真空隔离阀的制作方法

本发明涉及阀门领域，尤其涉及一种真空隔离阀。

背景技术：

1、真空隔离阀主要应用于真空设备使用过程中需要将真空系统一部分与其余系统隔离开时使用。从而达到防止气体或空气进入隔离的部分，保持其真空程度。主要体现于在真空设备与真空泵之间的管道安装，当真空设备运行时或泵浦异常时用于隔离真空。

2、市面上大多数真空隔离阀门在驱动机构上都以气缸推动摇杆进行动作；在密封上多以特殊的机械机构驱动密封板对阀体进行机械限位，配合密封件达到阻断管道上下通道的作用，由于真空隔离阀常用于离子体设备(dry etcher(干式蚀刻机)、cvd(化学气相沉积)、pvd(物理气相沉积)等设备)中。

3、真空隔离阀通常连接在泵与腔体的真空管道中，真空设备在工艺生产中会伴随异物的产生，而在真空设备在进行抽真空的过程中，会由隔离状态变为打开状态，在此过程中，工艺进行所产生异物易进入真空隔离阀内的密封板所处的容纳腔内，从而附着在密封板或容纳腔的臂上，进而影响密封板的阻断效果，降低了阀门的密封性。

技术实现思路

1、本发明的主要目的是提出一种真空隔离阀，旨在解决现有的真空隔离阀在使用过程中容易导致异物进入的问题。

2、为实现上述目的，本发明提出一种真空隔离阀，所述真空隔离阀包括：

3、壳体，所述壳体沿竖向开设有通孔，所述壳体内形成有容纳腔；

4、密封结构，所述密封结构包括密封板和驱动组件，所述密封板可移动地设置于所述容纳腔内，所述驱动组件用于驱动所述密封板相对所述壳体移动，以使所述密封板将所述通孔打开或盖设；

5、阀体，所述阀体位于所述壳体的上方并对应所述通孔设置，所述阀体具有连通所述通孔的阀腔，所述阀腔与外部气源连通，所述阀腔内设置有第一活塞，所述第一活塞用于在所述通孔打开的状态下相对所述阀体下降，以伸入所述通孔并将所述容纳腔和所述通孔隔离，或相对所述阀体上升以脱出所述通孔并使所述通孔和所述容纳腔连通；所述第一活塞用于在所述密封板将所述通孔盖设时相对阀体下降并与所述密封板相配合将所述通孔封堵。

6、可选地，所述真空隔离阀还包括法兰组件，所述法兰组件包括法兰盘，所述法兰盘位于所述阀体和所述壳体之间并连通所述容纳腔和所述阀腔，所述第一活塞的顶部向外凸出形成凸缘，所述凸缘位于所述阀腔内，所述第一活塞的底部伸入至所述法兰盘内。

7、可选地，所述法兰组件还包括第一法兰和第二法兰，所述第一法兰连接于所述阀体上方，所述第二法兰连接于所述壳体下方，所述第二法兰用于在所述第一活塞将所述容纳腔和所述通孔隔离的状态下与所述第一活塞的底部抵接。

8、可选地，所述法兰盘的外壁沿其周向间隔开设有第一进气口和第二进气口，所述法兰盘的顶部形成有连通所述阀腔的第一出气口，所述法兰盘内形成连通所述第一进气口和所述第一出气口的下气道；所述第一法兰的底部形成连通所述阀腔的第二出气口，所述第二进气口和所述第二出气口连通并形成上气道，所述上气道穿过所述法兰盘、所述阀体和所述第一法兰。

9、可选地，所述阀腔内设置有弹性件，所述弹性件的顶端和底端分别与所述凸缘和所述法兰盘抵接。

10、可选地，所述弹性件为弹簧，所述法兰盘的顶部开设有第一凹槽，所述凸缘的底部开设有第二凹槽，所述第一凹槽与所述第二凹槽对应设置，所述弹性件的顶端和底端分别伸入所述第一凹槽和所述第二凹槽内。

11、可选地，所述第一凹槽的数量为多个，多个所述第一凹槽沿所述法兰盘的周向间隔设置，所述弹性件的数量、所述第二凹槽的数量均与所述第一凹槽的数量一致且一一对应设置，所述弹性件的顶端和底端分别伸入对应的所述第一凹槽和所述第二凹槽内。

12、可选地，所述驱动组件包括缸体、输出轴、端盖、波纹管和第二活塞，所述缸体内形成容纳空间，所述缸体的一端开设有连通所述容纳空间的开口，所述端盖盖设于所述开口，所述第二活塞位于所述容纳空间内，所述输出轴的一端连接所述第二活塞，所述输出轴的另一端穿过所述端盖并伸入所述容纳腔与所述密封板连接，所述波纹管套设于所述输出轴的外壁，所述缸体的外壁开设有连通所述容纳空间的第三进气口，所述第二活塞用于在外部气源的驱动下向靠近所述端盖的方向移动以使所述输出轴推动所述密封板将通孔盖设，或向远离所述端盖的方向移动以使所述输出轴拉动所述密封板将通孔打开。

13、可选地，所述容纳腔内设置有推拉块和连杆组件，所述推拉块和所述连杆组件均位于所述输出轴与所述密封板之间，所述连杆组件连接所述推拉块和所述密封板，所述推拉块连接所述输出轴，所述输出轴用于推拉所述推拉块以通过所述推拉块推拉所述连杆组件以带动所述密封板移动。

14、可选地，所述密封板沿其周向间隔连接有多个滚轮，各所述滚轮均可滚动地与所述容纳腔的内壁抵接，和/或，所述密封板底部间隔设置有多个防护块，所述防护块用于与所述容纳腔的底壁抵接。

15、本发明的真空隔离阀包括壳体、密封结构和阀体组成，阀体沿竖向贯通形成阀腔，阀体设置于壳体上方，使得阀腔连通通孔，容纳腔内设置有密封板，密封板用于在驱动组件的驱动下在容纳腔内移动，阀腔内设置有第一活塞，第一活塞在外部气源的驱动下能够相对阀体上升或下降，阀体处于打开状态，外部气源能够驱动第一活塞相对阀体下降，第一活塞伸入至通孔内并将通孔和容纳腔隔离，使得阀体在连通或阻断的状态下，能够大幅减少工艺生产物进入容纳腔内，并且还能防止异物吸附在密封板上，进而增加本发明中真空隔离阀的使用寿命，且能够减少维修次数与维修费用。

技术特征：

1.一种真空隔离阀，其特征在于，所述真空隔离阀包括：

2.如权利要求1所述的真空隔离阀，其特征在于，所述真空隔离阀还包括法兰组件，所述法兰组件包括法兰盘，所述法兰盘位于所述阀体和所述壳体之间并连通所述容纳腔和所述阀腔，所述第一活塞的顶部向外凸出形成凸缘，所述凸缘位于所述阀腔内，所述第一活塞的底部伸入至所述法兰盘内。

3.如权利要求2所述的真空隔离阀，其特征在于，所述法兰组件还包括第一法兰和第二法兰，所述第一法兰连接于所述阀体上方，所述第二法兰连接于所述壳体下方，所述第二法兰用于在所述第一活塞将所述容纳腔和所述通孔隔离的状态下与所述第一活塞的底部抵接。

4.如权利要求3所述的真空隔离阀，其特征在于，所述法兰盘的外壁沿其周向间隔开设有第一进气口和第二进气口，所述法兰盘的顶部形成有连通所述阀腔的第一出气口，所述法兰盘内形成连通所述第一进气口和所述第一出气口的下气道；所述第一法兰的底部形成连通所述阀腔的第二出气口，所述第二进气口和所述第二出气口连通并形成上气道，所述上气道穿过所述法兰盘、所述阀体和所述第一法兰。

5.如权利要求4所述的真空隔离阀，其特征在于，所述阀腔内设置有弹性件，所述弹性件的顶端和底端分别与所述凸缘和所述法兰盘抵接。

6.如权利要求5所述的真空隔离阀，其特征在于，所述弹性件为弹簧，所述法兰盘的顶部开设有第一凹槽，所述凸缘的底部开设有第二凹槽，所述第一凹槽与所述第二凹槽对应设置，所述弹性件的顶端和底端分别伸入所述第一凹槽和所述第二凹槽内。

7.如权利要求6所述的真空隔离阀，其特征在于，所述第一凹槽的数量为多个，多个所述第一凹槽沿所述法兰盘的周向间隔设置，所述弹性件的数量、所述第二凹槽的数量均与所述第一凹槽的数量一致且一一对应设置，所述弹性件的顶端和底端分别伸入对应的所述第一凹槽和所述第二凹槽内。

8.如权利要求1～7中任一项所述的真空隔离阀，其特征在于，所述驱动组件包括缸体、输出轴、端盖、波纹管和第二活塞，所述缸体内形成容纳空间，所述缸体的一端开设有连通所述容纳空间的开口，所述端盖盖设于所述开口，所述第二活塞位于所述容纳空间内，所述输出轴的一端连接所述第二活塞，所述输出轴的另一端穿过所述端盖并伸入所述容纳腔与所述密封板连接，所述波纹管套设于所述输出轴的外壁，所述缸体的外壁开设有连通所述容纳空间的第三进气口，所述第二活塞用于在外部气源的驱动下向靠近所述端盖的方向移动以使所述输出轴推动所述密封板将通孔盖设，或向远离所述端盖的方向移动以使所述输出轴拉动所述密封板将通孔打开。

9.如权利要求8所述的真空隔离阀，其特征在于，所述容纳腔内设置有推拉块和连杆组件，所述推拉块和所述连杆组件均位于所述输出轴与所述密封板之间，所述连杆组件连接所述推拉块和所述密封板，所述推拉块连接所述输出轴，所述输出轴用于推拉所述推拉块以通过所述推拉块推拉所述连杆组件以带动所述密封板移动。

10.如权利要求1～7中任一项所述的真空隔离阀，其特征在于，所述密封板沿其周向间隔连接有多个滚轮，各所述滚轮均可滚动地与所述容纳腔的内壁抵接，和/或，所述密封板底部间隔设置有多个防护块，所述防护块用于与所述容纳腔的底壁抵接。

技术总结
本发明公开一种真空隔离阀，真空隔离阀包括壳体、密封结构和阀体，壳体沿竖向开设有通孔，壳体内形成有容纳腔；密封结构包括密封板和驱动组件，密封板可移动地设置于容纳腔内，驱动组件用于驱动密封板相对壳体移动，以使密封板将通孔打开或盖设；阀体位于壳体的上方并对应通孔设置，阀体具有连通通孔的阀腔，阀腔内设置有第一活塞，第一活塞用于在通孔打开的状态下相对阀体下降，以伸入通孔并将容纳腔和通孔隔离，或相对阀体上升以脱出通孔并使通孔和容纳腔连通<subgt;；</subgt;第一活塞用于在密封板将通孔盖设时相对阀体下降并与密封板相配合将通孔封堵。本发明的真空隔离阀在使用过程中能够避免异物进入壳体内，进而增加了真空隔离阀的密封性能。

技术研发人员：柳光渊,罗嘉盛,姜爱华
受保护的技术使用者：深圳亿博尔电子科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/2/8