一种洁净室洁净空间洁净度检测方法与流程

1.本发明涉及一种洁净度检测方法，尤其涉及一种洁净室洁净空间洁净度检测方法。


背景技术：

2.现有的洁净室洁净度检测装置在对洁净室进行洁净度的检测时，往往是进行单个位置的洁净度检测，这使得洁净室的洁净度检测结果不具有代表性，不便于通过该检测结果判断洁净室的洁净度是否合格，洁净度的检测效率较低。


技术实现要素：

3.为了解决上述技术所存在的不足之处，本发明提供了一种洁净室洁净空间洁净度检测方法。
4.为了解决以上技术问题，本发明采用的技术方案是：一种洁净室洁净空间洁净度检测方法，检测方法用洁净度检测装置进行洁净室的洁净度检测；洁净度检测装置包括检测组件、水平移动机构、竖直移动机构，检测组件设置于竖直移动机构上，竖直移动机构设置于水平移动机构上，水平移动机构设置于洁净室的地面上；
5.水平移动机构包括伺服电机a、水平丝杠螺杆、水平移动平台，伺服电机a水平设置，水平丝杠螺杆与伺服电机a的输出轴相联接；水平丝杠螺杆上设置有相配合的水平丝杠螺母，水平移动平台固定设置于水平丝杠螺母的顶部；水平丝杠螺杆的外侧罩设有水平导向轨道，水平移动平台的底部设置有与水平导向轨道相配合的滑槽，水平导向轨道与滑槽的配合设置提高了水平丝杠螺杆带动水平移动平台移动的稳定性；
6.竖直移动机构包括伺服电机b、竖直丝杠螺杆、竖直移动平台，伺服电机b竖向固定设置于水平移动平台的顶面上，伺服电机b的输出轴与竖直丝杠螺杆相联接；竖直丝杠螺杆上设置有相配合的竖直丝杠螺母，竖直丝杠螺母固定设置于竖直移动平台的内侧；竖直丝杠螺杆的外侧设置有导向柱，导向柱为内部中空顶部开口的柱体，竖直移动平台位于导向柱的内部，竖直移动平台的中部固定设置有升降柱，升降柱的顶部固定设置有安装台，检测组件设置于安装台上；
7.洁净室洁净空间洁净度检测方法为：用洁净度检测装置对洁净室进行多位置的洁净度检测；洁净度检测装置工作时首先将检测组件移动到指定的待检测位置，当检测组件需要水平移动时，伺服电机a启动带动水平丝杠螺杆旋转，水平丝杠螺杆旋转使得与其相配合设置的水平丝杠螺母沿着水平方向移动，带动固定于水平丝杠螺母顶部的水平移动平台水平移动到与待检测位置相对应的水平位置上；当检测组件需要竖直移动时，伺服电机b启动带动竖直丝杠螺杆旋转；竖直丝杠螺杆旋转带动与其相配合设置的竖直丝杠螺母上下移动，进而带动固定于竖直丝杠螺母上的竖直移动平台上下移动，从而通过升降柱带动位于安装台上的检测组件竖直移动到与待检测位置相对应的竖直位置上；通过水平移动机构与竖直移动机构的配合工作将检测组件移动到指定的待检测位置对洁净室进行洁净度的检
测，重复上述步骤实现洁净度检测装置对洁净室内不同的待检测位置的洁净度检测，实现洁净度检测装置对洁净室的多位置洁净度检测。
8.进一步地、导向柱的左侧内壁、右侧内壁均设置有竖直导向滑轨；竖直移动平台的左端、右端均设置有与竖直导向滑轨相配合的滑块，竖直移动平台通过滑块沿着竖直导向滑轨平稳升降。
9.进一步地、升降柱为内部中空底部开口的柱体；竖直丝杠螺杆的下端与伺服电机b的输出轴固定相联，竖直丝杠螺杆的上端穿过位于竖直移动平台内侧的竖直丝杠螺母后位于升降柱的内部空腔内。
10.进一步地、竖直丝杠螺杆的顶端固定设置有限位板。
11.本发明的洁净室洁净空间洁净度检测方法通过洁净度检测装置能够实现对洁净室的多位置的洁净度检测，多位置的洁净度检测使得洁净室的洁净度检测结果具有代表性，能更好地通过检测结果判断洁净室的洁净度是否合格，大大提高了洁净度的检测效率。
附图说明
12.图1为洁净度检测装置的结构示意图。
13.图2为水平导向轨道与水平移动平台的位置关系示意图。
14.图中：1、检测组件；2、伺服电机a；3、水平丝杠螺杆；4、水平移动平台；5、水平丝杠螺母；6、水平导向轨道；7、滑槽；8、伺服电机b；9、竖直丝杠螺杆；10、竖直移动平台；11、竖直丝杠螺母；12、导向柱；13、升降柱；14、安装台；15、竖直导向滑轨；16、滑块；17、限位板。
具体实施方式
15.下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
16.如图1所示，一种洁净室洁净空间洁净度检测方法，检测方法用洁净度检测装置进行洁净室的洁净度检测；洁净度检测装置包括检测组件1、水平移动机构、竖直移动机构，检测组件1设置于竖直移动机构上，竖直移动机构设置于水平移动机构上，水平移动机构设置于洁净室的地面上；
17.水平移动机构包括伺服电机a2、水平丝杠螺杆3、水平移动平台4，伺服电机a2水平设置，水平丝杠螺杆3与伺服电机a的输出轴相联接；水平丝杠螺杆3上设置有相配合的水平丝杠螺母5，水平移动平台4固定设置于水平丝杠螺母5的顶部；如图2所示，水平丝杠螺杆3的外侧罩设有水平导向轨道6，水平移动平台4的底部设置有与水平导向轨道相配合的滑槽7，水平导向轨道与滑槽的配合设置提高了水平丝杠螺杆带动水平移动平台移动的稳定性；
18.竖直移动机构包括伺服电机b8、竖直丝杠螺杆9、竖直移动平台10，伺服电机b8竖向固定设置于水平移动平台4的顶面上，伺服电机b的输出轴与竖直丝杠螺杆9相联接；竖直丝杠螺杆9上设置有相配合的竖直丝杠螺母11，竖直丝杠螺母固定设置于竖直移动平台10的内侧；竖直丝杠螺杆9的外侧设置有导向柱12，导向柱12为内部中空顶部开口的柱体，竖直移动平台位于导向柱12的内部，导向柱12的左侧内壁、右侧内壁均设置有竖直导向滑轨15；竖直移动平台10的左端、右端均设置有与竖直导向滑轨相配合的滑块16，竖直移动平台通过滑块沿着竖直导向滑轨平稳升降。竖直移动平台10的中部固定设置有升降柱13，升降柱的顶部固定设置有安装台14，检测组件1设置于安装台14上；升降柱13为内部中空底部开
口的柱体；竖直丝杠螺杆9的下端与伺服电机b8的输出轴固定相联，竖直丝杠螺杆9的上端穿过位于竖直移动平台内侧的竖直丝杠螺母后位于升降柱的内部空腔内。竖直丝杠螺杆9的顶端固定设置有限位板17，限位板17位于升降柱的内部空腔内，限位板的设置用于限制竖直移动平台10的最大上升位置。
19.洁净室洁净空间洁净度检测方法为：用洁净度检测装置对洁净室进行多位置的洁净度检测；洁净度检测装置工作时首先将检测组件1移动到指定的待检测位置，当检测组件1需要水平移动时，伺服电机a2启动带动水平丝杠螺杆3旋转，水平丝杠螺杆3旋转使得与其相配合设置的水平丝杠螺母5沿着水平方向移动，带动固定于水平丝杠螺母顶部的水平移动平台4水平移动到与待检测位置相对应的水平位置上；当检测组件1需要竖直移动时，伺服电机b8启动带动竖直丝杠螺杆9旋转。竖直丝杠螺杆旋转带动与其相配合设置的竖直丝杠螺母上下移动，进而带动固定于竖直丝杠螺母上的竖直移动平台上下移动，从而通过升降柱带动位于安装台14上的检测组件1竖直移动到与待检测位置相对应的竖直位置上；通过水平移动机构与竖直移动机构的配合工作将检测组件1移动到指定的待检测位置对洁净室进行洁净度的检测，重复上述步骤实现洁净度检测装置对洁净室内不同的待检测位置的洁净度检测，实现洁净度检测装置对洁净室的多位置洁净度检测。
20.上述实施方式并非是对本发明的限制，本发明也并不仅限于上述举例，本技术领域的技术人员在本发明的技术方案范围内所做出的变化、改型、添加或替换，也均属于本发明的保护范围。