本发明涉及一种用于在腔室壁上的开口的封闭装置，其中，封闭装置具有至少一个封闭机构和至少一个封闭机构承载体和至少一个柱轭，封闭机构通过封闭机构承载体刚性地与柱轭连接，其中，该柱轭借助封闭装置的至少一个缸筒-柱塞驱动单元特别是与封闭机构承载体的纵向延伸平行地可移动地安置在封闭装置的壳体中。
背景技术：
例如在wo2015/139818a1中公开了这种封闭装置。
技术实现要素：
本发明的目的是，对所述类型的封闭装置予以改善：它一方面能够尽可能成本低廉地制造，另一方面以较高的精度引导封闭机构。
为了实现该目的，针对上述类型的封闭装置，本发明规定，柱轭具有缸筒-柱塞驱动单元的至少一个缸筒空腔和/或具有用于引导封闭装置的引导部件的至少一个引导部件容纳部。
换句话说，本发明的基本构思因而是，缸筒-柱塞驱动单元的缸筒空腔和/或引导部件容纳部同样也一同整合到柱轭中。引导部件可移动地安置在引导部件容纳部中。通过本发明，按照成本低廉的设计，首先实现了减少对于封闭装置所需要的零部件。另外由此也可以提供非常紧凑的、占用小的安装空间的单元。但特别地，通过整合到柱轭中，也实现了把缸筒-柱塞驱动单元的缸筒空腔和/或引导部件容纳部非常直接地接合到柱轭中。通过这种直接的接合，只需考虑很小的容差，这在整体上导致非常精确地引导封闭机构。
按照本发明可行的是，在柱轭中，柱轭的包围至少一个缸筒空腔的至少一个缸筒空腔壁和柱轭的用于把封闭机构承载体固定在柱轭上的承载体容纳部在柱轭上设置在相对于彼此固定的空间位置。此外也可以实现的是，在柱轭中，至少一个引导部件容纳部和承载体容纳部设置在相对于彼此固定的空间位置。
根据本发明的封闭装置大多只有一个封闭机构承载体。但当然也可行的是，本发明的封闭装置具有两个或更多的封闭机构承载体。
特别优选地规定，柱轭构造成一体的本体。为了实现这一点，例如可以规定，柱轭构造成铸造体或注塑体，或者构造成由块坯锻造成的本体，或者构造成以其它方式例如通过切削加工出的本体。缸筒-柱塞驱动单元的设置在柱轭中的缸筒空腔至少局部地圆柱形地构造。缸筒空腔可以是柱轭中的在两侧开口的透孔。但缸筒空腔也可以在一侧通过柱轭本身封闭，例如如果缸筒空腔按照盲孔的方式构造。为了封闭缸筒空腔的开口端，可以使用单独的缸筒封闭体，必要时用安全环等保持住。
引导部件容纳部有益地是柱轭中的在两侧开口的透孔。由此可行的是，被引导部件容纳部引导的或者可移动地安置在引导部件容纳部中的引导部件在其两端例如固定在封闭装置的壳体上。但原则上也可考虑的是，针对仅在一侧固定的引导部件，把引导部件容纳部设计成柱轭中的一种单侧封闭的盲孔。引导部件容纳部的横截面有益地适配于引导部件的外轮廓。这里也适宜将引导部件容纳部设计成圆柱形。在任何情况下，引导部件都有益地牢固地固定在壳体上。引导部件有益地是本身刚性的、优选纵向延伸的构件，该构件例如至少局部地构造成杆或轨。
封闭机构承载体，即封闭机构与柱轭之间的连接部，有益地同样纵向延伸地构造。在优选的设计方式中，柱轭并且优选由此封闭机构承载体和封闭机构也平行于封闭机构承载体的纵向延伸移动，如果封闭机构在打开位置和封闭位置之间来回移动的话，其中封闭机构在该打开位置至少部分地、优选完全地释放腔室壁上的开口，封闭机构在该封闭位置封闭腔室壁上的开口。在此显然的是，所述纵向延伸是指纵向延伸的方向，换句话说，即封闭机构承载体的纵向延伸方向。封闭机构承载体也有益地至少局部地构造成杆或轨。有益地，封闭机构承载体和/或引导部件也笔直的、即并非弯曲地构造。
柱轭优选在两侧侧向地突出于封闭机构承载体。换句话说，有益地规定，横向于封闭机构承载体的纵向延伸的柱轭延展距离大于封闭机构承载体的在该横向上的宽度。
原则上可行的是，柱轭只有一个唯一的缸筒空腔，和/或也只有一个唯一的引导部件容纳部。但在优选的设计方式中规定，柱轭具有缸筒-柱塞驱动单元的多个缸筒空腔，和/或也具有多个引导部件容纳部。特别优选的变型规定，柱轭具有封闭装置的两个缸筒-柱塞驱动单元的优选恰好两个缸筒空腔，和/或具有优选恰好两个引导部件容纳部，用于分别引导封闭装置的引导部件。在此也有益的是，这些缸筒空腔彼此轴对称地布置，和/或这些引导部件容纳部彼此轴对称地布置。通过这种对称性，可以实现特别精确地引导封闭机构。这些缸筒空腔的和这些引导部件容纳部的对称轴可以位于共同的平面中，或者优选相互平行地布置。在任何情况下，缸筒空腔是缸筒-柱塞驱动单元的空腔，缸筒-柱塞驱动单元的柱塞可移动地安置在该空腔中并且被施加以压力。柱塞可以分别通过相应的柱塞杆固定地设置在封闭装置的壳体上。缸筒空腔利用柱轭可移动地安置。
特别优选地规定，这个缸筒空腔或者每个缸筒空腔具有空腔纵轴线，并且该空腔纵轴线平行于封闭机构承载体的纵向延伸布置。也有益的是，这个引导部件容纳部或者每个引导部件容纳部具有引导部件容纳部纵轴线，该引导部件容纳部纵轴线平行于封闭机构承载体的纵向延伸布置。于是在其组合下，引导部件容纳部纵轴线和空腔纵轴线也相互平行地布置。
对于这里多次使用的术语“纵轴线”需要指出，它是纵向延伸的轴线，其中，纵向延伸是指相应本体的最长的延伸、即最大延展距离的方向。
原则上可以规定，封闭装置根据本发明构造成所谓的l阀。这意味着，封闭机构在两个彼此形成夹角的、优选垂直的方向上在其完全打开位置与其封闭位置之间移动。但特别优选地，本发明应用于如下封闭装置：就其而言，封闭机构相对于开口仅仅直线地且仅仅在两个彼此相反的方向上可移动地安置在封闭装置的壳体中。换句话说，在这种优选的变型中规定，封闭机构仅直线地来回移动，其中，这些移动方向始终都平行于一个唯一的直线。
本发明的封闭装置的封闭机构原则上可以非常不同地构造。该封闭机构可以是用于打开和封闭在相应的腔室壁上的相对小的开口的所谓的针阀(nadelverschluesse)等。但封闭装置的优选的变型规定，该封闭装置适合于封闭腔室壁中的平面地构造的开口。相应地，封闭机构有益地也平面地构造。该封闭机构可以例如是平的或弯拱的板，或者是相应地成型的密封盘。封闭机构可以在封闭位置相对于阀座密封。但封闭机构在封闭位置也可以在没有密封件的情况下仅仅遮盖开口。在这种未密封的设计方式中，平面地构造的封闭机构也可以称为封闭护板。
本发明的封闭装置也可以称为阀。特别地，当在处理腔室(其开口被封闭装置封闭和释放)中可设定处在比环境压力小的压力水平上的运行状态时，可以使用本发明的封闭装置。换句话说，特别优选地，本发明的封闭装置因而可以应用在负压或真空过程中。真空在此是指，达到具有小于或等于0.001mbar或0.1帕斯卡的压力的运行状态。如果本发明的封闭装置被设计用于在这种条件下使用，则其也可以称为真空阀。
附图说明
如何能实施本发明的其它优选的特征和细节示范性地在下面借助附图中所示的实施例予以介绍。
图1和2示出在固定于腔室壁上的状态下的本发明的一个实施例；
图3为沿着图2的剖切线a-a剖切的剖视图；
图4为沿着图2的剖切线x-x剖切的剖视图；
图5为这里所示的封闭装置的零部件的分解图；
图6为在封闭机构的打开位置该实施例的封闭装置的视图；
图7为沿着图6中所示的剖切线b-b剖切的剖视图；
图8为沿着图6中所示的剖切线c-c剖切的剖视图；
图9为沿着图6中所示的剖切线d-d剖切的剖视图；
图10为封闭装置的视图，其中，封闭机构处于封闭位置；
图11为沿着图10的剖切线e-e剖切的剖视图；和
图12为沿着图10的剖切线f-f剖切的剖视图。
具体实施方式
图1以立体图示出如何把本发明的封闭装置1的这里在全部附图中示出的实施例固定在腔室壁3上并利用其封闭机构4封闭开口2。图2所示为俯视图，图3为沿着图2的剖切线a-a剖切的剖视图，图4为沿着图2的剖切线x-x剖切的剖视图。
在图1至4所示的封闭位置，封闭机构4完全封闭在腔室壁3上的开口2。在所示实施例中，封闭机构4是封闭护板，其在封闭位置虽然完全遮盖开口2，但相对于在该开口周围的腔室壁并不密封。本发明当然也可以用如下封闭机构4来实现：其中，封闭机构在封闭位置借助相应的密封件相对于在该开口周围的阀座密封。
为了使得封闭机构4从在图1至4中示出的封闭位置移动至最大打开位置，封闭机构在该最大打开位置完全地或者部分地释放开口2，在这里所示的实施例中，封闭机构4直线地沿方向18移动。在所述移动时，这里至少局部地构造成杆的封闭机构承载体5伸入到壳体9中，其中，该封闭机构承载体相应地在方向18上带动封闭机构4。为了然后又封闭开口2，封闭机构4沿方向17、即与方向18相反的方向移动，直至又到达根据图1至3的封闭位置。这里在各实施例中示出的封闭装置1是如下封闭装置：就其而言，封闭机构4相对于开口2仅仅直线地且仅仅在两个彼此相反的方向17和18上可移动地安置在封闭装置1的壳体9中。
封闭装置1的壳体9具有螺纹孔28。如图4中所示，壳体9、进而整个封闭装置1借助于螺钉21拧到腔室壁3上。由此使得设置在密封通道22中的、这里未示出的密封件顶压到腔室壁3上，从而壳体9相对于腔室壁3密封。壳体9的在图3、8、9、11和12中可清楚地看到的定中销29在这种情况下插入到腔室壁3的相应的定中孔30中，由此壳体9在装配时自动地正确地定位在腔室壁3上。
在图3中可清楚地看到这里至少局部地杆形地构造的封闭机构承载体5是如何使得封闭机构4与柱轭6连接的。在所示实施例中，封闭机构4为此固定地拧紧在封闭机构承载体5上。为了使得封闭机构承载体5与柱轭6连接，该柱轭6具有承载体容纳部14，封闭机构承载体5的下端在装配时插入到该承载体容纳部中。在这里所示的实施例中，封闭机构承载体5在柱轭6中的固定借助承载体固定部20进行，该承载体固定部借助螺钉21拧紧在柱轭上，并且插入到封闭机构承载体5的内凹23中。如果承载体固定部20如图3中所示那样拧紧在柱轭6上，则由此将封闭机构承载体5固定在承载体容纳部14中，进而固定在柱轭6上。
在根据图5的分解视图中，可特别清楚地看到本发明的封闭装置1的这里所示实施例的根据本发明构造的柱轭6的结构。在这里所选的变型中，柱轭6具有两个缸筒空腔10以及两个引导部件容纳部11。每个缸筒空腔10都是缸筒-柱塞驱动单元7的一部分，这比如在下面还将借助图7和11予以详述。附加于缸筒空腔10设置在柱轭6中的引导部件容纳部11被设计成通孔，从而能使得在此杆形地构造的引导部件12穿过该通孔。在根据图8和11的剖视图中可清楚地看到，杆形的引导部件12在该实施例中借助螺钉21固定在壳体9上。柱轭6通过引导部件容纳部10在这些引导部件12上可直线移动地受到引导。为了在引导部件12上尽可能无间隙地精确地引导柱轭6，在优选的设计方式中设置了如这里所示的、插入到引导部件容纳部11中的引导衬套31，这如在图8和11中可特别清楚地看到。
再参见图5需要指出，在这里所示的设计方式中，以及在其它优选的设计方式中，柱轭6构造成一体的本体。如开篇已述，该本体可以例如是铸造体、注塑体或者是由坯块锻造成的或以其它方式加工出的本体。
通过把缸筒空腔10和引导部件容纳部11整合到柱轭6中，这些构件处于相对于彼此固定的几何位置，这一方面导致成本低廉地、具有较少零部件地实现本发明的封闭装置1。另一方面，这有如下优点：在沿方向17和18运动时实现自动地非常精确地引导封闭机构承载体5，进而也引导封闭机构4。这种效果在这里所示的实施例中按下述方式得到进一步的改善：承载体容纳部14也直接在柱轭6中一同实现。这在图5中也能清楚地看到。
在所示实施例中，存在波纹管密封件19，其使得在纵向延伸8的方向上纵向地延伸的封闭机构承载体5相对于壳体9密封。该波纹管密封件19可在图3、5、6、8、9、10、11和12中清楚地看到。
在图6、8、9和10至12中，该实施例的封闭装置1分别与腔室壁3分离地示出。图6、8和9示出封闭机构4处于打开位置，在该打开位置，该封闭机构在该实施例中将开口2完全释放，并且封闭机构承载体5沿方向18、因而在此也沿平行于其纵向延伸8的方向伸入到壳体9中。图10、11和12示出封闭位置，在该封闭位置，封闭机构4沿方向17、因而同样沿平行于纵向延伸8的方向向上伸出，以便由此完全遮盖开口2。
图7为沿着根据图6的剖切线b-b剖切的剖视图，因而为这里一体地构造的柱轭6的水平剖视图，该柱轭带有两个分别被缸筒空腔壁13包围的缸筒空腔10和两个引导部件容纳部11，各有一个引导部件12穿过这些引导部件容纳部。在图7中也可清楚地看到，借助承载体固定部20将封闭机构承载体5固定在柱轭6的承载体容纳部14中。在缸筒空腔10中可分别看到相应的缸筒-柱塞驱动单元7的分别设置在缸筒空腔10中的柱塞26的剖视图。在图7中也可清楚地看到，这里分别双重存在的缸筒空腔10和引导部件容纳部11的轴对称地布置。
在根据图8和11的剖视图中可特别清楚地看到各缸筒-柱塞驱动单元7，它们可以分别气动地或液压地设计，并且负责使得柱轭6连同封闭机构承载体5和封闭机构4一起沿方向17和18移动。在该剖视图中首先清楚地看到，整合到柱轭6中的缸筒空腔10在该实施例中构造成各通孔或透孔。它们分别圆柱形地构造。为了封闭相应的缸筒空腔10的上端和下端，在所示实施例中分别设置了缸筒封闭体27，该缸筒封闭体通过相应的安全环24而固定其位置。柱塞杆25分别穿过下面的缸筒封闭体27。该柱塞杆在一端、在此借助螺钉21固定在壳体9上。柱塞杆25在另一端承载着设置在缸筒空腔10中的柱塞26。在该实施例中，通过把柱塞杆25固定在壳体9上，柱塞26与壳体固定地安装。对缸筒空腔10的在柱塞26与缸筒封闭体27之间存留的工作腔施加压力可以采用本已公知的方式和方法借助液态的或气态的压力介质比如油或气体进行。为此所需要的输入管路和排出管路以及用于压力介质的阀门在此未示出，但可以如在现有技术中本已公知的那样设计。通过相应的压力施加，由于刚性地固定在壳体上的柱塞，在任何情况下柱轭6、进而封闭机构4都沿方向17和18、进而平行于纵向延伸8移动。
在所示实施例中，缸筒空腔10的空腔纵轴线15平行于封闭机构承载体5的纵向延伸8朝向。相同的情况适用于引导部件容纳部11的引导部件容纳部纵轴线16。由此在该实施例中，方向17,18、纵向延伸8、空腔纵轴线15以及引导部件容纳部纵轴线16全都相互平行。
附图标记清单
1封闭装置
2开口17方向
3腔室壁18方向
4封闭机构19波纹管密封件
5封闭机构承载体20承载体固定部
6柱轭21螺钉
7缸筒-柱塞驱动单元22密封通道
8纵向延伸23内凹
9壳体24安全环
10缸筒空腔25柱塞杆
11引导部件容纳部26柱塞
12引导部件27缸筒封闭体
13缸筒空腔壁28螺纹孔
14承载体容纳部29定中销
15空腔纵轴线30定中孔
16引导部件容纳部纵轴线31引导衬套