垂直隔振系统的制作方法

本发明涉及精密仪器领域，特别是涉及一种垂直隔振系统。

背景技术：

地面微振动作为测量的主要噪声来源，在精密物理实验和测量领域中具有较大影响。超低频垂直隔振技术能够大幅降低环境噪声对精密测量的影响，因此有着重要意义和广阔应用前景。由于隔振系统常常会在室外使用，现有的隔振系统体积较为庞大，不易携带和搬运。并且传统的隔振系统如果缩小体积往往会缩短隔振系统的本征周期，降低减振系统的精度，这都给人们的使用带来了不便。

技术实现要素：

基于此，有必要针对传统隔振系统体积庞大、不易携带和搬运的问题，提供一种体积小，结构简单的垂直隔振系统。

一种垂直隔振系统，包括：

第一支撑结构；

第二支撑结构，与所述第一支撑结构间隔设置；

多个弹性元件，间隔设置并连接所述第一支撑结构和所述第二支撑结构，所述第二支撑结构悬挂或支撑于所述多个弹性元件的一端；

载物装置，用于设置被隔振物；

多个第一反向弹片，间隔设置于所述载物装置和所述第二支撑结构之间，所述第一反向弹片的两端分别连接所述第二支撑结构和所述载物装置，并使所述载物装置在重力及所述第一反向弹片反向弹力的共同作用下悬挂于所述第二支撑结构，并限制所述载物装置仅在重力方向位移；

位移监测装置，设置于所述第二支撑结构，用于监测所述载物装置和所述第二支撑结构的相对位移并输出所述相对位移的位移信号；

反馈控制装置，用于接收所述位移信号并根据所述位移信号控制所述第二支撑结构运动，以使所述相对位移为零或趋近于零。

在其中一个实施例中，

所述多个弹性元件围绕一中心对称轴等间隔设置于所述第一支撑结构和所述第二支撑结构之间；

所述载物装置设置于所述中心对称轴；

所述多个第一反向弹片围绕所述中心对称轴间隔设置于所述载物装置和所述第二支撑结构之间。

在其中一个实施例中，包括：

第一限位结构，设置于所述第一支撑结构和所述第二支撑结构之间，用以限制所述第一支撑结构和所述第二支撑结构在水平方向相对运动；

第二限位结构，设置于所述第二支撑结构和所述载物装置之间，用以限制所述第二支撑结构和所述载物装置在水平方向相对运动。

在其中一个实施例中，所述第一支撑结构包围一个第一收纳空间，所述第二支撑结构至少部分通过所述多个弹性元件在重力作用下悬挂于所述第一收纳空间，所述反馈控制装置设置于所述第一收纳空间。

在其中一个实施例中，

所述第二支撑结构包围一个第二收纳空间，

至少部分所述载物装置在重力作用下通过所述多个第一反向弹片悬挂于所述第二收纳空间中；

所述位移监测装置设置于所述第一收纳空间内。

在其中一个实施例中，所述第一支撑结构包括：

沿着所述中心对称轴延伸的第一侧板、分别与所述第一侧板连接的第一顶板和第一底板；

所述第一侧板设置于所述第一顶板和所述第一底板之间，所述第一侧板、所述第一顶板和所述第一底板包围形成所述第一收纳空间。

在其中一个实施例中，所述第二支撑结构包括：

沿着所述中心对称轴延伸的第二侧板、分别与所述第二侧板连接的第二顶板和第二底板；

所述第二侧板设置于所述第二顶板和第二底板之间，所述第二侧板、所述第二顶板和第二底板包围形成第二收纳空间。

在其中一个实施例中，所述弹性元件的两端分别连接于所述第一顶板和所述第二底板。

在其中一个实施例中，所述第二顶板设置有第二开口，用以穿过至少部分所述载物装置。

在其中一个实施例中，所述第一反向弹片的一端连接所述第二顶板，所述第一反向弹片的另一端连接所述载物装置远离所述第二底板的一端。

在其中一个实施例中，所述第一顶板、所述第一底板、所述第二顶板、所述第二底板为三角形结构。

在其中一个实施例中，所述第一顶板设置有第一开口，所述弹性元件为第二反向弹片，所述第二反向弹片的一端连接于所述第一顶板，所述第二反向弹片的另一端连接于所述第二顶板以使所述第二支撑结构至少部分通过所述第一开口悬挂于所述第一收纳空间内。

在其中一个实施例中，所述载物装置外侧设置有阻尼筒，所述阻尼筒与所述载物装置间隔设置。

在其中一个实施例中，所述载物装置和所述阻尼筒分别用磁性相反的磁性材料制成。

在其中一个实施例中，所述位移监测装置包括：

相对于所述载物装置固定设置的中间定极板；以及

两个侧面定极板，在所述中间定极板两侧平行设置，构成电容。

发明实施例提供的所述垂直隔振系统，在所述载物装置和所述第二支撑结构之间围绕所述中心对称轴等间隔设置多个所述第一反向弹片。所述多个第一反向弹片的一端连接载物装置。在所述载物装置固定被隔振物。所述垂直隔振系统利用所述第一反向弹片占用体积小、韧性强、刚度大的特点，能够提高所述垂直隔振系统的隔振效果，同时减小所述垂直隔振系统的体积。

附图说明

图1为实施例提供的垂直隔振系统结构图；

图2为实施例体用的另一种垂直隔振系统结构图；

图3为实施例提供的第一限位机构示意图；

图4为实施例提供的第二限位结构示意图；

图5为实施例提供的另一种垂直隔振系统结构图；

图6为实施例提供的垂直隔振系统结构俯视图；

图7为实施例提供的另一种垂直隔振系统结构图；

图8为实施例提供的另一种垂直隔振系统结构图；

图9为实施例提供的位移监测装置示意图；

图10为实施例提供的另一种位移监测装置示意图。

图11为实施例提供的反馈控制装置示意图。

主要元件符号说明

垂直隔振系统10、第一支撑结构100、第一开口110、第一顶板120、第一底板130、第一收纳空间140、第一侧板150、第二支撑结构200、第二开口210、第二顶板220、第二底板230、第二收纳空间240、中心对称轴250、第一限位结构260、第一限位装置264、第一滑道261、第一导向块262、第一滚珠263、第二限位结构270、第二限位装置276、第二滑道271、第二导向块272、第二滚珠273、平板274、立柱275、第二侧板280、第一板状结构276、第二板状结构277、弹性元件300、第一反向弹片310、第二反向弹片320、载物装置400、托盘410、连杆420、质量块430、位移监测装置500、第一光源511、聚焦模块512、探测模块513、第二光源514、分光镜515、光强探测器516、第一反光镜517、第二反光镜518、中间定极板510、侧面定极板520、电容530、反馈控制装置600、压电驱动器610、输出轴611、转接件612、线圈613、铁芯614、阻尼筒700、被隔振物800。

具体实施方式

为了使本发明的发明目的、技术方案及技术效果更加清楚明白，以下结合附图对本发明的具体实施例进行描述。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

请参见图1，本发明实施例提供一种垂直隔振系统10。所述垂直隔振系统10包括第一支撑结构100、第二支撑结构200、多个弹性元件300、载物装置400、多个第一反向弹片310、位移监测装置500和反馈控制装置600。所述第一支撑结构100和所述第二支撑结构200间隔设置。所述多个弹性元件300间隔设置于所述第一支撑结构100和所述第二支撑结构200之间，并连接所述第一支撑结构100和所述第二支撑结构200。所述第二支撑结构200悬挂或支撑于所述多个弹性元件300的一端。所述载物装置400用于设置被隔振物800。所述多个第一反向弹片310间隔设置于所述载物装置400和所述第二支撑结构200之间。所述第一反向弹片310的两端分别连接所述第二支撑结构200和所述载物装置400，并使所述载物装置400在重力及所述第一反向弹片310反向弹力的共同作用下悬挂于所述第二支撑结构200，并限制所述载物装置400仅在重力方向位移。所述位移监测装置500设置于所述第二支撑结构200，用于监测所述载物装置400和所述第二支撑结构200的相对位移并输出所述相对位移的位移信号。所述反馈控制装置600用于接收所述位移信号并根据所述位移信号控制所述第二支撑结构200运动，以使所述相对位移为零或趋近于零。

所述第一支撑结构100和第二支撑结构200可以同轴心设置，也可以不同轴心设置。只要能够确保所述垂直隔振系统10水平放置时在水平方向所述第一支撑结构100和第二支撑结构200受力平衡即可。所述载物装置400没有设置在所述多个第一反向弹片310相对于所述所述第二支撑结构200固定点的中心时，可以改变所述多个第一反向弹片310的长度、结构或者材料，以能够保证所述载物装置400在重力方向具有位移时水平方向受力平衡即可。

请参见图2，在其中一个实施例中，所述多个弹性元件300围绕一中心对称轴250等间隔设置于所述第一支撑结构100和所述第二支撑结构200之间。所述载物装置400设置于所述中心对称轴250。所述多个第一反向弹片310围绕所述中心对称轴250间隔设置于所述载物装置400和所述第二支撑结构200之间。通过所述中心对称轴250设置所述多个弹性元件300、所述多个第一反向弹片310可以使得所述载物装置400在水平方向受力更为平衡，确保所述载物装置400仅在重力方向能够与所述垂直隔振系统10发生相对位移，从而提高减振的效果。

可以理解，所述载物装置400具有一定的重量，可以受到竖直方向重力的作用。所述载物装置400可以固定于所述第一反向弹片310远离所述第二支撑结构200的一端。所述载物装置400可以在重力和所述第一反向弹片310对所述载物装置400与重力方向相反作用力的作用下接近或达到在重力方向的受力平衡。所述载物装置400在所述第一反向弹片310的一端固定可以与所述第二支撑结构200间隔设置，从而相对于所述第二支撑结构200悬挂设置。

所述第一支撑结构100和所述第二支撑结构200构成了所述垂直隔振系统10的机械支撑部分，并且在重力方向上间隔设置。也就是说，所述第一支撑结构100和所述第二支撑结构200用于给其它元件提供机械支撑，并且可以在重力方向上相对移动。可以理解，所述第一支撑结构100和所述第二支撑结构200可以由金属材料或者木质、塑胶等材料制成，只要能够提供支撑即可。可以理解，所述第一支撑结构100和所述第二支撑结构200可以分别为板状或镂空结构等。所述中心对称轴250可以为所述垂直隔振系统10的对称中心。所述垂直隔振系统10水平设置时，所述多个弹性元件300围绕所述中心对称轴250等间隔设置可以使所述第二支撑结构200在水平方向受力平衡，并使得所述第二支撑结构200能够在重力方向运动。所述第二支撑结构200可以通过在重力方向的运动减少所述第二支撑结构200和所述第一支撑结构100的相对位移，并可以通过所述第一反向弹片310的缓冲在重力方向尽量减少或避免所述载物装置400的振动。所述弹性元件300可以作为第一级减振元件。所述多个弹性元件300的两端分别连接所述第一支撑结构100和所述第二支撑结构200可以在所述第一支撑结构100和所述第二支撑结构200产生相对运动时产生一定的阻尼，从而减少所述第一支撑结构100和所述第二支撑结构200间在重力方向上的相对位移。所述多个弹性元件300围绕所述中心对称轴250等间隔设置可以使所述第一支撑结构100和所述第二支撑结构200在重力方向受力更为均匀。可以理解，所述弹性元件300的长度可以相同。在一个实施例中，所述弹性元件300可以为拉伸弹簧。进一步地，在重力作用下，所述第二支撑结构200可以通过所述弹性元件300悬挂在所述第一支撑结构100的下方。当所述垂直隔振系统10水平放置时，所述第二支撑结构200在重力作用下悬挂于所述第一支撑结构100的下方。所述第二支撑结构200也可以通过所述弹性元件300支撑在所述第一支撑结构100的上方。当所述垂直隔振系统10水平放置时，所述第一支撑结构100和所述第二支撑结构200也相应水平设置。

所述载物装置400用于放置被隔振物800。所述被隔振物800可以固定于所述载物装置400。具体地，所述载物装置400可以包括托盘410、质量块430、以及连接在所述托盘410和所述质量块430之间的连杆420等结构。所述托盘410用于直接固定所述被隔振物800。所述质量块430用于增加所述载物装置400的重量。

所述第一反向弹片310用于在所述垂直隔振系统10水平放置时将所述载物悬挂在所述第一反向弹片310的一端，并避免所述载物装置400与所述第一支撑结构100或者所述第二支撑结构200接触。从而，可以使得所述载物装置400在重力及所述第一反向弹片,310反向弹力的共同作用下悬挂于所述第二支撑结构200。所述第一反向弹片310可以由具有良好韧性和强度的金属材料制成。所述第一反向弹片310可以具有一定的宽度。可以理解，当所述垂直隔振系统10水平放置时，所述第一反向弹片310可以给所述载物装置400施加与所述载物装置400所受的重力方向相反的力。由于所述第一反向弹片310围绕所述中心对称轴250等间隔设置。从而可以保证所述载物装置400在水平方向受力平衡。

同理，由于所述弹性元件300也围绕所述中心对称轴250等间隔设置。因此所述第二支撑结构200在水平方向的受力平衡。因此当所述垂直隔振系统10受到重力方向的力时，所述弹性元件300和所述第一反向弹片310分别在重力方向起到减振作用，并起到两级减振的效果，从而使得所述垂直隔振系统10具有良好的隔振效果。

进一步地，所述第一反向弹片310分别连接所述第二支撑结构200和所述载物装置400时可以倾斜设置，从而可以减少所述垂直隔振系统10的体积。并且，由于第一反向弹片310具有良好的韧性，因此当所述垂直隔振系统10在垂直方向振动时可以具有较长的本征周期，从而提高隔振效果。所述第一反向弹片310又具有较大刚度，因此所述载物装置400可以承受较大的负载。普通弹簧为了达到较长的本征周期，就必须增加长度，而增加长度会使体积增大。因此相比普通弹簧，所述第一反向弹片310能够减少占用体积，并且保持较长本征周期、并具有较大承载负载能力的特点。

所述位移监测装置500可以固定于所述第二支撑结构200。在一个实施例中，所述位移监测装置500可以与所述第二支撑结构200相对固定设置。所述垂直隔振系统10在垂直方向振动时，所述载物装置400会相对于所述第二支撑结构200在重力方向运动。所述位移监测装置500也会与所述载物装置400在重力方向发生相对运动。所述位移监测装置500可以将所述相对运动通过电信号的形式输送给所述反馈控制装置600。所述反馈控制装置600可以控制所述第二支撑结构200在在重力方向运动，从而使所述第一反向弹片310的形变尽量减小，从而减小甚至消除所述载物装置400和所述第二支撑结构200的相对位移。

本发明实施例提供的所述垂直隔振系统10，在所述载物装置400和所述第二支撑结构200之间围绕所述中心对称轴250等间隔设置多个所述第一反向弹片310。所述多个第一反向弹片310的一端连接载物装置400。所述多个第一反向弹片310的另一端固定安装于所述第二支撑结构200。所述垂直隔振系统10利用所述第一反向弹片310占用体积小、韧性强、刚度大的特点，能够提高所述垂直隔振系统10的隔振效果，同时减小所述垂直隔振系统10的体积。

请参见图6，在一个实施例中，所述垂直隔振系统10还可以包括第一限位结构260、第二限位结构270。所述第一限位结构260设置于所述第一支撑结构100和所述第二支撑结构200之间，用以限制所述第一支撑结构100和所述第二支撑结构200在水平方向相对运动。所述第二限位结构270设置于所述第二支撑结构200和所述载物装置400之间，用以限制所述第二支撑结构200和所述载物装置400在水平方向相对运动。所述第一限位结构260可以在所述第一支撑结构100和所述第二支撑结构200之间围绕所述中心对称轴250对称设置。所述第一限位结构260可以为多个第一限位装置264。所述多个第一限位装置264可以在所述第二支撑结构200和所述载物装置400之间架围绕所述中心对称轴250等间隔对称设置。所述第二限位结构270也可以为多个第二限位装置276。所述多个第二限位装置276可以围绕所述中心对称轴250在所述第二支撑结构200和所述载物装置400之间等间隔对称设置。可以理解，所述第一限位装置264和所述第二限位装置276可以为刚性连杆420，也可以为具有限位卡合功能的元件。

请一并参见图3，在一个实施例中，所述第一限位装置264可以包括第一滑道261、第一导向块262、第一滚珠263。所述第一导向块262固定于所述第一支撑结构100的一侧。所述第一滑道261固定于所述第二支撑结构200的一侧。所述第一滚珠263设置于所述第一导线块和所述第一滚珠263之间。所述第一导向块262可以在所述第一滑道261的限制下在竖直方向运动。所述第一滚珠263可以减少所述第一导向块262和所述第一滑道261之间的摩擦力。所述第一导向块262和所述第一滑道261之间的距离固定不变，从而可以限制所述第一支撑结构100和所述第二支撑结构200在水平方向的相对位置。

请一并参见图4，在其中一个实施例中，所述第二限位装置276可以包括第二滑道271、第二导向块272、第二滚珠273。所述第二导向块272设置于所述载物装置400的一侧。所述第二滑道271设置于所述第二支撑结构200的一侧。所述第二滚珠273设置于所述第二导向块272和所述第二滑道271之间。可以理解，本实施例中，所述第二限位结构270的工作方式与上述实施例中所述第一限位结构260的使用方式相同，这里不再赘述。

在其中一个实施例中，所述第一支撑结构100包围一个第一收纳空间140。所述第二支撑结构200至少部分通过所述多个弹性元件300在重力作用下悬挂于所述第一收纳空间140。所述反馈控制装置600设置于所述第一收纳空间140。所述第二支撑结构200可以部分悬挂于所述第一收纳空间140，也可以全部悬挂于所述第一收纳空间140。所述第一收纳空间140可以保护所述第二支撑结构200和设置在所述第二支撑结构200上的所述载物装置400。可以理解，所述第二支撑结构200至少部分悬挂于所述第一收纳空间140可以减少所述垂直隔振系统10的占用体积，方便携带。

请一并参见图5，在一个实施例中，所述第二支撑结构200可以包括平行相对的两块平板274。所述两块平板274之间通过一个立柱275连接。一块平板274的两端与所述弹性元件300连接，其中另一块平板274上可以固定设置有所述载物装置400和位移监测装置500。这种连接方式简单，便于拆卸。

请再参见图1-2，在一个实施例中，所述第二支撑结构200包围一个第二收纳空间240。至少部分所述载物装置400在重力作用下通过所述多个第一反向弹片310悬挂于所述第二收纳空间240中。所述位移监测装置500设置于所述第一收纳空间140内。至少所述载物装置400设置在所述第二收纳空间240内能够减少所述垂直隔振系统10的体积，并且所述第二收纳空间240和所述第一收纳空间140对所述载物装置400和所述被隔振物800具有双重保护的功能。

在一个实施例中，所述第一支撑结构100包括沿着所述中心对称轴250延伸的第一侧板150、分别与所述第一侧板150连接的第一顶板120和第一底板130。所述第一侧板150固定设置于所述第一顶板120和所述第一底板130之间。所述第一侧板150、所述第一顶板120和所述第一底板130包围形成所述第一收纳空间140。可以理解，所述第一侧板150可以为一体成型的包围状结构，也可以为多块板拼合而成的结构，也可以为支架组合而成。所述第一侧板150沿着垂直于重力方向的切面可以为圆形、正多边形。所述第一顶板120和所述第一底板130也可以为支架或者多块板拼合而成。所述第一侧板150、所述第一顶板120和所述第一底板130可以为木质材料、也可以为塑胶、金属等材料。上述结构方便组合拼接，能够提高工作效率。

在其中一个实施例中，所述第二支撑结构200包括沿着所述中心对称轴250延伸的第二侧板280、分别与所述第二侧板280连接的第二顶板220和第二底板230。所述第二侧板280固定设置于所述第二顶板220和第二底板230之间。所述第二侧板280、所述第二顶板220和第二底板230包围形成第二收纳空间240。可以理解，所述第二侧板280可以为一体成型的包围状结构，也可以为多块板拼合而成的结构，也可以为支架组合而成。所述第二侧板280沿着垂直于重力方向的切面可以为圆形、正多边形。所述第二侧板280、所述第二顶板220和所述第二底板230可以为一体成型的结构，也可以为通过多个板拼接的结构。所述第二侧板280、所述第二顶板220和所述第二底板230可以为木质材料、也可以为塑胶、金属等材料。上述方式制成的所述第二支撑结构200具有方便拼接的特点，能够提高劳动效率。

在一个实施例中，所述弹性元件300的两端分别连接于所述第一顶板120和所述第二底板230。进一步地，所述弹性元件300的一端连接于所述第一顶板120在所述第一收纳空间140的内侧。所述弹性元件300的另一端连接在所述第二底板230靠近所述第一顶板120的一侧。

在一个实施例中，所述第二顶板220设置有第二开口210，用以穿过至少部分所述载物装置400。所述载物装置400可以包括依次连接的托盘410、连杆420和质量块430。所述连杆420可以穿过所述开口，所述质量块430位于所述第二收纳空间240内。所述托盘410可以位于所述第二收纳空间240外。上述结构可以减少所述垂直隔振系统10的体积，并且便于观察固定在所述托盘410上的被隔振物800。

在其中一个实施例中，所述第一反向弹片310的一端连接所述第二顶板220。所述第一反向弹片310的另一端连接所述载物装置400远离所述第二底板230的一端。自然状态下，在所述第一反向弹片310固定夹设在所述第二顶板220表面，所述第一反向弹片310竖立在所述第二顶板220的表面。将所述第一反向弹片310远离所述第二顶板220的一端固定于所述载物装置400后，由于所述载物装置400具有一定重量。所述第一反向弹片310会在所述载物装置400和所述第二顶板220之间产生背离重力方向的弯曲，并可以使所述载物装置400悬挂于所述第一反向弹片310远离所述第二底板230的一端。所述第一反向弹片310的设置方式可以减少所述垂直隔振系统10的体积。

请参见图6，在其中一个实施例中，所述第一顶板120、所述第一底板130、所述第二顶板220、所述第二底板230为可以为三角形结构。优选地，所述三角形结构可以为等边三角形。所述三角形结构可以是拼接而成的结构，也可以一体制作而成。所述三角形结构具有稳定性高的特点，并且能够节省材料

请参见图7，在一个实施例中，所述第一顶板120设置有第一开口110。所述弹性元件300可以为第二反向弹片320。所述第二反向弹片320的一端连接于所述第一顶板120，所述第二反向弹片320的另一端连接于所述第二顶板220以使所述第二支撑结构200至少部分通过所述第一开口110悬挂于所述第一收纳空间140内。所述第二反向弹片320具有与上述第一反向弹片310相同的优点，能够提高隔振效果。进一步地，所述第二反向弹片320相比普通弹簧长度大为缩短，因此进一步减少了所述垂直隔振系统10的体积。在其中一个实施例中，所述第二顶板220还设置有第二开口210，所述第二开口210的轴线可以与所述中心对称轴250重合。通过所述第二开口210可以观察所述被隔振物800。

在一个实施例中，所述垂直隔振系统10还包括阻尼筒700。所述载物装置400至少部分设置于所述阻尼筒700内。所述阻尼筒700具有较小的体积，因而所述阻尼筒700内的空气较少，空气流动性差，从而对所述载物装置400的运动会产生较大的阻力。因此所述阻尼筒700能够进一步减少所述载物装置400和所述第二支撑结构200之间的相对运动，从而提高减振效果。

请参见图8，在一个实施例中，所述第一支撑结构100和所述第二支撑结构200还可以为两个间隔设置的第一板状结构276和第二板状结构277。所述第一板状结构276和所述第二板状结构277之间可以通过所述第二反向弹片320连接。所述第一板状结构276和所述第二板状结构277之间可以设置有所述反馈控制装置600。所述载物装置400设置于所述第二板状结构277，并通过所述第一反向弹片310悬挂于所述第二板状结构277的上方。

在其中一个实施例中，所述载物装置400和所述阻尼筒700分别用磁性相反的磁性材料制成。磁性相反的材料之间具有相互吸引的作用力，从而能够进一步减少所述载物装置400和所述第二支撑结构200之间的相对运动，从而提高减振效果。

请参见图9，在其中一个实施例中，所述位移监测装置500包括相对于所述载物装置400固定设置的中间定极板510和两个侧面定极板520。所述侧面定极板520在所述中间定极板510两侧平行设置构成电容530。所述中间定极板510会与所述载物装置400一起运动。所述侧面定极板520相对于所述第二底板230固定设置。所述中间定极板510运动时，所述电容530就会发生变化，产生电信号给所述反馈控制装置600。所述反馈控制装置600进而驱动所述第二支撑结构200运动以减小所述载物装置400和所述第二支撑结构200的相对位移。

请参见图10，在其中一个实施例中，所述位移监测装置500包括在水平方向依次设置的第二光源514、分光镜515、光强探测器516。还包括第一反光镜517、第二反光镜518。所述第一反光镜517、所述第二反光镜518在竖直方向所述分光镜515的两侧平行相对设置。所述第二光源514发出激光经过所述分光镜515后分成两束，一束作为参考光束直接通过分光镜515，另一束作为测量光束被分光镜515反射后垂直向上到达安装在载物装置400底部的所述第一反光镜517上，再次被所述第一反光镜517反射。所述测量光束垂直向下到达所述第二反光镜518，并再次被反射后回到所述分光镜515，最后又被分光镜515反射并与所述参考光合光。合光的光束照射到所述光强探测器516，通过分析光强探测器516中的干涉条纹可以分析出所述第二支撑结构200和所述载物装置400之间的位移，进而反馈给所述反馈控制装置600控制所述第二支撑结构200的运动。本实施例中光干涉原理分析位移具有精度高的特点。

在其中一个实施例中，所述位移监测装置500包括依次设置的第一光源511、聚焦模块512和探测模块513。所述聚焦模块512用于将所述第一光源511发出的光线聚焦于所述探测模块513。所述探测模块513形成所述被隔振物800的位置信息，并反馈给所述反馈控制装置600控制所述第二支撑结构200的运动。所述聚焦模块512相对于所述载物装置400固定设置。

请参见图11，在其中一个实施例中，所述反馈控制装置600包括压电驱动器610。所述压电驱动器610包括一个输出轴611。所述输出轴611连接一个转接件612。所述转接件612可以驱动所述第二支撑结构200运动。反馈信号输入到所述压电驱动器610后所述压电驱动器610驱动所述输出轴611运动。所述输出轴611进一步驱动所述转接件612带动所述第二支撑结构200运动。

在其中一个实施例中，所述反馈控制装置600包括线圈613和铁芯614。所述线圈613可以与所述位移监测装置500连接。所述位移监测装置500输出的信号使得所述线圈613产生电流。所述线圈613驱动所述铁芯614带动所述第二支撑结构200运动。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。相反，当元件被称作“直接在”另一元件“上”时，不存在中间元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。