技术特征：
技术总结
本发明公开了一种空间立体式三维大行程纳米操作平台，包括基座和XY平台，XY平台设有基体和架空的XY平面运动末端，在基体相邻的两个侧面上均设有压电陶瓷驱动器Ⅰ及三级放大传动机构；XY平面运动末端的四周与基体连接，两个三级传动机构与XY平面运动末端通过柔性机构连接，在XY平面运动末端上安装有Z平台，Z平台包括下板和上板基座，在上板基座的中央形成有Z平台运动末端，Z平台运动末端与上板基座通过均布的多个簧片型柔性铰链Ⅲ连接，在Z平台运动末端与下板之间设有压电陶瓷驱动器Ⅱ，压电陶瓷驱动器Ⅱ设置在XY平面运动末端的中空结构内。本发明行程大、结构紧凑、稳定。
技术研发人员：卢康康;田延岭;王福军;周重凯;张大卫
受保护的技术使用者：天津大学
技术研发日：2018.11.07
技术公布日：2019.04.19