适用于分子泵的轴承支撑减振结构的制作方法

本发明涉及真空获得设备领域，具体地，涉及一种适用于分子泵的轴承支撑减振结构。

背景技术：

分子泵作为一种真空获得设备，其工作转速一般高达每分钟几万转，是一种高转速、高精度的设备。由于高速转子动平衡后的残余不平衡会造成分子泵在高速运转的过程中产生振动。在高速运转的情况下产生的振动加剧了轴承的磨损，另外，轴承在高速运转下会发热，会导致其故障，其寿命大大降低。

目前，现有的技术，一般是在轴承的外圈和轴承之间设有o型圈等弹性元件来实现减振，但o型圈等弹性元件在真空环境里散热差；在轴承一般通过弹簧等实现减振，接触面少，导热效果差，且起不到限位作用，可靠性差。

公开号为cn207868911u的专利文献公开了一种电机端盖轴承减振结构，涉及电机技术领域，所解决的是减少电机运行噪声及振动的技术问题。该结构包括轴承室，所述轴承室上开设有轴承容置腔，轴承容置腔内设有转子轴承，所述转子轴承的右部同轴套置有环形的减振垫圈，并且转子轴承及轴承容置腔的腔壁均与减振垫圈紧配合，减振垫圈的右边缘向内弯折后紧抵住转子轴承的右端面，轴承室上固定有环形盖板，该盖板与减振垫圈同轴布设，并紧压住减振垫圈的右端面，所述转子轴承的外周面左部与轴承容置腔的腔壁之间留有间隙。本实用新型提供的结构，能减少电机运行噪声及振动，但是此方案不适用于真空环境，减振垫圈在真空环境散热效果差。

技术实现要素：

针对现有技术中的缺陷，本发明的目的是提供一种适用于分子泵的轴承支撑减振结构。

根据本发明提供的一种适用于分子泵的轴承支撑减振结构，包括轴承基座、径向阻尼圈、轴承、轴向减振圈、钢球、紧固件以及盖板，

所述轴承基座内部设置有轴承安装空间，所述轴承安装在轴承安装空间内，轴承外圈与轴承基座之间设置有径向阻尼圈，轴承内圈连接主轴，所述轴承基座与盖板通过紧固件连接，盖板中部设置用于主轴通过的通孔，盖板与轴承基座之间设置有轴向减振圈；

所述轴向减振圈上设置有一个或多个安装孔，钢球设置在安装孔内。

优选地，所述轴承基座在轴承安装空间内壁上设置有用于安装径向阻尼圈的凹槽。

优选地，所述轴承与径向阻尼圈过盈配合。

优选地，所述盖板上设置有环形凹槽，轴向减振圈设置在环形凹槽内。

优选地，所述轴向减振圈与轴承同轴设置，所述轴承安装空间的直径与轴承匹配，轴向减振圈的内圈直径小于轴承安装空间直径，轴向减振圈的外圈直径大于轴承安装空间直径。

优选地，所述钢球均匀分布在轴向减振圈的周向上。

优选地，所述径向阻尼圈、轴向减振圈采用粘弹性导热材料。

优选地，所述径向阻尼圈、轴向减振圈采用丁晴橡胶和银粉混合制成，导热率大于40w/(m·k)。

优选地，所述钢球采用gcr15制成；所述盖板采用灰口铸铁镀镍制成。

优选地，所述紧固件采用减振螺钉。

与现有技术相比，本发明具有如下的有益效果：

本发明通过在轴承基座和轴承外圈之间、轴承上方和/或下方设置多个粘弹性高导热胶圈，轴向减振圈设有若干个限位钢球，能够防止轴承发生轴向窜动，轴向和径向都具有非常好的减振效果，且具有良好的导热性能，具有结构简单紧凑，成本低，轴系旋转精度高，可靠性高、寿命长等多种优点。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本发明的结构示意图。

图中示出：

具体实施方式

下面结合具体实施例对本发明进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术人员进一步理解本发明，但不以任何形式限制本发明。应当指出的是，对本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变化和改进。这些都属于本发明的保护范围。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

本发明所提供的一种适用于分子泵的轴承支撑减振结构，轴向和径向都具有非常好的减振效果，且具有良好的导热性能和限位效果，具有结构简单紧凑，成本低，轴系旋转精度高，可靠性高、寿命长等多种优点。

根据本发明提供的一种适用于分子泵的轴承支撑减振结构，如图1所示，包括轴承基座1、径向阻尼圈2、轴承3、轴向减振圈4、钢球6、紧固件7以及盖板8，所述轴承基座1内部设置有轴承安装空间，所述轴承3安装在轴承安装空间内，轴承3外圈与轴承基座1之间设置有径向阻尼圈2，轴承3内圈连接主轴5，所述轴承基座1与盖板8通过紧固件7连接，盖板8中部设置用于主轴5通过的通孔，盖板8与轴承基座1之间设置有轴向减振圈4；所述轴向减振圈4上设置有一个或多个安装孔，钢球6设置在安装孔内。所述轴承基座1在轴承安装空间内壁上设置有用于安装径向阻尼圈2的凹槽。所述轴承3与径向阻尼圈2过盈配合。所述盖板8上设置有环形凹槽，轴向减振圈4设置在环形凹槽内。所述轴向减振圈4与轴承3同轴设置，所述轴承安装空间的直径与轴承3匹配，轴向减振圈4的内圈直径小于轴承安装空间直径，轴向减振圈4的外圈直径大于轴承安装空间直径。所述钢球6均匀分布在轴向减振圈4的周向上。所述径向阻尼圈2、轴向减振圈4采用粘弹性导热材料。所述径向阻尼圈2、轴向减振圈4采用丁晴橡胶和银粉按一定比例混合制成，导热率大于40w/(m·k)。所述钢球6采用gcr15制成；所述盖板8采用灰口铸铁镀镍制成。所述紧固件7采用减振螺钉。

本发明提供了一种分子泵轴承减振支撑结构，涉及真空设备领域，应用于分子泵等超高速旋转机械。包括轴承基座1、径向阻尼圈2、轴承3、轴向减振圈4、主轴5、钢球6、螺钉和盖板8。所述径向阻尼圈2安装于轴承基座1和轴承3外圈之间，径向阻尼圈2采用粘弹性高导热特制材料，具有良好的减振和导热效果；所述轴向减振圈4安装于轴承基座1和盖板8之间，且位于轴承3上方或下方；所述轴向减振圈4在周向设有若干个小孔用于放置钢球6，轴向减振圈4采用粘弹性高导热特制材料，具有良好的减振和导热效果；所述钢球采用gcr15，即高碳铬合金钢制成，可以防止轴承3发生轴向窜动，起限位作用；所述盖板8设有凹槽，用于放置轴向减振圈4，盖板8采用灰口铸铁镀镍制成，用于固定轴向减振圈4。本发明通过在轴承基座1和轴承外3圈之间、轴承上方或下方设置多个粘弹性高导热特制胶圈，轴向减振圈4设有若干个限位钢球，可以弥补现有结构的不足，轴向和径向都具有非常好的减振效果，且具有良好的导热性能，具有结构简单紧凑，成本低，轴系旋转精度高，可靠性高、寿命长等多种优点。

以上对本发明的具体实施例进行了描述。需要理解的是，本发明并不局限于上述特定实施方式，本领域技术人员可以在权利要求的范围内做出各种变化或修改，这并不影响本发明的实质内容。在不冲突的情况下，本申请的实施例和实施例中的特征可以任意相互组合。