一种超低温真空冷冻腔波纹管保温结构的制作方法

1.本发明涉及一种超低温真空冷冻腔波纹管保温结构。


背景技术：

2.芯片制作过程中需要经过冷冻工序，冷冻工序需要在超低温真空冷冻腔内进行，超低温真空冷冻腔包括超低温真空冷冻腔体和水平布置的底板，超低温真空冷冻腔内穿设有一进一出两个混合制冷工质管道，超低温真空冷冻腔使用时要抽真空，而由于混合制冷工质管道与超低温真空冷冻腔的外壁温差有150℃，将混合制冷工质管道直接连接于超低温真空冷冻腔的外壁上，会造成大量的冷量损失以及真空腔壁结霜。


技术实现要素：

3.本发明所要解决的技术问题是提供一种超低温真空冷冻腔波纹管保温结构，其避免了混合制冷工质管道与超低温真空冷冻腔的外壁直接接触，防止超低温真空冷冻腔的外壁结霜，也减少了冷量损失。
4.为解决上述技术问题，本发明提供了一种超低温真空冷冻腔波纹管保温结构，包括超低温真空冷冻腔体和水平布置的底板，底板设于超低温真空冷冻腔体下侧敞口处并与其配合，底板上设有两个用于安装混合制冷工质管道的通孔，每个通孔上均设有与通孔同轴布置且竖直向下延伸且上下敞口的外波纹管，外波纹管下侧设有一个密封外波纹管下端的安装法兰，安装法兰中部设有竖直布置的混合制冷工质管道，混合制冷工质管道上端穿过通孔进入超低温真空冷冻腔内，混合制冷工质管道下端超出安装法兰，混合制冷工质管道与外波纹管、超低温真空冷冻腔体、底板均呈非接触状态。
5.为简单说明问题起见，以下对本发明所述的一种超低温真空冷冻腔波纹管保温结构均简称为本结构。
6.本结构的优点：采用本结构，真空腔体超低温制冷剂通过波纹管实现无霜传输，避免了混合制冷工质管道与超低温真空冷冻腔的外壁直接接触，而且由于超低温真空冷冻腔内使用时是抽真空的，波纹管与混合制冷工质管道之间没有了空气作为传热介质，隔热效果更好，防止超低温真空冷冻腔的外壁结霜，也减少了冷量损失。
7.为达到本结构更好的使用效果，其优选方案如下：
8.作为优选的，所述的底板下侧位置上对应每个通孔处均设有环绕通孔周向布置的环形凹槽。
9.环形凹槽可以减小底板与外波纹管连接处的面积，从而减小热传递效果，从而进一步提高隔热效果。
10.作为优选的，所述混合制冷工质管道与外波纹管之间还设有n个内波纹管，n≥1，n个内波纹管与混合制冷工质管道内外套接且同轴布置，内外套接的n个内波纹管、混合制冷工质管道以及外波纹管之间均呈非接触状态，内波纹管上下敞口，内波纹管上侧与外波纹管上侧平齐，内波纹管下侧与安装法兰相接。
11.内波纹管的加入，可以进一步隔绝热辐射，增加本结构的隔热效果，提高系统的能效比，按隔热需要，内波纹管层数n≥1，而且内波纹管层数越多，保温效果越好。
附图说明
12.图1是本结构实施例一的结构示意图。
13.图2是本结构实施例二的结构示意图。
14.图1、图2中均仅示出一个通孔及其对应的波纹管、混合制冷工质管道。
具体实施方式
15.实施例一，仅采用外波纹管的实施例：
16.参见图1，一种超低温真空冷冻腔波纹管保温结构，包括超低温真空冷冻腔体1和水平布置的底板2，底板2设于超低温真空冷冻腔体1下侧敞口处并与其配合，底板2上设有两个用于安装混合制冷工质管道5的通孔21，每个通孔21上均设有与通孔21同轴布置且竖直向下延伸且上下敞口的外波纹管3，外波纹管3下侧设有一个密封外波纹管3下端的安装法兰4，安装法兰4中部设有竖直布置的混合制冷工质管道5，混合制冷工质管道5上端穿过通孔21进入超低温真空冷冻腔内，混合制冷工质管道5下端超出安装法兰4，混合制冷工质管道5与外波纹管3、超低温真空冷冻腔体1、底板2均呈非接触状态。
17.所述的底板2下侧位置上对应每个通孔21处均设有环绕通孔21周向布置的环形凹槽22。
18.本结构的优点：采用本结构，真空腔体超低温制冷剂通过波纹管实现无霜传输，避免了混合制冷工质管道5与超低温真空冷冻腔的外壁直接接触，而且由于超低温真空冷冻腔内使用时是抽真空的，波纹管与混合制冷工质管道5之间没有了空气作为传热介质，隔热效果更好，防止超低温真空冷冻腔的外壁结霜，也减少了冷量损失。
19.环形凹槽22可以减小底板2与外波纹管3连接处的面积，从而减小热传递效果，从而进一步提高隔热效果。
20.实施例二，采用了一层内波纹管的实施例：
21.参见图2，一种超低温真空冷冻腔波纹管保温结构，包括超低温真空冷冻腔体1和水平布置的底板2，底板2设于超低温真空冷冻腔体1下侧敞口处并与其配合，底板2上设有两个用于安装混合制冷工质管道5的通孔21，每个通孔21上均设有与通孔21同轴布置且竖直向下延伸且上下敞口的外波纹管3，外波纹管3下侧设有一个密封外波纹管3下端的安装法兰4，安装法兰4中部设有竖直布置的混合制冷工质管道5，混合制冷工质管道5上端穿过通孔21进入超低温真空冷冻腔内，混合制冷工质管道5下端超出安装法兰4，混合制冷工质管道5与外波纹管3、超低温真空冷冻腔体1、底板2均呈非接触状态。
22.所述混合制冷工质管道5与外波纹管3纸之间还设有一个内波纹管31，内波纹管31与混合制冷工质管道5同轴布置，且内波纹管31与混合制冷工质管道5、外波纹管3均呈非接触状态，内波纹管31上下敞口，内波纹管31上侧与外波纹管3上侧平齐，内波纹管31下侧与安装法兰4相接。
23.内波纹管31的加入，可以进一步隔绝热辐射，增加本结构的隔热效果，提高系统的能效比。按隔热需要，内波纹管层数n≥1
24.需要指出的是以上所述，仅是本申请的两个实施例而己，并非对本申请作任何形式上的限制，并非用以限定本申请，例如实施例二中一个内波纹管可以替换为多个内波纹管同轴套接，任何熟悉本领域技术人员不难理解，在不脱离本申请技术方案范围内，当可进行变动或修饰得到相应的实施例。但凡是未脱离本申请技术方案的宗旨，依据本申请内容对以上实施例所作的任何修改、修饰或等同与等效的变化，均仍属于本发明技术方案的范围内。


技术特征：
1.一种超低温真空冷冻腔波纹管保温结构，其特征在于：包括超低温真空冷冻腔体和水平布置的底板，底板设于超低温真空冷冻腔体下侧敞口处并与其配合，底板上设有两个用于安装混合制冷工质管道的通孔，每个通孔上均设有与通孔同轴布置且竖直向下延伸且上下敞口的外波纹管，外波纹管下侧设有一个密封外波纹管下端的安装法兰，安装法兰中部设有竖直布置的混合制冷工质管道，混合制冷工质管道上端穿过通孔进入超低温真空冷冻腔内，混合制冷工质管道下端超出安装法兰，混合制冷工质管道与外波纹管、超低温真空冷冻腔体、底板均呈非接触状态。2.根据权利要求1所述的一种超低温真空冷冻腔波纹管保温结构，其特征在于：所述的底板下侧位置上对应每个通孔处均设有环绕通孔周向布置的环形凹槽。3.根据权利要求1所述的一种超低温真空冷冻腔波纹管保温结构，其特征在于：所述混合制冷工质管道与外波纹管之间还设有n个内波纹管，n≥1，n个内波纹管与混合制冷工质管道内外套接且同轴布置，内外套接的n个内波纹管、混合制冷工质管道以及外波纹管之间均呈非接触状态，内波纹管上下敞口，内波纹管上侧与外波纹管上侧平齐，内波纹管下侧与安装法兰相接。

技术总结
一种超低温真空冷冻腔波纹管保温结构，包括超低温真空冷冻腔体和水平布置的底板，底板设于超低温真空冷冻腔体下侧敞口处并与其配合，底板上设有两个用于安装混合制冷工质管道的通孔，每个通孔上均设有与通孔同轴布置且竖直向下延伸且上下敞口的外波纹管，外波纹管下侧设有一个密封外波纹管下端的安装法兰，安装法兰中部设有竖直布置的混合制冷工质管道，混合制冷工质管道上端穿过通孔进入超低温真空冷冻腔内，混合制冷工质管道下端超出安装法兰，混合制冷工质管道与外波纹管、超低温真空冷冻腔体、底板均呈非接触状态。其避免了混合制冷工质管道与超低温真空冷冻腔的外壁直接接触，防止超低温真空冷冻腔的外壁结霜，也减少了冷量损失。少了冷量损失。少了冷量损失。


技术研发人员：孙巍泉 杨陆晗 练菊 席杨 鲁旗
受保护的技术使用者：普乐（合肥）光技术有限公司
技术研发日：2021.08.12
技术公布日：2021/10/8