一种用于三坐标测量机的气浮轴承碟簧机构的制作方法

本实用新型涉及三坐标测量机技术领域，具体为一种用于三坐标测量机的气浮轴承碟簧机构。

背景技术：

目前，公知的应用在三坐标测量机上的气浮为气浮轴承机构。众所周知，无论气浮轴承为方形气浮还是圆形气浮，其与承载部件通过顶丝机构连接，顶丝机构末端为顶紧钢球，与气浮上的球窝相配合，达到使用要求，这种结构弊端在于其通气后，对气浮要达到所要求的浮起高度有严格的要求，其浮起高度若未达到运动要求的浮起高度，在三坐标测量机产生运动命令的过程中，三坐标整体移动部件未悬浮起，其运动指令使三坐标运动会导致气浮块的损伤或者花岗岩导轨的损伤，对其精度也会受到严重影响。针对这些缺陷，设计一种用于三坐标测量机的气浮轴承碟簧机构，是很有必要的。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种用于三坐标测量机的气浮轴承碟簧机构，通过安装在气浮轴承机构内的碟形弹簧，通过其不同的叠法和不同的叠装数量，使其与气浮块的刚度和整体移动部件的质量相匹配，以达到在测量机产生运动前，使整体移动部件的质量和气浮轴承机构产生的力相适应，使三坐标测量机能够平稳的启动和运行，有效的提高三坐标测量机的运动过程中的平稳性，并保护了三坐标测量机的花岗岩导轨和气浮轴承机构的损伤，提高了本装置的稳定性，延长了使用寿命，可以解决现有技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种用于三坐标测量机的气浮轴承碟簧机构，包括花岗岩导轨和移动部件，所述花岗岩导轨上表面设置有气浮轴承机构，气浮轴承机构一侧设置有进气口，气浮轴承机构上表面中心设置有安装槽，安装槽内嵌有定位座，定位座上端设置有连接钢球；

所述移动部件内嵌有气浮顶丝，气浮顶丝外套有顶丝轴套，顶丝轴套底部通过螺栓与移动部件固定连接，顶丝轴套内壁底部通过螺栓与弹簧底座固定连接，弹簧底座上表面设置有垫片，弹簧底座上表面与碟形弹簧固定连接，顶丝轴套内壁底端分别设置有夹紧件，夹紧件将碟形弹簧固定在弹簧底座上表面。优选的，所述定位座上部中心设置为通孔，通孔上端边沿为锥形面，连接钢球放置于锥形面内。

优选的，所述气浮顶丝下端分别压入碟形弹簧和顶丝轴套内与连接钢球接触，气浮顶丝与连接钢球接触面设置为锥形面。

优选的，所述弹簧底座上表面设置有不少于一个的碟形弹簧，碟形弹簧依次叠装在弹簧底座上，弹簧底座上表面设置有与碟形弹簧倾斜角相对应的顶块。

优选的，所述花岗岩导轨上表面与气浮轴承机构下表面构成压力气腔，花岗岩导轨与气浮轴承机构间隙为6～8um。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

本用于三坐标测量机的气浮轴承碟簧机构，通过气浮轴承机构上的进气口，给气浮轴承机构接通一定压力的压缩空气，花岗岩导轨上表面与气浮轴承机构下表面构成压力气腔，通过连接钢球，将承载力传递到移动部件上，碟形弹簧的数量和大小选择，根据移动部件的质量和相匹配程度决定，负荷大，行程短，所需空间小，组合使用方便，维修换装容易，经济安全性高，从而能够保证本装置动态测量过程中各刚性体的稳定性，确保花岗岩导轨的运动柔韧性和灵敏性，提高测量地准确度，气浮顶丝与连接钢球接触面和定位座上表面设置为锥形面，起到定位的作用，通过安装在气浮轴承机构内的碟形弹簧，通过其不同的叠法和不同的叠装数量，使其与气浮块的刚度和整体移动部件的质量相匹配，以达到在测量机产生运动前，使整体移动部件的质量和气浮轴承机构产生的力相适应，使三坐标测量机能够平稳的启动和运行，有效的提高三坐标测量机的运动过程中的平稳性，并保护了三坐标测量机的花岗岩导轨和气浮轴承机构的损伤，且由于本结构比较简单，成本低，可应用于各种小、中、大型的三坐标测量机上，提高了本装置的稳定性，提高适用范围，提高测量精度，延长了使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型的局部零件爆炸图；

图2为本实用新型的整体结构正视示意图；

图3为本实用新型的整体结构正视剖视图；

图4为本实用新型的整体结构侧视剖视图；

图5为本实用新型的局部结构侧视剖视图。

图中：1、花岗岩导轨；2、气浮轴承机构；3、进气口；4、安装槽；5、定位座；6、连接钢球；7、移动部件；8、气浮顶丝；9、顶丝轴套；10、弹簧底座；11、垫片；12、碟形弹簧；13、夹紧件。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，一种用于三坐标测量机的气浮轴承碟簧机构，包括花岗岩导轨1和移动部件7，花岗岩导轨1上表面设置有气浮轴承机构2，气浮轴承机构2一侧设置有进气口3，通过气浮轴承机构2上的进气口3，给气浮轴承机构2接通一定压力的压缩空气，花岗岩导轨1上表面与气浮轴承机构2下表面构成压力气腔，花岗岩导轨1与气浮轴承机构2间隙为6～8um，气浮轴承机构2上表面中心设置有安装槽4，安装槽4内嵌有定位座5，定位座5上端设置有连接钢球6，定位座5上部中心设置为通孔，通孔上端边沿为锥形面，连接钢球6放置于锥形面内，起到定位的作用，通过连接钢球6，将承载力传递到移动部件7上，移动部件7内嵌有气浮顶丝8，气浮顶丝8外套有顶丝轴套9，顶丝轴套9底部通过螺栓与移动部件7固定连接，顶丝轴套9内壁底部通过螺栓与弹簧底座10固定连接，弹簧底座10上表面设置有垫片11，起到保护碟形弹簧12的作用，延长了使用寿命，弹簧底座10上表面与碟形弹簧12固定连接，弹簧底座10上表面设置有不少于一个的碟形弹簧12，碟形弹簧12的数量和大小选择，根据移动部件7的质量和相匹配程度决定，碟形弹簧12依次叠装在弹簧底座10上，弹簧底座10上表面设置有与碟形弹簧12倾斜角相对应的顶块，负荷大，行程短，所需空间小，组合使用方便，维修换装容易，经济安全性高，从而能够保证本装置动态测量过程中各刚性体的稳定性，确保气浮导轨的运动柔韧性和灵敏性，提高测量地准确度，气浮顶丝8下端分别压入碟形弹簧12和顶丝轴套9内与连接钢球6接触，气浮顶丝8与连接钢球6接触面设置为锥形面，起到定位的作用，顶丝轴套9内壁底端分别设置有夹紧件13，夹紧件13将碟形弹簧12固定在弹簧底座10上表面，使整体更加稳固，通过安装在气浮轴承机构2内的碟形弹簧12，通过其不同的叠法和不同的叠装数量，使其与气浮块的刚度和整体移动部件7的质量相匹配，以达到在测量机产生运动前，使整体移动部件7的质量和气浮轴承机构2产生的力相适应，使三坐标测量机能够平稳的启动和运行，起到保护气浮轴承机构2和花岗岩导轨1的作用，使得运动过程比较平稳，测量机的精度更容易得到保证，提高了本装置的稳定性，延长了使用寿命。

综上所述，本用于三坐标测量机的气浮轴承碟簧机构，通过气浮轴承机构2上的进气口3，给气浮轴承机构2接通一定压力的压缩空气，花岗岩导轨1上表面与气浮轴承机构2下表面构成压力气腔，通过连接钢球6，将承载力传递到移动部件7上，碟形弹簧12的数量和大小选择，根据移动部件7的质量和相匹配程度决定，负荷大，行程短，所需空间小，组合使用方便，维修换装容易，经济安全性高，从而能够保证本装置动态测量过程中各刚性体的稳定性，确保花岗岩导轨1的运动柔韧性和灵敏性，提高测量地准确度，气浮顶丝8与连接钢球6接触面和定位座5上表面设置为锥形面，起到定位的作用，通过安装在气浮轴承机构2内的碟形弹簧12，通过其不同的叠法和不同的叠装数量，使其与气浮块的刚度和整体移动部件7的质量相匹配，以达到在测量机产生运动前，使整体移动部件7的质量和气浮轴承机构2产生的力相适应，使三坐标测量机能够平稳的启动和运行，有效的提高三坐标测量机的运动过程中的平稳性，并保护了三坐标测量机的花岗岩导轨1和气浮轴承机构2的损伤，且由于本结构比较简单，成本低，可应用于各种小、中、大型的三坐标测量机上，提高了本装置的稳定性，提高适用范围，提高测量精度，延长了使用寿命。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。