技术特征：
技术总结
多自由度解耦驱动的气/固复合式高精度直线运动基准装置属于精密测量与仪器技术领域；该装置包括从动系统、解耦系统和驱动系统；从动系统包括固体摩擦器、气浮导套、光电读数头、光栅尺、限位块、限位传感器和精密气浮导轨；解耦系统包括导轨连接部件、滚珠保持架、解耦支架、滚珠和块规A；驱动系统包括驱动电机、主动轮、传动带和从动轮；固体摩擦器包括摩擦块、固定板、摩擦压紧块、顶钉、弹簧、调整螺套和摩擦架；解耦系统两端分别与驱动系统的传动带和从动系统的精密气浮导轨固连；本发明有效解决了驱动系统对从动系统的干扰问题，建立了一种基于多自由度解耦的气/固复合式高精度直线运动基准装置。
技术研发人员：黄景志;胡星烨;纪婷婧;谭久彬
受保护的技术使用者：哈尔滨工业大学
技术研发日：2016.08.08
技术公布日：2017.07.18