安装结构及机台的制作方法

1.本技术涉及半导体加工设备，特别是涉及安装结构及机台。


背景技术：

2.在对producer se(用于bpsg(boro-phospho-silicate glass，硼磷硅玻璃)制程)子机台的维护作业过程中，需要将位于子机台框架空腔(chamber)内的盖子掀起，这样会导致盖子与在其上方的运动控制器(motion controller)发生干涉。为了避免干涉，需要将运动控制器沿导轨从子机台框架的开口移出。运动控制器移出后处在开口的顶部，而维护人员也会在开口进行维护作业，此时运动控制器恰好位于维护人员的头顶上方，容易对维护人员的头部造成磕碰或掉落砸伤维护人员，造成安全事故。因此，现有子机台存在容易磕碰维护人员头部的问题。


技术实现要素：

3.针对现有技术容易磕碰维护人员头部的问题，本技术提供了一种安装结构，其用于安装控制器，包括盖子和纵向设置的框架，所述框架包括用于维护作业的开口，所述盖子设置于所述开口内，所述控制器设置于所述开口的左外侧位置或右外侧位置。
4.优选地，所述左外侧位置位于所述框架的左外侧面，所述右外侧位置位于所述框架的右外侧面。
5.优选地，所述框架包括边结构，其设置于所述开口的左侧或右侧。
6.优选地，所述左外侧位置或所述右外侧位置位于所述边结构的外侧面。
7.优选地，所述框架还包括顶结构，所述顶结构与所述边结构连接，所述顶结构设置于所述开口的顶侧。
8.优选地，所述边结构包括外侧面顶部区域，所述外侧面顶部区域靠近所述顶结构，所述左外侧位置或所述右外侧位置位于所述外侧面顶部区域。
9.优选地，所述左外侧位置位于所述顶结构的左外侧面，所述右外侧位置位于所述顶结构的右外侧面。
10.优选地，所述边结构的包括左边结构和右边结构，所述左边结构、所述顶结构和所述右边结构依次连接，所述左边结构设置于所述开口的左侧，所述右边结构设置于所述开口的右侧。所述左外侧位置位于所述左边结构的左外侧壁，所述右外侧位置位于所述右边结构的右外侧壁。
11.优选地，所述安装结构还包括固定装置，其固定于所述左外侧位置或所述右外侧位置，所述控制器设置于所述固定装置。
12.本技术还提供了一种机台，包括：至少1个所述安装结构。
13.本技术的有益效果在于：由于框架包括用于维护作业的开口，盖子设置于开口内，维护人员是在开口的位置进行维护作业，所以将控制器设置于开口的左外侧位置或右外侧位置后，既可以防止盖子掀起时和控制器干涉(因为控制器已不在开口端，不会和盖子发生
干涉)，也可以防止维护人员在进行维护作业时头部碰撞到控制器，避免了磕碰风险(因为控制器已不在开口端其不会出现在维护人员的头顶而磕碰或掉落砸伤维护人员)。
14.上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本技术较佳的实施例并配合附图对本技术进行详细说明。
附图说明
15.图1是本技术实施例中，现有技术中运动控制器安装结构正视图；
16.图2是本技术实施例中，安装结构正视图(控制器位于边结构)；
17.图3是本技术实施例中，安装结构立体图(控制器位于顶结构)；
18.图4是本技术实施例中，机台正视图；
19.图5是本技术实施例中，机台俯视图。
20.其中，附图标记：
21.1 安装结构
22.2 控制器
23.10 框架
24.100 边结构
25.1000 外侧面顶部区域
26.1001 左边结构
27.1001a 左外侧壁
28.1001b 左内侧壁
29.1002 右边结构
30.1002a 右外侧壁
31.1002b 右内侧壁
32.101 顶结构
33.1010 内顶壁
34.102 开口
35.12 固定装置
36.13 导轨
37.14 工厂接口
38.15 气体控制柜
39.16 盖子
40.5 机台
具体实施方式
41.以下由特定的具体实施例说明本技术的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所公开的内容轻易地了解本技术的其他优点及功效。
42.需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以互相组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。为了使本技术领域的人员更好
地理解本技术方案，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本技术的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本技术保护的范围。
43.需要说明的是，本技术的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于包覆不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或单元。
44.需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电性连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
45.图1是控制器2(例如，控制器2可以是运动控制器，motion control)的现有安装方式，控制器2用导轨13固定于框架10的顶部，维护人员经由开口102进行维护工作，进行维护工作需要将盖子16向框架10的顶部掀起，为避免盖子16掀起后和控制器2发生干涉，需要先将控制器2沿导轨13移出。但是控制器2移出后会位于维护人员的头顶，存在磕碰维护人员头部或掉落等安全风险。
46.请同时参考图2和图3，为防止出现控制器2和维护人员头部发生磕碰意外，在一实施例中提供了一种安装结构1，其用于安装控制器2。例如，控制器2可以为单片机运动控制器、dsp运动控制器或fpga运动控制器。安装结构1包括盖子16、纵向设置的框架10和气体控制柜15(gas panel)。气体控制柜15设置于框架10的顶部。框架10包括用于维护作业的开口102，盖子16设置于开口102内。例如，盖子16可以平行于水平方向设置并位于框架10的中间位置，且其可向框架10的顶部翻转打开。纵向可以为竖直方向，开口102的轴向方向可以为水平方向，即开口102可以面向维护人员设置。控制器2设置于开口102的左外侧位置或右外侧位置。左外侧位置或右外侧位置可以在框架10上，也可以在框架10之外，比如，可以在框架10之外的左侧或右侧设置安装台(安装台不与框架10连接)，然后将左外侧位置或右外侧位置设置于安装台上。当维护人员面向开口102时，位于维护人员左侧且在开口102之外的位置为左外侧位置，位于维护人员右侧且在开口102之外的位置为右外侧位置。
47.由于框架10包括用于维护作业的开口102，盖子16设置于开口102内，维护人员是在开口102的位置进行维护作业，所以将控制器2设置于开口102的左外侧位置或右外侧位置后，既可以防止盖子16掀起时和控制器2干涉(因为控制器2已不在开口102端，不会和盖子16发生干涉)，也可以防止维护人员头部在进行维护作业时碰撞到控制器2，避免了磕碰风险(因为控制器2已不在开口102端，其不会出现在维护人员的头顶而磕碰或掉落砸伤维护人员)。
48.请同时参考图2和图4，优选地，左外侧位置位于框架10的左外侧面，右外侧位置位于框架10的右外侧面(即控制器2位于框架10的左外侧面或右外侧面)。例如，控制器2可以通过螺接的方式固定在框架10的左外侧面或右外侧面上。控制器2位于框架10的左外侧面
或右外侧面，可以在后续将安装结构1组装成机台5时，让控制器2和框架10作为整体进行组装，以提高机台5的组装效率。
49.如图2所示，优选地，框架10包括边结构100，其设置于开口102的左侧或右侧。例如，边结构100可以是金属立柱或金属平板。维护人员面对开口102时，维护人员的左侧和开口102的左侧同侧，维护人员的右侧和开口102的右侧同侧。
50.请同时参考图2和图3，优选地，左外侧位置或右外侧位置位于边结构100的外侧面。例如，边结构100的外侧面可以是边结构100上远离开口102且不与开口102连接的一侧。在边结构100设置于开口102的左侧或右侧时，再将左外侧位置或右外侧位置设置于边结构100的外侧面，可以实现将控制器2设置于开口102的外侧面(因为控制器2已经设置于左外侧位置或右外侧位置上)，由于维护人员仅在开口102进行维护作业，左外侧位置或右外侧位置设置于边结构100的外侧面后，控制器2将不会和维护人员头部发生磕碰。
51.如图3所示，优选地，框架10还包括顶结构101，其与边结构100连接，顶结构101设置于开口102的顶侧。例如，顶结构101可以是金属平板。例如，顶结构101可以通过螺接、铆接或焊接的方式连接边结构100的顶部。接近维护人员的头顶且位于开口102内的位置即为开口102的顶侧。左外侧位置位于顶结构101的左外侧面，右外侧位置位于顶结构101的右外侧面。例如，左外侧位置可以位于顶结构101的左外侧壁。右外侧位置可以位于顶结构101的右外侧壁。维护人员面对开口102时，维护人员的左侧和顶结构101的左外侧面同侧，维护人员的右侧和顶结构101的右外侧面同侧。左外侧位置位于顶结构101的左外侧面(即控制器2位于顶结构101的左外侧面)，右外侧位置位于顶结构101的右外侧面(即控制器2位于顶结构101的右外侧面)，可以让控制器2的安装位置较高，更难磕碰到维护人员的头部。且由于维护作业是在框架10的中间位置进行，控制器2位于顶结构101的左外侧面或右外侧面，也不会影响维护作业。
52.如图2所示，优选地，边结构100包括外侧面顶部区域1000，外侧面顶部区域1000靠近顶结构101，左外侧位置或右外侧位置位于外侧面顶部区域1000。外侧面顶部区域1000靠近顶结构101，左外侧位置或右外侧位置位于外侧面顶部区域1000(即控制器2位于外侧面顶部区域1000)，这样使得控制器2的安装位置较高，更难磕碰到维护人员的头部。
53.请同时参考图2和图3，优选地，边结构100的包括左边结构1001和右边结构1002，左边结构1001、顶结构101和右边结构1002依次连接，左边结构1001设置于开口102的左侧，右边结构1002设置于开口102的右侧。例如，左边结构1001和右边结构1002可以互相平行设置。维护人员面对开口102时，维护人员左侧的边结构100即为左边结构1001，维护人员右侧的边结构即为右边结构1002。左边结构1001包括左外侧壁1001a和左内侧壁1001b。右边结构1002包括右外侧壁1002a和右内侧壁1002b。顶结构101包括内顶壁1010，左内侧壁1001b、右内侧壁1002b和内顶壁1010围合成开口102。左外侧壁1001a和左内侧壁1001b可以相对平行设置，右外侧壁1002a和右内侧壁1002b可以相对平行设置。左外侧位置可以设置于左外侧壁1001a，右外侧位置可以设置于右外侧壁1002a。由于左外侧壁1001a和右外侧壁1002a均不在开口102内，所以左外侧位置设置于左外侧壁1001a(即控制器2设置于左外侧壁1001a)，或右外侧位置设置于右外侧壁1002a(即控制器2设置于右外侧壁1002a)，可以让控制器2位于开口102的左外侧或右外侧，防止控制器2与维护人员头部磕碰。例如，控制器2可以通过螺接、铆接或焊接的方式设置于左外侧壁1001a或右外侧壁1002a。
54.请同时参考图2和图3，优选地，安装结构1还包括固定装置12，其固定于左外侧位置或右外侧位置，控制器2设置于固定装置12。例如，固定装置12可以是支撑座，固定装置12可以通过螺接、铆接或焊接的方式固定于左外侧位置或右外侧位置。控制器2可以通过螺接的方式设置于固定装置12。控制器2固定于固定装置12后，因为其已不在开口102内，在维护子机台时不用再将其从开口102移出以防止其和盖子16干涉。控制器2不用移出和移进开口102，就不会拉扯控制器2上的线路，可以防止控制器2上的线路松动甚至拉扯断裂，防止为复机增加难题。
55.请同时参考图4和图5，在另一实施例中还提供了一种机台5，包括：至少1个安装结构1。例如，机台5可以包括3个子机台和1个工厂接口(factory interface)14，3个子机台中的两个和工厂接口14连接。每个子机台包括1个安装结构1，3个安装结构1依次从各自的外侧壁相抵接，其中，3个安装结构1中的两个安装结构1相对设置，3个安装结构1中的控制器2互不相邻地设置。3个安装结构1相互抵接后且其控制器2互不相邻地设置，可以避免3个安装结构1在组装成机台5时，其所属的控制器2产生干涉。
56.以上对本技术实施例所提供的安装结构及机台进行了详细介绍，对于本领域的一般技术人员，依据本技术实施例的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有所改变之处。综上所述，本说明书内容不应理解为对本技术的限制，凡依据本技术的精神与技术思想所做的一切等效修饰或改变，仍应由本技术的权利要求所涵盖。