技术特征：
1.一种参数的设定方法，该参数的设定方法通过控制装置对除振装置的除振特性进行调整，所述参数的设定方法的特征在于，在所述除振装置上载置有装置，该装置具有至少一个轴和在所述轴上由伺服电机驱动的可动部，所述控制装置控制所述装置，所述控制装置具有存储部，该存储部将调整除振装置的除振特性的各种参数的候选值作为1组，存储多组候选值，所述参数的设定方法具有：伺服电机控制步骤，以使所述可动部位于指令位置的方式控制所述伺服电机；以及参数值变更步骤，在所述除振装置工作过程中，在所述可动部的所述指令位置与实际位置之差即偏差的大小为规定值以上的情况下，从所述多组候选值中选择未选择的1组候选值，将所述除振装置的所述各种参数的值变更为所选择的所述1组候选值，在所述偏差的大小小于规定值的情况下，不进行所述各种参数的值的变更，在所述参数值变更步骤的处理结束后，反复进行所述参数值变更步骤，直到所述偏差的大小小于规定值为止。2.根据权利要求1所述的参数的设定方法，其特征在于，所述参数值变更步骤中，在所述偏差的大小为规定值以上，并且没有未选择的1组候选值的情况下，将所述除振装置的所述各种参数的值变更为所述偏差最小的1组候选值。3.根据权利要求2所述的参数的设定方法，其特征在于，具有通知步骤，该通知步骤在所述偏差的大小为规定值以上，并且没有未选择的1组候选值的情况下进行通知。4.根据权利要求1～3中任一项所述的参数的设定方法，其特征在于，所述轴是沿所述轴的延伸方向驱动所述可动部的直线轴、或者沿以所述轴为中心的旋转方向驱动所述可动部的旋转轴，所述偏差的精度为10nm以下或1万分之1度以下。5.根据权利要求1～4中任一项所述的参数的设定方法，其特征在于，所述装置是加工工件的加工机，所述偏差是在所述加工机加工所述工件时所述可动部位于所述可动部在所述轴上移动的范围内时的所述指令位置与所述实际位置之差。6.根据权利要求1～5中任一项所述的参数的设定方法，其特征在于，所述轴是沿所述轴延伸的方向驱动所述可动部的直线轴，所述偏差是以使所述可动部在所述直线轴的范围内的所述指令位置停止的方式控制所述伺服电机时的所述指令位置与所述实际位置之差。7.根据权利要求1～5中任一项所述的参数的设定方法，其特征在于，所述轴是沿所述轴延伸的方向驱动所述可动部的直线轴，所述可动部在多个直线轴上被驱动，所述偏差是以使所述可动部移动到各直线轴上的所述指令位置的方式控制所述伺服电机时的所述各直线轴上的所述指令位置与所述实际位置之差。8.根据权利要求1～5中任一项所述的参数的设定方法，其特征在于，
所述轴是沿所述轴延伸的方向驱动所述可动部的直线轴，所述可动部在多个直线轴上被驱动，所述偏差是以使所述可动部移动到各直线轴上的所述指令位置的方式控制所述伺服电机时的所述各直线轴上的所述指令位置的合成与所述各直线轴上的所述实际位置的合成之差。9.一种装置的控制装置，该装置具有载置在除振装置上的至少一个轴和在所述轴上由伺服电机驱动的可动部，所述控制装置的特征在于，具有：存储部，其将调整所述除振装置的除振特性的各种参数各自的候选值的组合作为1组，存储多组候选值；伺服电机控制部，其以使所述可动部位于指令位置的方式控制所述伺服电机；以及参数值设定部，在所述除振装置工作过程中，在所述可动部的所述指令位置与实际位置之差即偏差的大小为规定值以上的情况下，从所述多组候选值中选择未选择的1组候选值，将所述除振装置的所述各种参数的值变更为所选择的所述1组候选值，在所述偏差的大小小于规定值的情况下，不进行所述各种参数的值的变更，所述参数值设定部反复进行所述参数的值的变更，直到所述偏差的大小小于规定值为止。10.根据权利要求9所述的控制装置，其特征在于，在所述偏差的大小为规定值以上且没有未选择的1组候选值的情况下，所述参数值设定部将所述除振装置的所述各种参数的值变更为所述偏差最小的1组候选值。11.根据权利要求10所述的控制装置，其特征在于，具有通知部，该通知部在所述偏差的大小在规定值以上，并且没有未选择的1组候选值的情况下进行通知。12.根据权利要求9至11中任一项所述的控制装置，其特征在于，所述轴是沿所述轴延伸的方向驱动所述可动部的直线轴、或者沿以所述轴为中心的旋转方向驱动所述可动部的旋转轴，所述偏差的精度为10nm以下或1万分之1度以下。13.根据权利要求9至12中任一项所述的控制装置，其特征在于，所述装置是加工工件的加工机，所述偏差是在所述加工机加工所述工件时所述可动部位于所述可动部在所述轴上移动的范围内时的所述指令位置与所述实际位置之差。14.根据权利要求9至13中任一项所述的控制装置，其特征在于，所述轴是沿所述轴延伸的方向驱动所述可动部的直线轴，所述偏差是以使所述可动部在所述直线轴的范围内的所述指令位置停止的方式控制所述伺服电机时的所述指令位置与所述实际位置之差。15.根据权利要求9至13中任一项所述的控制装置，其特征在于，所述轴是沿所述轴延伸的方向驱动所述可动部的直线轴，所述可动部在多个直线轴上被驱动，所述偏差是以使所述可动部移动到各直线轴上的所述指令位置的方式控制所述伺服电机时的所述各直线轴上的所述指令位置的合成与所述各直线轴上的所述实际位置的合
成之差。