新型第二实施例的压力容器结构剖视图。
[0027]图4为本实用新型第三实施例的压力容器结构剖视图。
[0028]图5为本实用新型第四实施例的压力容器结构剖视图。[0029]图6为本实用新型第五实施例的压力容器结构剖视图。
[0030]图号说明:
[0031]先前技术
[0032]11容器本体
[0033]12 盖体
[0034]13密封元件
[0035]14 夹具
[0036]本实用新型
[0037]20第一本体
[0038]21容积空间
[0039]22第一压力控制通道
[0040]23 开口
[0041]24贴合面
[0042]25限位沟槽
[0043]26定位沟槽
[0044]27第二压力控制通道
[0045]28 肩部
[0046]30第二本体
[0047]31透明视窗
[0048]41主动密封元件
[0049]411 翼部
[0050]42被动密封元件
[0051]50连接件
[0052]51 扣体
[0053]52 螺栓
[0054]53 螺帽。
【具体实施方式】
[0055]如图2本实用新型第一实施例的压力容器结构剖视图所示，本实用新型的压力容器，基本上包括:一容器本体20、一盖体30、至少一主动密封元件41、至少一被动密封元件42，以及复数连接件50 ;其中:该第一本体20具有一供收容加工物的第一容积空间21、至少一与第一容积空间相通的第一压力控制通道22、一与第一容积空间21相通的开口 23，于开口 23边沿环设有一供与第二本体30接触的贴合面24，于贴合面24上设有至少一道环绕于开口 23外围供收容主动密封元件41的限位沟槽25，于限位沟槽25与开口 23之间设有至少一道环绕于开口 23外围供固定被动密封元件42的定位沟槽26，另于限位沟槽25处设有至少一第二压力控制通道27。
[0056]该第二本体30供覆盖于该第一本体20的开口处，且可供重复开阖；于实施时，该第二本体30可进一步设有一透明视窗31，以便透过透明视窗31观察第一本体20的第一容积空间21内部的加工情况或状态；在图2至图4所示实施例中，所述第二本体30进一步可设有一与第一本体20的第一容积空间21对应的第二容积空间32，藉以增加整体压力容器的使用空间，及提供加工物较多样的放置方式。
[0057]该至少一主动密封元件41安装于第一本体20的限位沟槽25中，可受限位沟槽25内的压力变化而与第一本体20相对位移；于实施时，该至少一主动密封元件41在其内外侧边沿凸设有供与限位沟槽25的壁面贴合的翼部411，使当经由第二压力控制通道27对限位沟槽25施压时，主动密封元件41的翼部411可相对外张，藉以增加与限位沟槽25之间的密合效果。
[0058]该至少一被动密封元件42被固定在第一本体20的定位沟槽26中，且其表面相对凸出贴合面24预定高度；于实施时,第一本体20的定位沟槽26槽口宽幅相对小于槽底宽幅(呈鸠尾状断面)，使可对被动密封元件42产生较佳的定位效果，并可防止被动密封元件42扭转变形，另外，第一本体20的定位沟槽26槽口宽幅亦可相对等于或大于槽底宽幅。
[0059]各连接件50相对设于第一本体20的开口 23周围处，供构成第二本体30与第一本体20相连接；于实施时，所述第一本体20可在其开口 23边沿设有一相对凸出周围预定宽度的肩部28，该贴合面24且延伸至肩部28处；至于，整体压力容器可将全数连接件50固设于第一本体20的肩部28处，且全数连接件50由一可供第二本体30对应嵌入的扣体51所构成；整体压力容器亦可将全数连接件50固设于第二本体30上，且全数连接件50由一可供第一本体20的肩部28对应嵌入的扣体51所构成。
[0060]当然，亦可如图3所示，将预定数量的连接件50固设于第一本体20的肩部28处，全数固设于第一本体20肩部28处的连接件50由一可供第二本体30对应嵌入的扣体51所构成；以及，将其余的连接件50固设于第二本体30上，全数固设于第二本体30上的连接件50由一可供第一本体20的肩部28对应嵌入的扣体51所构成。再者，所述各连接件50亦可以如图3所示，由一穿设于第二本体30与第一本体20的肩部28之间的螺栓52，以及一与螺栓52相螺接的螺帽53组成。
[0061]再者，第一本体与第二本体可为不同型态组配，而因应不同被加工物使用达到气密的压力加工。如图2的实施例所不,第一本体为一容器,而第二本体为一盖体,容器搭配盖体以容置被加工物，可达到密效果的压力加工环境。或者，如图4的实施例所示，第一本体为一容器，而第二本体为一容器，容器搭配容器容置被加工物，可达到气密效果的压力加工环境。或者，如图5的实施例所示,第一本体为一具有凹槽的盖体,而第二本体为一盖体，盖体搭配盖体容置被加工物，可达到气密效果的压力加工环境。
[0062]上述各实施例中，该至少一主动密封元件以及至少一被动密封元件亦可设置于该第二本体处，如图6的第三实施例所示，该第二本体30于开口 23边沿环设有一供与第一本体20接触的贴合面24，于贴合面24上设有至少一道环绕于开口 23外围供收容主动密封元件41的限位沟槽25，于限位沟槽25与开口 23之间设有至少一道环绕于开口 23外围供固定被动密封元件42的定位沟槽26，另于限位沟槽25处设有至少一第二压力控制通道27 ；该至少一主动密封元件41安装于第二本体30的限位沟槽25中，可受限位沟槽25内的压力变化而与第二本体30相对位移；该至少一被动密封元件42被固定在第二本体30的定位沟槽26中，且其表面相对凸出贴合面24预定高度，以构成另种实施例的压力容器。
[0063]原则上，上揭任一种结构形态的压力容器，可直接应用于加工物需要于正压环境下的除泡处理，或是于负压环境下的脱泡处理，甚至可在除泡或脱泡的过程中，透过进一步对压力容器内部第一容积空间加温的方式，加速加工物的除泡或脱泡反应，以及提高除泡或脱泡质量。
[0064]值得一提的是，本实用新型的压力容器可视使用对象的加工需求，直接构成常态正压环境；再行抽真空达到负压环境。其操作先以步骤(a)透过第二压力控制通道对限位沟槽内部加压，使主动密封元件浮升至与第二本体密合之后，再执行步骤(b)透过第一压力控制通道对第一本体的第一容积空间加压至预设的正压值，并维持该压力状态至预定时间，以使加工物于该压力容器构成常态正压环境产生预期效果，再透过第一压力控制通道22将第一容积空间21的压力泄放；再进一步执行步骤(c)透过第一压力控制通道对第一本体的第一容积空间抽真空，使第二本体相对朝第一本体位移至与被动密封元件紧密贴合，且透过第二压力控制通道释放限位沟槽内部压力，可避免主动密封元件遭受磨损或扭转变形，并持续对第一本体的第一容积空间抽真空至预定负压值及预定时间，透过于该压力容器构成常态负压环境的方法，对加工物产生预期的效果。
[0065]承上所述，在透过第一压力控制通道对第一本体的第一容积空间加压至预设的压力值，且维持该压力状态至预定时间之后，进一步透过第一压力控制通道将第一本体的第一容积空间内部气体回收，其透过第一压力控制通道对第一本体的第一容积空间抽真空，使第二本体相对朝第一本体位移至与被动密封元件紧密贴合，且持续对第一本体的第一容积空间抽真空至预定设定值，而得以回收先前输入第一容积空间的高经济特殊气体，而达到节省气体供应重复使用的目的。
[0066]此外，本实用新型的压力容器可视使用对象的加工需求，直接构成常态负压环境；而在透过第二压力控制通道27对限位沟槽25内部加压，使主动密封元件41浮升至与第二本体30密合；同样的，此步骤主要于被动密封元件42的外围再形成一密封包覆作用，有助于顺利执行后续的抽真空动作，或是可直接对第一本体20的第一容积空间21加压，以及在第二本体30与第一本体20盖阖的过程中，主动密封元件41可相对隐藏在限位沟槽25内部，有助于第二本体30与第一本体20快速盖阖，并可避免主动密封元件41遭受磨损或扭转变形；再透过第一压力控制通道22对第一本体20的第一容积空间221抽真空，使第二本体30相对朝第一本体20位移至与被动密封元件42紧密贴合，且持续对第一本体20的第一容积空间21抽真空至预定负压值，即可让第一本体20的第一容积空间21构成预定的负压环境，达到对加工物施以负压处理的目的。进一步，再以加压达到正压环境，再透过第一压力控制通道对第一本体的第一容积空间加压(或大气压力)以破真空，进而对第一容积空间进行加压，但构成正压环境前，第一本体与第二本体间的气密控制，先透过第二压力控制通道对限位沟槽内部加压，使主动密封元件浮升至与第二本体密合之后，再透过第一压力控制通道对第一本体的第一容积空间加压至预设的正压值，并维持该压力状态至预定时间，以使加工物于该压力容器构成常态正压环境产生预期效果。
【权利要求】
1.一种压力容器，包括:一第一本体，具有一供收容加工物的第一容积空间、至少一与第一容积空间相通的第一压力控制通道、一与第一容积空间相通的开口，于开口边沿环设有一供与第二本体接触的贴合面，于贴合面上设有至少一道环绕于开口外围供收容主动密封元件的限位沟槽，于限位沟槽与开口之间设有至少一道环绕于开口外围供固定被动密封元件的定位沟槽，另于限位沟槽处设有至少一第二压力控制通道；一第二本体，供覆盖于该第一本体的开口处，且可供重复开阖；至少一主动密封元件，安装于第一本体的限位沟槽中，可受限位沟槽内的压力变化而与第一本体相对位移；至少一被动密封元件，被固定在第一本体的定位沟槽中，且其表面相对凸出贴合面预定高度；各连接件相对设于第一本体的开口周围处，供构成第二本体与第一本体相连接。
2.如现有权利要求1所述的压力容器，其特征在于，该第二本体设有一与第一容积空间对应的第二容积空间。
3.如现有权利要求1所述的压力容器，其特征在于，该至少一主动密封元件在其内外侧边沿凸设有供与限位沟槽的壁面贴合的翼部。
4.如现有权利要求1所述的压力容器，其特征在于中，该第一本体在其开口边沿设有一相对凸出周围预定宽度的肩部，该贴合面且延伸至肩部处。
5.如现有权利要求1至4项其中任一所述的压力容器，其特征在于，该至少一定位沟槽的槽口宽幅相对小于或等于或大于槽底宽幅。
6.如现有权利要求4所述的压力容器，其特征在于，该压力容器将全数连接件固设于第一本体的肩部处，且全数连接件由一可供第二本体对应嵌入的扣体所构成。
7.如现有权利要求4所述的压力容器，其特征在于，该压力容器将全数连接件固设于第二本体上，且全数连接件由一可供第一本体的肩部对应嵌入的扣体所构成。
8.如现有权利要求4所述的压力容器，其特征在于，该压力容器将预定数量的连接件固设于第一本体的肩部处，全数固设于第一本体肩部处的连接件由一可供第二本体对应嵌入的扣体所构成；以及，将其余的连接件固设于第二本体上，全数固设于第二本体上的连接件由一可供第一本体的肩部对应嵌入的扣体所构成。
9.如现有权利要求4所述的压力容器，其特征在于，该各连接件由一穿设于第二本体与第一本体的肩部之间的螺栓，以及一与螺栓相螺接的螺帽组成。
10.如现有权利要求1至4项其中任一所述的压力容器，其特征在于，该第二本体设有一透明视窗。
【文档编号】F16J12/00GK203548870SQ201320582296
【公开日】2014年4月16日 申请日期:2013年9月18日 优先权日:2013年9月18日
【发明者】李俊贤 申请人:李俊贤