技术特征：
技术总结
本发明提供一种带有传感器的流体控制阀(1)，其具有流体控制阀主体(2)和检测振动(S)的振动传感器(3)，流体控制阀主体(2)具有使可动铁心(9)移动的致动部(4)和形成有阀座(14a)的阀部(5)，设于可动铁心(9)的隔膜阀芯(16)与阀座(14a)抵接离开，在隔膜阀芯(16)与阀座(14a)抵接时，因在隔膜阀芯(16)与阀座(14a)之间无泄漏的情况下才产生的水锤现象而产生振动(S)，且带有传感器的流体控制阀(1)具有异常判断装置，该异常判断装置在检测到规定阈值(X)以上的振动(S)时判断为流体控制阀主体(2)正常，在未检测到规定阈值(X)以上的振动(S)时判断为流体控制阀主体(2)异常。
技术研发人员：井口圣士;永井清
受保护的技术使用者：CKD株式会社
技术研发日：2017.06.29
技术公布日：2018.01.05