闭合装置、具有闭合装置的真空系统和操作闭合装置的方法与流程

本公开内容的实施方式涉及一种闭合装置，特别涉及一种用于以真空密封方式闭合第一压力区域和第二压力区域之间的开口的闭合装置。更特别是，描述了一种用于闭合真空腔室的开口的闭合装置。实施方式更有关于一种包括真空腔室和闭合装置的真空系统，所述闭合装置用于以真空密封方式闭合真空腔室的开口。实施方式更有关于一种操作闭合装置的方法，特别涉及一种闭合真空腔室的开口的方法。

背景技术：

可使用锁定阀、闸阀、闸和其它闭合装置以通过真空密封方式相对于大气环境闭合真空系统，或分离具有彼此不同的压力的真空系统的数个区域。举例来说，闸阀或另一闭合装置可用作真空腔室的可闭合的门，或用作两个真空区域之间的可闭合的通道，以便在闭合装置处于打开位置中时，传送基板或其它物体进入真空腔室中、将基板或其它物体传送离开真空腔室、或早真空腔室的两个真空区域之间传送基板或其它物体。在闭合装置的闭合位置中，具有不同压力的两个区域通过闭合装置的阻挡装置(例如，盖、桨板(paddle)或闭合板)而被彼此分离。

闭合装置可包括凸缘，所述凸缘通常为连接至真空腔室的壁的静止元件或与真空腔室的壁一体形成的静止元件，其中凸缘设置有开口，所述开口被凸缘壁围绕开口。闭合装置可还包括可移动的阻挡装置(例如，盖)，经构造以利用真空密封方式闭合凸缘的开口。在盖的闭合位置中，盖可停置(sit)于凸缘的密封表面上，所述凸缘的密封表面围绕开口，使得开口被密封。在盖的打开位置中，开口可用来传送例如是基板或掩模的元件通过开口。

基板尺寸，例如，用于光学、电子、或诸如显示器和/或有机发光二极管(oled)装置的光电应用的基板尺寸，持续地增加。因此，提供具有大的开口的闭合装置会为有利的。所述大的开口经构造以在打开位置中传送大面积基板通过大的开口。举例来说，闭合装置的开口可具有0.5m²或更大的面积。

闭合装置的相关因素是盖和凸缘的变形，例如，在盖在闭合装置的闭合状态下被压向凸缘的密封表面时。变形的结果可能为盖和凸缘之间的非均匀压力，特别是在密封元件上的非均匀压力。因此，可能需要高的闭合力，所述高的闭合力反而可能致使在真空系统中的粒子产生，例如，由于凸缘和盖之间的摩擦力而导致的粒子产生。粒子产生可能负面地影响真空品质。再者，真空沉积系统中的微小粒子可能负面地影响沉积结果，因为一些粒子可能附接于基板。

类似地，在盖的闭合运动期间，弹性密封元件和盖之间的相对运动可能致使粒子产生。

因此，提供用于真空腔室的如下闭合装置是有利的：所述闭合装置经构造而也可靠地闭合大的开口，并同时减少真空腔室中因摩擦力而导致的粒子产生。

技术实现要素：

有鉴于上述，提出一种闭合装置、一种真空系统和一种操作闭合装置的方法。

根据本公开内容的一方面，提出一种闭合装置。闭合装置包括凸缘，设于真空腔室并包括开口；阻挡装置，经构造以闭合开口；第一磁性装置，经构造以在凸缘和阻挡装置之间产生磁性闭合力，用于将阻挡装置或阻挡装置的一部分从打开位置传送至闭合位置；和磁悬浮系统，经构造以在平行于所述凸缘的第一方向中沿着引导结构非接触地传送阻挡装置，其中磁悬浮系统包括第二磁性装置，经构造以于第二方向中稳定阻挡装置，第二方向横向于第一方向。

在一些实施方式中，具有开口的凸缘可与真空腔室体形成或连接于真空腔室。因此，凸缘的开口可构成位于真空腔室的内部或外壁中的开口。

根据本公开内容的其它方面，提出一种真空系统。真空系统包括真空腔室；凸缘，设于真空腔室的内部或外壁并包括开口；阻挡装置，经构造以闭合开口；第一磁性装置，经构造以在凸缘和阻挡装置之间产生磁性闭合力，用于将阻挡装置或阻挡装置的一部分从打开位置传送至闭合位置；和磁悬浮系统，经构造以在平行于凸缘的第一方向中非接触地传送阻挡装置，其中磁悬浮系统包括第二磁性装置，经构造以于第二方向中稳定阻挡装置，第二方向横向于第一方向。

在一些实施方式中，真空系统可包括至少一个沉积源，例如是蒸气源，经构造以在真空系统中的次大气压条件(sub-atmosphericconditions)下在基板上沉积一层或多层。

根据本公开内容的其它方面，提出一种操作闭合装置的方法。此方法包括在平行于凸缘的第一方向中非接触地传送阻挡装置，其中凸缘被设置在真空腔室处并包括开口；利用第二磁性装置于第二方向中磁性地稳定阻挡装置，第二方向横向于第一方向；和利用第一磁性装置在凸缘和阻挡装置之间产生磁性闭合力，用于将阻挡装置或阻挡装置的一部分从打开位置传送至闭合位置，阻挡装置在闭合位置中密封开口。

本公开内容的其它方面、优点和特征系从说明书和所附附图中显而易见。为了对本发明的上述和其它方面有更佳的了解，下文特举实施方式，并配合所附图式详细说明如下：

附图说明

为了使本公开内容的上述特征可详细地了解，可参照实施方式来获得简要概括于上的本公开内容更详细的。所附附图涉及本公开内容的实施方式且说明于下方。典型实施方式示出在附图中并在下文详细说明。

图1a示出了在打开位置(i)中的根据本文所述的一些实施方式的闭合装置的剖面图；

图1b示出了在闭合位置(ii)中的图1a的闭合装置的剖面图，阻挡装置在闭合位置中密封凸缘的开口；

图2a示出了图1a的闭合装置的前视图，其中阻挡装置已经传送至远离开口的位置；

图2b示出了图1a的闭合装置的前视图，其中阻挡装置布置于开口的前方；

图3a示出了在闭合位置(ii)中的根据本文所述的一些实施方式的闭合装置的前视图；

图3b示出了图3a的闭合装置的前视图，其中闭合装置已经传送离开开口；

图4示出了图3a的闭合装置的剖面图，其中头部部分和下部部分被额外地示出了成放大图；

图5示出了根据本文所述的一些实施方式的闭合装置的剖面图；和

图6示出了根据本文所述实施方式的操作闭合装置的方法的流程图。

具体实施方式

将详细参照各种实施方式，这些实施方式的一个或多个示例被示出了在图式中。各个示例是通过解释的方式而被提供的，且不意味为限制。举例来说，作为一个实施方式的一部分而被说明或描述的特征可用于任何其它实施方式或与任何其它实施方式结合，以获得进一步的实施方式。本公开内容意欲包括这些调整和变化。

在附图的以下说明中，相同附图标记指示相同或类似的元件。仅描述有关于个别实施方式的相异处。除非另有说明，一个实施方式中的一部分或方面的说明也应用于另一实施方式中的对应部分或方面。

图1a示出了在打开位置(i)中的根据本文所述实施方式的闭合装置100的剖面图，在打开位置(i)中，阻挡装置120被布置在凸缘110的开口112的前方，但没有利用真空紧密方式闭合开口112。图1b示出了在闭合位置(ii)中的图1a的闭合装置100的剖面图，在闭合位置(ii)中，阻挡装置120利用真空紧密方式闭合开口112。

本文所使用的“闭合装置”可理解为布置，这种布置经构造以用于打开和闭合两个区域之间的开口。这两个区域被维持在不同的压力，例如，真空腔室的内部空间和环境。闭合装置例如是，但不限于，闸阀、锁定阀(lockvalve)、闸锁(gatelock)或门(例如是真空系统的滑门)。

本文所使用的“阻挡装置”可理解为可移动元件，所述可移动元件被用于以真空紧密方式闭合开口。举例来说，阻挡装置可经构造成(或可包括)可移动的板材、盖、或桨板(paddle)。

凸缘110可包括护板(counterplate)，以用于阻挡装置120。特别是，凸缘110可具有密封表面，所述密封表面围绕开口112，其中阻挡装置120可在闭合装置的闭合位置(ii)出被拉向凸缘110的密封表面。密封元件(例如是弹性密封件)可在闭合位置(ii)出作用于阻挡装置120和凸缘110之间。

举例来说，至少一个密封元件可设于凸缘110的密封表面中，其中所述至少一个密封元件可包括围绕开口112密封环。当阻挡装置120朝向凸缘的密封表面移动时，所述至少一个密封元件可压在阻挡装置120的表面上，使得开口112被密封(参见图1b)。在一些实施方式中，至少一个密封元件可设置在阻挡装置的密封表面中，阻挡装置的密封表面朝向凸缘的密封表面。

凸缘110可附接于真空腔室(未示出了在图1a中)，使得凸缘110的开口提供位于真空腔室的外壁中或内壁中的开口。在一些实施方式中，凸缘110可与真空腔室一体形成。举例来说，凸缘可为围绕腔室中的开口的真空腔室的壁区段。

闭合装置100包括阻挡装置120，阻挡装置120相对于凸缘110是可移动的。特别是，阻挡装置120可在图1a中所示的打开位置(i)与图1b中所示的闭合位置(ii)之间传送，阻挡装置在闭合位置(ii)中以真空密封方式密封开口。从打开位置至闭合位置的阻挡装置的运动可在垂直于凸缘(例如垂直于凸缘的密封表面)的方向中。更特别是，阻挡装置可朝向密封表面移动至闭合位置，同时阻挡装置和凸缘平行于彼此而被定向。因此，密封元件可在垂直凸缘的方向中被均匀地压紧，使得由于凸缘和阻挡装置之间的摩擦接触下的相对运动而导致的粒子产生可被减少或避免。

阻挡装置120可被大致垂直定向。也就是说，阻挡装置120的主定向可为大致垂直定向，其中“大致垂直”可包含从重力轴具有+/-20力的偏移。因此，凸缘110也可为大致垂直定向。举例来说，开口112可为真空腔室的侧壁中的开口。于其它实施方式中，阻挡装置120和凸缘110可大致水平定向。举例来说，开口112可为真空腔室的顶壁中的开口。

闭合装置100还包括第一磁性装置130。第一磁性装置130经构造以在凸缘110和阻挡装置120之间产生磁力，用于从图1a的打开位置传送阻挡装置120(或阻挡装置的至少一部分)至图1b的闭合位置。凸缘110和阻挡装置120之间的磁力可为吸引磁力，所述吸引磁力拉动阻挡装置朝向凸缘的密封表面。

在一些实施方式中，第一磁性装置130包括一个或多个磁体，特别是电磁体，所述磁体可设于凸缘110处，使得阻挡装置120可被磁性闭合力拉向凸缘的密封表面，所述磁性闭合力可通过所述一个或多个磁体产生。磁性闭合力的方向由图1b中的两个向左箭头表示。特别是，第一磁性装置130可包括数个磁体。这些磁体布置于凸缘110处，且被设置在围绕开口分布的位置处。举例来说，四个或更多个磁体可分别布置于凸缘处而相邻于开口。

第一磁性装置130可为可控的磁体装置，经构造以产生可控的磁性闭合力。举例来说，可设置主动控制的磁体装置。特别是，例如，根据阻挡装置和凸缘之间的距离和/或根据阻挡装置的两侧上的压差，第一磁性装置产生的磁场强度可为可变化的。在一些实施方式中，第一磁性装置130可经构造以选择性地在阻挡装置和凸缘之间产生吸引力或排斥力，使得阻挡装置可通过第一磁性装置130而被选择性地打开和闭合。于其它实施方式中，第一磁性装置130可经构造以在阻挡装置和凸缘之间仅提供吸引力，用于闭合阻挡装置。

磁性闭合力可作用于大致垂直于凸缘(也就是垂直于凸缘的密封表面)的方向中。所述方向于下文中亦指示为第二方向(x)。在图1a中所示的打开位置(i)中，阻挡装置和凸缘之间的距离可为小的距离，举例为1cm或更小，特别是5mm或更小。第一磁性装置130可经构造以用于从打开位置传送阻挡装置或阻挡装置的至少一部分1cm或更少，特别是5mm或更少的上述距离至闭合位置。可实现作用于阻挡装置和凸缘之间的密封元件之间的均匀变形，并且因摩擦力导致的粒子产生可被减少。

第二方向(x)一般为水平方向，并且凸缘一般被大致垂直定向。然而，利用在大致垂直方向中于打开位置和闭合位置之间移动的阻挡装置来闭合水平定向的凸缘也是可行的。

阻挡装置120可包括闭合板材，所述闭合板材经构造以压向凸缘的密封表面。闭合板材可至少部分地由磁性材料制成，举例为含铁金属，特别是钢。再者，闭合板材可为刚性(rigid)和硬(stiff)的元件，以便减少在闭合位置(ii)中的阻挡装置的变形。

闭合装置100还包括磁悬浮系统150，经构造以在第一方向(t)中沿着引导结构非接触地传送阻挡装置120，第一方向(t)平行于凸缘110。磁悬浮系统包括第二磁性装置160，经构造以在第二方向(x)中稳定阻挡装置120，第二方向(x)横向于第一方向(t)，特别是第二方向(x)垂直于第一方向(t)。第一方向(x)和第二方向(t)一般均为大致水平方向。然而，其它实施方式是可行的。

因此，阻挡装置120在至少两个方向中为可移动的：阻挡装置可以在闭合位置(ii)和打开位置(i)之间在远离凸缘的方向(也就是垂直于凸缘)中传送，并且阻挡装置可通过磁悬浮系统以非接触方式于大致平行于凸缘的第二方向中传送。在第二方向(t)中的阻挡装置的传送可以类似于滑门的方式执行。

图2a和图2b示出了从右侧观察的图1a和图1b的闭合装置100的前视图。在图2a中，阻挡装置120已经通过磁悬浮系统150相对于凸缘110在第一方向(t)中朝向侧边传送。因此，凸缘110的开口112不再由阻挡装置120覆盖，使得物体可以顺畅的方式移动通过开口112。举例来说，例如是基板或掩模的物体可通过开口112装载至真空腔室或离开真空腔室。图2a中所示的位置因此也被指示为“装载位置”。

在图2b中，阻挡装置120布置于开口112的前方并阻挡开口。图2b中所示出了的位置因此被指示为“阻挡位置”。图1a和图1b剖面图示出了在阻挡位置中的闭合装置100。

引导结构可包括数个轨(tracks)或轨道(rails)，用于在第一方向(t)中非接触地引导阻挡装置120。第一方向(t)为垂直在图1a的纸面且平行在图2a的纸面的方向。举例来说，顶部轨道182可至少部分地设于阻挡装置120的上方，并且至少一个侧引导轨道(例如，上侧引导轨道和下侧引导轨道)可设于阻挡装置的两侧上。第二磁性装置160可沿着所述至少一个侧引导轨道设置，并且第三磁性装置可设于顶部轨道，用于保持阻挡装置。顶部轨道182和/或所述至少一个侧引导轨道在第一方向(t)中可具有一长度，所述长度比在第一方向(t)中的开口112的宽度长，特别是长50cm，更特别是长75cm。举例来说，阻挡装置120可以在第一方向(t)中沿着引导结构传送20cm或更多，特别是30cm或更多的距离。在图2b中所示出了的位置中，开口112可被完全地解除阻挡。

磁悬浮系统150经构造以非接触地将阻挡装置保持于引导结构处，并且于第二方向(t)中沿着引导结构非接触地传送阻挡装置，第二方向(t)也就是平行于凸缘110。举例来说，在图1a中，阻挡装置120被非接触地保持于引导结构处，例如，保持于顶部轨道182的下方和侧引导轨道之间。因此，当阻挡装置120于第二方向(t)中传送时，阻挡装置与引导结构和/或与真空腔室的另一静止元件没有机械接触，使得由于阻挡装置的摩擦接触而导致的粒子产生可进一步减少。阻挡装置的非接触式传送在以下情况中是特别有利的：阻挡装置经构造以闭合真空系统的内侧的通道，例如，所述通道是两个真空腔室之间的通道。

第二磁性装置160可经构造以在第二方向(x)中稳定阻挡装置120，第二方向(x)可垂直于第一方向(t)延伸。也就是说，第二磁性装置160可经构造以在垂直于阻挡装置120的传送方向的方向中稳定阻挡装置120。

利用第二磁性装置160在垂直于传送方向的第二方向(x)中稳定阻挡装置可提供数个优点。举例来说，阻挡装置和凸缘之间的距离可在阻挡装置的传送期间被适当地维持，而同时提供非接触式传送。再者，通过阻挡装置的侧向稳定，可获得并维持阻挡装置相对于凸缘的密封表面的平行定向。阻挡装置的非接触式磁性侧向稳定是更有利的，因为可减少粒子产生并可实现高定位准确性。

在一些实施方式中，第二磁性装置160可经构造以在沿着第一方向(t)的传送期间保持阻挡装置于距离凸缘一预定距离。举例来说，第二磁性装置160可提供两侧稳定。也就是说，如果阻挡装置倾向于在传送期间移动离开凸缘，第二磁性装置可迫使(urge)阻挡装置回到凸缘，且如果阻挡装置倾向于在传送期间移动而太靠近凸缘，第二磁性装置可迫使阻挡装置离开凸缘而朝向图1a中所示的平衡位置。第二磁性装置160可经构造以通过磁力作用于阻挡装置上。

在一些实施方式中，第二磁性装置160包括数个磁体，举例为电磁体和/或永磁体。永磁体可为有利的，因为无需电力。举例来说，永磁体可从两个相对侧处作用在阻挡装置上，以便在沿着引导结构的传送期间将阻挡装置稳定于示出了在图1a中的平衡位置。

在可与本文所述其它实施方式结合的一些实施方式中，第二磁性装置160包括被动磁性稳定装置。被动磁性稳定装置可理解为不被主动控制的磁性装置。举例来说，没有输出参数(例如电流)根据输入参数(例如距离)而受到控制。。被动磁性稳定装置反而可将阻挡装置稳定于预定距离处，而无需任何反馈控制。

在一些实施方式中，第二磁性装置160可包括第一多个永磁体165和第二多个永磁体166。第一多个永磁体165固定于阻挡装置120的至少一侧。第二多个永磁体166固定于引导结构，例如，固定于引导结构的侧引导部分。阻挡装置上的第一多个永磁体165可面向位于侧引导部分上的第二多个永磁体166，以在第一多个永磁体165和第二多个永磁体166之间产生排斥力。特别是，第一多个永磁体和第二多个永磁体的相同极性的极(北极或南极)可朝向彼此，以产生排斥力。

在一些实施方式中，引导结构可包括第一侧引导部分168和第二侧引导部分169。第一侧引导部分168布置于阻挡装置120的第一侧上，第二侧引导部分169布置于阻挡装置的第二侧上，第二侧相反于第一侧，其中第二多个永磁体166的永磁体附接至第一侧引导部分168和第二侧引导部分169两者。此外，第一多个永磁体165的永磁体可附接至阻挡装置120的两个相反侧上。因此，通过作用于阻挡装置的两侧上的相反方向的磁力，可迫使阻挡装置120位于第一侧引导部分168和第二侧引导部分169之间的平衡位置中。

在图1a中，一个极性(例如南极)的极示出了有水平阴影线，并且相反极性(例如北极)的极示出了有垂直阴影线。从图1a中可以看出，相同极性的极系阻挡装置的第一侧上面向彼此，使得阻挡装置被迫使离开第一侧引导部分168，并且相同极性的极在阻挡装置的第二侧上面向彼此，使得阻挡装置也被迫使离开第二侧引导部分169。因此，阻挡装置可稳定于第一侧引导部分和第二侧引导部分之间的中心位置。

在可与本文所述其它实施方式结合的一些实施方式中，第二磁性装置160可包括下部磁性稳定装置162，用于稳定阻挡装置120的下部部分。举例来说，阻挡装置120的底部边缘可突出至引导结构的u形引导轨道167中，如图1a中所示。u形引导轨道可包括第一侧引导部分168和第二侧引导部分169。第一侧引导部分168具有位于阻挡装置的第一侧上的永磁体。第二侧引导部分169具有位于阻挡装置的第二侧上的永磁体。布置于阻挡装置的两侧上的永磁体迫使阻挡装置位于平衡位置中，平衡位置可对应于位于第一侧引导部分168和第二侧引导部分169之间的u形引导轨道167的中心位置。

可选地或外额外地，可设置上部磁性稳定装置161，用于在第二方向(x)中稳定阻挡装置120的上部部分。与下部磁性稳定装置162类似，上部磁性稳定装置161可包括第一侧引导部分168和第二侧引导部分169，其中阻挡装置120可布置于第一侧引导部分168和第二侧引导部分169之间，并且可通过从两侧作用于阻挡装置120上的磁力迫使阻挡装置120位于平衡位置。

通过提供上部磁性稳定装置和下部磁性稳定装置，阻挡装置120的定向可被合适地准确设定。举例来说，可确保阻挡装置的垂直定向。

在可与本文所述其它实施方式结合的一些实施方式中，第一多个永磁体165和第二多个永磁体166可布置于阻挡装置120的两侧上，以产生作用于垂直向上方向中的磁力效应。所述的磁力效应可迫使阻挡装置120向上，使得阻挡装置120的重量的一部分可由第二磁性装置160承载。简单的说，通过于垂直方向中向上升举，从两侧迫使至第一侧引导部分168和第二侧引导部分169之间的平衡位置中的阻挡装置120尝试从所述的相反作用的磁力脱离。

第二磁性装置160的垂直作用力效应可通过提供第一永磁体来增加，所述第一永磁体在第一高度固定于阻挡装置120。第一高度不同于固定在引导结构的第二永磁体的第二高度。举例来说，如图1a中所示，固定于阻挡装置120的第一永磁体被布置得略微高于固定在引导结构的第二永磁体，以便获得垂直向上作用的磁力。

在一些实施方式中，下部磁性稳定装置162和上部磁性稳定装置161均可提供垂直力效应，如图1a中所示。

在一些实施方式中，第二磁性装置160可经构造以产生作用于阻挡装置120上的垂直磁性力。垂直磁性力可承载10％或更多，特别是20％或更多，更特别是50％或更多的阻挡装置120的重量。举例来说，第二磁性装置160的永磁体可经构造以承载20kg或更多，特别是50kg或更多的阻挡装置120的重量。提供承载阻挡装置的重量的至少一部分的永磁体可为有利的，因为无需提供用于永磁体的电源供应器。

第一磁性装置130的磁性闭合力可拉动阻挡装置120离开图1a中所示的平衡位置，而朝向凸缘110至图1b中所示的闭合位置中。

在可与本文所述其它实施方式结合的一些实施方式中，第二磁性装置160可经构造以从闭合位置(ii)传送阻挡装置至打开位置(i)。特别是，第一磁性装置130可经构造以产生磁性闭合力，用于闭合阻挡装置，并且第二磁性装置160可经构造以产生磁力，用于打开阻挡装置。为了从闭合位置(ii)传送阻挡装置120至打开位置(i)，第一磁性装置130的磁性闭合力可减少或关闭，使得第二磁性装置160的磁性稳定力可移动阻挡装置离开凸缘110而至图1a中所示的平衡位置中，平衡位置对应于打开位置(i)。

由于第二磁性装置160可为包括永磁体的被动磁性稳定装置，因此可不需要额外功率来打开阻挡装置。反而，对于打开阻挡装置来说，减少或闭合磁性闭合装置是足够的。

在可与本文所述其它实施方式结合的一些实施方式中，磁悬浮系统150可包括第三磁性装置180，经构造以非接触地将阻挡装置保持于引导结构。第三磁性装置180可至少部分地布置于阻挡装置120的上方且可产生垂直磁力，所述垂直磁力可向上拉动阻挡装置120。特别是，阻挡装置120可通过由第三磁性装置180产生磁性拉力而悬挂于引导结构的顶部轨道182的下方。

第三磁性装置180可包括数个主动磁性轴承184。举例来说，主动磁性轴承184的线圈可整合于阻挡装置120中和/或主动磁性轴承184的线圈可整合于引导结构中，例如，整合于引导结构的顶部轨道182中。

在图1a和图1b的实施方式中，主动磁性轴承184整合于引导结构中。布置于主动磁性轴承184下方的阻挡装置120的头部部分可被拉向主动磁性轴承184。第三磁性装置180可承载阻挡装置的重量的至少一部分。如上已说明，阻挡装置的重量的另一部分可通过第二磁性装置160产生的垂直磁力效应而承载。于其它实施方式中，阻挡装置120的整个重量可由第三磁性装置180承载。

主动磁性轴承184可理解为主动控制的磁性致动器。举例来说，输出参数(例如，供应至主动磁性轴承的电流)可根据输入参数(例如，阻挡装置120和引导结构之间的距离)而被控制。特别是，顶部轨道182和阻挡装置120之间的距离可由距离传感器进行测量，并且主动磁性轴承的磁场强度可根据测得的距离而设定。磁场强度可在高于预定阈值的距离的情况中增加，并且磁场强度可在低于阈值的距离的情况中减少。主动磁性轴承184可以在闭环回路或反馈控制中被控制。磁性对应体(counterpart)可附接于阻挡装置120的头部部分，所述磁性对应体被顶部轨道182中的主动磁性轴承184吸引。

因此，阻挡装置120可在非接触式浮动状态中在引导结构处被保持和传送，这是有利的，因为在真空系统中的例如粒子产生的污染可被减少或避免。

在一些实施方式中，各主动磁性轴承184可包括磁性致动器和距离传感器，所述距离传感器用于测量阻挡装置和引导结构之间的距离，其中磁性致动器可根据测量的距离而被控制，特别是在控制回路或反馈回路中被控制。

当主动磁性轴承184作用在阻挡装置120非常硬的方向中，特别是作用在大致垂直方向中时，可能由主动控制激发的阻挡装置120的振荡可被减少。另一方面，阻挡装置在第二方向(x)(即，侧方向)中可能是更有柔性的。然而，当提供阻挡装置的侧向稳定的第二磁性装置160被构造为被动磁性稳定装置时，在侧方向中激发的振荡可被减少或避免。因此，没有激发振荡的风险的阻挡装置的准确非接触式传送变得可行。

数个主动磁性轴承184可以在第一方向(t)中沿着引导结构设置，如图2a和图2b中所示。举例来说，可设置三个、五个、十个或更多个主动磁性轴承。在一些实施方式中，两个相邻的主动磁性轴承之间的距离可小于在第一方向(t)中的阻挡装置120的宽度尺寸，使得至少两个主动磁性轴承可在传送期间的任何时刻接合于阻挡装置。

在一些实施方式中，阻挡装置120被构造成非接触地悬挂于引导结构的顶部轨道182的下方的闭合板材，其中这些主动磁性轴承184附接于顶部轨道182。特别是，阻挡装置120其本身可为单纯的被动元件，即，可为可传送的而无需向阻挡装置120提供例如是电力的媒介。举例来说，如图1a中所示，第一磁性装置130和第三磁性装置180的主动元件可分别整合于凸缘110中和引导结构中，并且阻挡装置120可包括单纯的被动元件，例如是第一多个永磁体165。将可移动的阻挡装置设置为被动元件是有利的，因为可不需要用于阻挡装置的可移动媒介供应装置，例如是拖链(dragchain)。

磁悬浮系统150可经构造以从打开位置(i)传送整个阻挡装置至闭合位置(ii)。特别是，阻挡装置120可形成为单片(monolithic)或刚性部件，例如是金属板材或金属桨板，其可整体地传送于打开位置(i)和闭合位置(ii)之间，并且其可通过磁悬浮系统150在第一方向(t)中整体地传送。

于其它实施方式中，阻挡装置120可包括数种部件，这些部件可相对于彼此是可移动的，其中这些部件的子集可在阻挡装置120的一部分在打开位置和闭合位置之间的运动期间保持静止。举例来说，阻挡装置可包括闭合板材，所述闭合板材相对于载体被可移动地保持，所述载体例如是框架或搬运车(cart)。载体和闭合板材可以组合的方式通过磁悬浮系统150在第一方向(t)中传送，但闭合板材可通过第一磁性装置130在第二方向(x)中传送，而不传送载体。

在可与本文所述其它实施方式结合的一些实施方式中，磁悬浮系统150可还包括驱动器170，用于在第一方向(t)中沿着引导结构移动阻挡装置120。驱动器可为线性电机，所述线性电机可沿着驱动结构非接触地驱动阻挡装置120。其它非接触式驱动器可额外地或替代地设置。

图2a示出了图1a的闭合装置100的前视图。阻挡装置120已经以类似滑门的方式相对于凸缘110的开口112而被传送至左侧，使得开口112位于装载位置中，在装载位置中，物体可通过开口112装载。图2b示出了图1a的闭合装置100，其中闭合装置100布置于开口112的前方且覆盖开口。

磁悬浮系统被设置而用于在第一方向(t)中非接触式传送阻挡装置120，其中磁悬浮系统包括第三磁性装置180和第二磁性装置160。第二磁性装置160可包括被动磁性稳定装置，用于在第二方向(x)中稳定阻挡装置120。第二磁性装置160可选择地包括上部磁性稳定装置161和下部磁性稳定装置162。第三磁性装置180可经构造以用于主动地稳定阻挡装置120的垂直位置。第三磁性装置可至少部分地布置于阻挡装置的上方。第三磁性装置180可经构造以承载阻挡装置120的重量的至少一部分并维持阻挡装置120的预定垂直位置。

再者，用于在第一方向(t)中驱动阻挡装置120的驱动器170示出了在图2a和图2b中。驱动器170可布置在阻挡装置120的一侧。或者，驱动器170可布置于阻挡装置120的上方和下方，例如，整合于引导结构的顶部轨道182中或底部轨道中。

图3a示出了在闭合位置中的根据本文所述实施方式的闭合装置200的前视图，阻挡装置220在闭合位置中闭合且密封凸缘110的开口112(在图3a中以虚线示出了)。图3b示出了图3a中的闭合装置200的前视图，阻挡装置220在此前视图中已经传送至装载位置中，物体可在装载位置中经由开口112装载。

图4示出了图3a的闭合装置200的剖面图。闭合装置200的上部部分和闭合装置200的下部部分示出在各自的放大图中。

闭合装置200类似于图1a和图1b中的闭合装置100，因此可参照上文的描述，而不于此重复。

特别是，阻挡装置220经构造以通过磁悬浮系统于第一方向(t)中传送于图3a和图3b中所示的位置之间。磁悬浮系统包括第二磁性装置160和第三磁性装置180。第二磁性装置160经构造以在第二方向(x)中稳定阻挡装置220，第二方向(x)横向于第一方向(t)。第三磁性装置180经构造以保持阻挡装置。在一些实施方式中，第三磁性装置180至少部分地布置于阻挡装置220的上方，使得阻挡装置可通过磁性保持力非接触地保持于第三磁性装置180的下方。在一些实施方式中，第二磁性装置160布置于阻挡装置220的两个相反侧上，以在第二方向(x)中提供阻挡装置的磁性侧向稳定。第二方向(x)可为垂直于第一方向(t)的水平方向。

第三磁性装置180可被构造成主动控制装置，特别是包括在反馈回路中控制的主动磁性轴承184，使得可维持阻挡装置220的预定垂直位置。

第二磁性装置160可被构造成被动磁性稳定装置、主动磁性稳定装置、或混合了主动和被动磁性稳定装置。举例来说，可设置被动磁性稳定装置以稳定阻挡装置220的下部部分，并且可设置主动磁性稳定装置以在第二方向(x)中稳定阻挡装置220的头部部分，或反之亦然。于其它实施方式中，可设置被动磁性稳定装置以稳定阻挡装置220的下部部分，并且可设置另一被动磁性稳定装置以于第二方向(x)中稳定阻挡装置220的头部部分，类似在图1a中的实施方式。

在一些实施方式中，第三磁性装置180的主动磁性轴承184可整合于阻挡装置中，特别是整合于阻挡装置220的头部部分222中。顶部轨道182可被构造成单纯的被动轨道，例如是没有主动控制的磁性致动器的简易的金属轨道。特别是，第三磁性装置180的主动元件可整合于阻挡装置220中，特别是整合于阻挡装置的头部部分222中。

可设置媒介供应装置而为阻挡装置的头部部分222提供供应媒介，举例为电力、控制信号和/或冷却流体。所述媒介供应装置可被构造成拖链。

在一些实施方式中，阻挡装置可在第一方向(t)中传送20cm或更多和1m或更少的距离。由于传送路径的有限长度，在可接受的复杂度的情况下提供用于在传送期间向阻挡装置提供供应媒介的媒介供应装置(例如是拖链)可以是可行的。

在一些实施方式中，主动磁性侧向稳定装置的主动磁性轴承228可整合于阻挡装置中，特别是整合于阻挡装置220的头部部分222中。举例来说，如图4中所示，阻挡装置的头部部分222可包括第三磁性装置的主动磁性轴承184和第二磁性装置160的主动磁性轴承228，第三磁性装置的主动磁性轴承184在垂直方向中提供保持力，第二磁性装置160的主动磁性轴承228在水平方向中提供主动侧向稳定。

在一些实施方式中，阻挡装置220的头部部分222可调整形状使得头部部分222在多于一个方向中对激发的振荡的感受性(susceptibility)被减少。举例来说，头部部分可为块状金属元件，所述块状金属元件在至少两个方向中(例如在垂直方向和在至少一个侧向方向中)具有5cm或更多，特别是10cm或更多的厚度。举例来说，头部部分222的剖面形状可为具有5cm的最小厚度的矩形或大致方形。

特别是，头部部分222的位置可通过主动磁性轴承184于垂直方向中被主动地稳定，并通过主动磁性轴承228于第二方向(x)中被主动地稳定，其中头部部分222在垂直和第二方向中的厚度均可为5cm或更多。通过所述的主动稳定，振荡的激发可被减少。

在一些实施方式中，用于在第一方向(t)中驱动阻挡装置的驱动电子元件(例如主动磁性轴承184的驱动电子元件和/或驱动器170的驱动电子元件)可整合于阻挡装置中，特别是整合阻挡装置的头部部分222中。。顶部轨道182可为被动元件，例如简易的金属轨道。

特别是，如图4中所示，可设置线性驱动器17而用于在第一方向(t)中沿着引导结构驱动阻挡装置220。驱动器170的线圈单元可整合于头部部分222中，其中驱动器170的线圈单元可引导在顶部轨道182的磁体轨道中，特别是，其中磁体轨道包括沿着第一方向(t)布置的永磁体。

在可与本文所述其它实施方式结合的一些实施方式中，阻挡装置220可包括下部部分221和头部部分222。下部部分221和头部部分222可相对于彼此是可移动的。下部部分221可布置于头部部分222的下方，并经由机械连接件从头部部分222悬挂。举例来说，头部部分222和下部部分221可经由柔性连接件225(例如铰链连接件)。因此，头部部分222可与下部部分221振动地去耦，使得由于头部部分的主动稳定而产生的头部部分的潜在振荡对下部部分作用可被减少。

磁悬浮系统可经构造以在第一方向(t)中一起传送头部部分222和下部部分221两者，如图3a和图3b中所示。另一方面，从打开位置(i)朝向凸缘110传送阻挡装置220至闭合位置(ii)可包括移动阻挡装置的下部部分221朝向凸缘110，而不移动头部部分222。举例来说，头部部分可被保持于适当的位置，并且仅下部部分221可通过第一磁性装置130朝向凸缘110吸引。头部部分222和下部部分221之间的柔性连接件225可允许下部部分221在打开位置(i)和闭合位置(ii)之间的朝向凸缘的转移。

示出了在图4中的第二磁性装置160可包括下部磁性稳定装置162，其可类似在图1a的下部磁性稳定装置162，使得可参照上述实施方式的描述，而不于此重复。

根据本文所述的其它实施方式，提供了真空系统300。根据本文所述的数个实施方式的真空系统300示出了在图5中。真空系统300包括真空腔室101(部分地示出了)，特别是可彼此连接的数个真空腔室或真空模块。可闭合的通道或闸锁通道可设在一些真空腔室之间或真空腔室和大气环境之间。可设置根据本文所述的任何实施方式的闭合装置而用于闭合一个或多个所述的通道、运输线(transits)、闸锁或真空系统的其它开口。图5示意性地示出了真空系统的真空腔室101的壁的一部分。

沉积源，特别是一个或多个蒸气源、溅射源和化学气相沉积(cvd)源，可布置于真空系统300的至少一真空腔室中。待涂布的基板可传送通过真空系统，例如在容纳沉积源的真空腔室和相邻的真空腔室之间传送。通过提供具有根据本文所述实施方式的一个或多个闭合装置的真空系统，可减少真空系统中的粒子产生，并可改善沉积结果。

具有开口112的凸缘110设于真空腔室101的内壁或外壁。凸缘110可固定于真空腔室。再者，设置了阻挡装置120(例如盖或桨板)以闭合开口112。阻挡装置120可被第一磁性装置130传送在图5中所示的打开位置和闭合位置之间，阻挡装置在闭合位置中密封开口。第一磁性装置130经构造以在凸缘110和阻挡装置120之间产生磁性闭合力，用于从打开位置传送阻挡装置或阻挡装置的一部分至闭合位置。再者，设置了经构造以在平行于凸缘110的第一方向(t)中非接触地传送阻挡装置120的磁悬浮系统150，其中第一方向(t)可为垂直在图5的纸面的方向。磁悬浮系统包括第二磁性装置160，经构造以在由磁悬浮系统传送期间在第二方向(x)中稳定阻挡装置，第二方向(x)横向于第一方向(t)。

图5中示出了的实施方式的闭合装置可包括图1a的闭合装置100和/或图3a的闭合装置200的一些特征或全部特征，使得可参照上述说明而不于此重复。

图5更详细地示出了第一磁性装置130和凸缘110。凸缘110可包括密封表面114，其中弹性密封元件115可设于密封表面114中。举例来说，弹性密封元件115可为设于形成在密封表面114中的沟槽中的密封环。于闭合位置中，阻挡装置120压迫可围绕开口112的弹性密封元件115。

密封表面114可为大致平面。于打开位置中，阻挡装置120的大致平的对应面(countersurface)可布置在距离密封表面114的近距离处。第二方向(x)可大致垂直于密封表面114。将弹性密封元件设于阻挡装置120的对应面中也是可行的。

第一磁性装置130的多个磁体131产生的磁性闭合力可作用在第二方向(x)中，即，垂直于密封表面114。阻挡装置120可包括可通过磁性闭合力朝向凸缘110拉动的磁性对应体132(铁或钢的部件或永磁体部件)。或者，阻挡装置120的整个闭合板材可以由磁性材料(例如，钢)制成。这些磁体131可包括电磁体，特别是线圈。通过调整流经线圈的电流，磁性闭合力可适当地调整，即，根据测得的压差或根据测得的距离。

在一些实施方式中，第一磁性装置130包括距离传感器135，用于测量凸缘110和阻挡装置120之间的距离。因此，磁性闭合力可根据距离传感器135测得的距离而被控制。在闭合位置中的凸缘110的密封表面114和阻挡装置120之间的距离可被准确地控制，举例来说，例如在真空腔室的排气期间避免在闭合位置中的凸缘和阻挡装置的直接金属接触。

可设置耦接于这些磁体131和一个或多个距离传感器的一个或多个控制回路136。控制回路136可包括设定点产生器137，设定点产生器137连接于距离传感器135。设定点产生器137比较测得的距离值和预设的距离设定点，所述预设的距离设定点可由中央控制器设定。控制器139可被提供有个别的比较信号，而控制器139产生将经由放大器138提供至这些磁体131的控制信号。放大的控制信号经构造使得阻挡装置120和凸缘110之间的预定距离可通过这些磁体131产生的磁性闭合力而维持。控制回路136的电子元件可被构造成(例如设置在单一板上的)集成电路。第一磁性装置130的空间需求可被减少。

可设置数个控制回路136使得阻挡装置120和凸缘110之间的距离在围绕开口112的数个位置出被准确地设定。粒子产生可被减少，并可实现弹性密封元件115的均匀压缩。

在一些实施方式中，在凸缘处被设置成电磁体的这些磁体131可经构造以在阻挡装置120和凸缘110之间产生可变化的吸引力。阻挡装置120和凸缘110之间的排斥力可为第二磁性装置160产生的磁性稳定力。第二磁性装置160可为包括永磁体的被动磁性稳定装置，所述永磁体沿着个别的侧滑动轨道并沿着第一方向(t)而布置。第二磁性装置160的永磁体可从两个相反侧迫使阻挡装置位在图5中示出了的平衡位置中。第二磁性装置160可包括经构造以迫使阻挡装置位于平衡位置中的上部磁性稳定装置161和下部磁性稳定装置162。

图6示出了根据本文所述实施方式的操作闭合装置的方法的流程图。

在方框610中，阻挡装置120在平行于凸缘110第一方向(t)中非接触地传送，其中凸缘设于真空腔室并包括开口。在传送期间，阻挡装置120系通过第二磁性装置160在第二方向(x)中磁性稳定，第二方向(x)横向于第一方向(t)，特别是垂直于第一方向(t)。在传送期间，阻挡装置可具有大致垂直定向。

阻挡装置120可从装载位置以类似滑门的方式传送至阻挡位置，阻挡装置120在装载位置中不阻挡开口，阻挡装置在阻挡位置中在相距凸缘的密封表面的近距离处布置于开口的前方。在装载位置中，物体(例如基板)可通过开口装载。在阻挡位置中，阻挡装置可在平行于凸缘的定向的定向中，特别是在垂直定向中，被布置在位于开口的前方的近距离处，例如1cm或更少。

在方框620中，利用第一磁性装置130在凸缘110和阻挡装置120之间产生磁性闭合力，用于从打开位置(i)传送阻挡装置或阻挡装置的一部分至闭合位置(ii)。阻挡装置于闭合位置(ii)中密封开口。

特别是，当阻挡装置120已经传送至开口的前方的阻挡位置时，第一磁性装置130可被启动，使得阻挡装置被拉向凸缘的密封表面，以利用真空紧密方式密封开口。

在任选的方框630中，闭合装置通过从闭合位置(ii)传送阻挡装置回到打开位置(i)来被打开。阻挡装置120可利用第二磁性装置160产生的磁性稳定力传送至打开位置。

特别是，通过减少或关闭第一磁性装置130的磁性闭合力，阻挡装置120可从闭合位置被带到打开位置，使得第二磁性装置160的磁性稳定力可在垂直于凸缘的方向中将阻挡装置转移至平衡位置，阻挡装置在平衡位置中由第二磁性装置160保持。

接着，选择地，阻挡装置120可通过磁悬浮系统在平行于凸缘的第一方向(t)中被非接触地传送至装载位置，物体可在装载位置中通过开口。

第二磁性装置160可为被动磁性稳定装置或可包括被动磁性稳定装置，所述被动磁性稳定装置可不需主动控制和/或电力。

因此，根据本文所述数个实施方式提供了磁性的闸阀。阀的阻挡装置在第一方向(t)和第二方向(x)两者中的运动可完全为非接触式的，并因此无摩擦。阻挡装置与静止结构的唯一接触可为在闭合位置中与凸缘接触，特别是与凸缘的弹性密封元件接触。

在一些实施方式中，阻挡装置可在垂直方向中具有1m或更多，特别是1.5m或更多的高度。在一些实施方式中，阻挡装置可在第一方向(t)中具有30cm或更多，特别是40cm或更多的宽度。凸缘的开口可具有0.5m别或更多，特别是1m，或更多的剖面面积。

阻挡装置120可包括至少部分地以金属制成的闭合板材。闭合板材可至少部分地以铝制成，以便减少闭合板材的重量。闭合板材可包括铁(特别是钢)来作为与一个或多个磁性装置作用的磁性材料。举例来说，阻挡装置可为具有钢部分的铝板材，所述钢部分用于与第一磁性装置130、第二磁性装置160、第三磁性装置180和/或驱动器170作用。

特别是在第二磁性装置160包括基于永磁体的被动磁性导件时，第二磁性装置160可用于下述的一个或多个目的：(i)在垂直于传送方向的第二方向中侧向稳定阻挡装置；(ii)在一方向中减少阻挡装置的振荡的激发，阻挡装置在此方向中具有非常多的潜在的特征频率(eigenfrequencies)；(iii)通过在垂直方向中产生磁力效应来部分地补偿阻挡装置的重量；(iv)使用第二磁性装置产生的磁性稳定力来打开阻挡装置。

可设置线性驱动器而用于在第一方向(t)中沿着引导结构以滑动运动的方式驱动阻挡装置。线性驱动器可包括驱动线圈和永磁体，驱动线圈附接于引导结构，永磁体跟随阻挡装置移动。

综上所述，虽然上述内容针对本公开内容的实施方式然而在不脱离本发明的精神和范围的情况下，当涉及其它或进一步的实施方式，并且本发明的保护范围由所附的权利要求书所确定。