一种真空传输装置及其加工方法与流程

本发明涉及半导体真空设备，尤其是涉及一种真空传输装置及其加工方法。

背景技术：

1、近几年随着国内半导体行业的快速发展，半导体装备市场需求也在不断增加，需要强化半导体装备的技术创新。半导体真空传输腔体和反应腔作为半导体装备的核心部件，其结构复杂，各腔体工作环境为相对独立真空环境。

2、现有技术中传输腔与反应腔连接处增加阀体安装座，门阀安装在阀体安装座上，用于真空隔断各腔室，由于增加阀体安装座，连接处增加提高了半导体真空设备的泄漏概率；由于增加阀体安装座，设备的体积也随之增大，从而导致真空机械手臂传输的距离加长，传输精度下降。

3、例如，中国专利公开号cn219195135u，公开日2023年06月16日，名为“一种半导体工艺设备”，包括传输腔室，设置于传输腔室的一侧且用于进行半导体工艺的第一工序的第一腔室，以及设置于传输腔室的另一侧且用于在进行完第一工序后进行第二工序的第二腔室，传输腔室与第一腔室之间设置有第一隔离门阀，传输腔室与第二腔室之间设置有第二隔离门阀。

4、现有专利存在的缺点是：现有技术中传输腔与反应腔之间设有阀体安装座，增加连接节点使得设备的泄露概率增大，增加阀体安装座使得设备体积增大，造成真空机械手臂传输的距离加长，传输精度下降。

技术实现思路

1、本发明的目的是为了解决现有技术中传输腔与反应腔之间的阀体安装座增加连接节点使得设备的泄露概率增大，使得设备体积增大，造成真空机械手臂传输的距离加长，传输精度下降的问题，提供一种降低设备泄露概率、减少真空机械手臂传输距离并提高传输精度的真空传输装置及其加工方法。

2、为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

3、一种真空传输装置，包括传输阀座，所述传输阀座内设有传输腔，所述传输阀座的侧壁上设有与反应腔贯通的阀口，所述阀口贯通所述传输腔，所述传输阀座上设有门阀座，所述门阀座上设有门阀装置，门阀装置包括门阀板和驱动所述门阀板开闭阀口的驱动机构，所述门阀板位于阀口内侧。本方案所述的一种真空传输装置，用于半导体真空设备，将门阀装置设置在传输阀座上，传输装置通过阀口直接与反应腔连接，门阀板实现阀口的开闭，缩短了传输腔内真空机械手臂的传输距离，提高了传输精度。由于反应腔内有腐蚀性气体，在工艺加工过程中，腐蚀性气体对现有技术中的阀体安装座具有腐蚀作用，反应的产物堆积在阀体安装座内造成阀体安装座的侵蚀，阀体安装座更换时需要与传输腔和反应腔均卸载，维修成本较高。本方案通过门阀板开闭阀口，解决了长期加工环境中腐蚀气体对阀体安装座侵蚀提高更换成本的问题，不存在反应物堆积在阀体安装座内的问题。

4、作为优选，所述阀口的内端设有与门阀板配合的密封面。所述阀口的内端在加工时拉出密封面标准纹路，提高阀口与门阀板之间的密封效果。

5、作为优选，所述门阀座包括设置在所述传输阀座上的安装槽，所述安装槽的槽底设有运行通道，所述运行通道贯通所述传输腔，所述驱动机构设置在所述安装槽内，所述门阀板伸入运行通道内。所述安装槽便于安装驱动机构，所述驱动机构的下端固定设置在所述安装槽内，所述驱动机构包括驱动轴，所述门阀板与所述驱动轴连接，所述驱动机构驱动门阀板上升或下降，实现阀口的开闭。

6、作为优选，所述安装槽的槽底设有第一密封槽，所述第一密封槽内设有第一密封条，所述驱动机构将第一密封条压紧在第一密封槽内。所述第一密封条用于提高门阀装置与传输阀座连接处的密封效果，提高传输腔的真空度。

7、作为优选，所述门阀板上与密封面配合的一侧面上设有第二密封槽，所述第二密封槽内设有第二密封条。所述第二密封条用于提高门阀板与阀口之间的密封效果。

8、作为优选，所述阀口内嵌设有插件，所述插件上设有贯通反应腔和传输腔的传输通道，所述插件的外壁与阀口的内壁配合，所述插件的外端设有与反应腔配合的第三密封条。由于反应腔内有腐蚀性气体，在工艺加工过程中，腐蚀性气体对阀口具有腐蚀作用，造成阀口处腐蚀的问题，长期使用后降低传输腔和反应腔的连接处的密封效果。所述插件插设在所述阀口处，定时更换插件使得阀口处的密封效果保持良好，插件可以从传输腔内取出，不需要断开传输腔和反应腔的连接，更换成本低且安装拆卸便捷。

9、作为优选，所述插件的内端设有与所述门阀板配合的密封面。当门阀板闭合阀口时，所述门阀板上的第二密封条与密封面密封配合。设置在插件上的密封面比设置在传输腔的内侧壁上的密封面加工更方便、更精准。

10、作为优选，所述阀口的内侧设有限位槽，所述插件的内端外壁上设有限位轴肩，所述限位轴肩与限位槽配合，所述插件的内端与传输腔上设有阀口的一侧壁齐平。所述限位槽用于限位插件的安装位置。

11、作为优选，所述插件的内端下部设有限位部件，所述限位部件限位门阀板，所述门阀板与限位部件之间设有第四密封条。所述限位部件一方面方便插件的拆卸，另一方面用于限位门阀板的移动距离，所述限位部件与门阀板配合面提高阀口处的密封效果。

12、一种真空传输装置的加工方法，用于上述任意一项所述的一种真空传输装置，其特征在于，依次包括如下步骤：

13、步骤一：传输腔腔面半精加工时，用立铣刀将安装槽和运行通道铣加工后留1mm余量；

14、步骤二：传输腔腔面半精加工后，用侧铣头将传输腔内腔铣出运行门阀板的运行通道并留1mm余量；

15、步骤三：传输腔腔面精加工时，使用立铣刀将运行通道和密封面精加工至粗糙度ra0.4以内；

16、步骤四：传输腔腔面及底面精加工后，使用侧铣头将传输腔内腔铣至运行通道并保证粗糙度ra0.8以内；

17、步骤五：全加工精加工结束后，将阀口的密封面拉出密封面标准纹路。

18、因此，本发明具有如下有益效果：将门阀装置设置在传输阀座上，传输装置通过阀口直接与反应腔连接，门阀板实现阀口的开闭，缩短了传输腔内真空机械手臂的传输距离，提高了传输精度，提高了传输阀座的功能集成化。

技术特征：

1.一种真空传输装置，包括传输阀座，所述传输阀座内设有传输腔，其特征在于，所述传输阀座的侧壁上设有与反应腔贯通的阀口，所述阀口贯通所述传输腔，所述传输阀座上设有门阀座，所述门阀座上设有门阀装置，门阀装置包括门阀板和驱动所述门阀板开闭阀口的驱动机构，所述门阀板位于阀口内侧。

2.根据权利要求1所述的一种真空传输装置，其特征是，所述阀口的内端设有与门阀板配合的密封面。

3.根据权利要求2所述的一种真空传输装置，其特征是，所述门阀座包括设置在所述传输阀座上的安装槽，所述安装槽的槽底设有运行通道，所述运行通道贯通所述传输腔，所述驱动机构设置在所述安装槽内，所述门阀板伸入运行通道内。

4.根据权利要求3所述的一种真空传输装置，其特征是，所述安装槽的槽底设有第一密封槽，所述第一密封槽内设有第一密封条，所述驱动机构将第一密封条压紧在第一密封槽内。

5.根据权利要求2所述的一种真空传输装置，其特征是，所述门阀板上与密封面配合的一侧面上设有第二密封槽，所述第二密封槽内设有第二密封条。

6.根据权利要求1或2或3或4或5所述的一种真空传输装置，其特征是，所述阀口内嵌设有插件，所述插件上设有贯通反应腔和传输腔的传输通道，所述插件的外壁与阀口的内壁配合，所述插件的外端设有与反应腔配合的第三密封条。

7.根据权利要求6所述的一种真空传输装置，其特征是，所述插件的内端设有与所述门阀板配合的密封面。

8.根据权利要求7所述的一种真空传输装置，其特征是，所述阀口的内侧设有限位槽，所述插件的内端外壁上设有限位轴肩，所述限位轴肩与限位槽配合，所述插件的内端与传输腔上设有阀口的一侧壁齐平。

9.根据权利要求8所述的一种真空传输装置，其特征是，所述插件的内端下部设有限位部件，所述限位部件限位门阀板，所述门阀板与限位部件之间设有第四密封条。

10.一种真空传输装置的加工方法，用于加工权利要求3至5中任意一项所述的一种真空传输装置，其特征在于，依次包括如下步骤：

技术总结
本发明公开了一种真空传输装置及其加工方法，包括传输阀座，所述传输阀座内设有传输腔，所述传输阀座的侧壁上设有与反应腔贯通的阀口，所述阀口贯通所述传输腔，所述传输阀座上设有门阀座，所述门阀座上设有门阀装置，门阀装置包括门阀板和驱动所述门阀板开闭阀口的驱动机构，所述门阀板位于阀口内侧。本方案将门阀装置设置在传输阀座上，传输装置通过阀口直接与反应腔连接，门阀板实现阀口的开闭，缩短了传输腔内真空机械手臂的传输距离，提高了传输精度，提高了传输阀座的功能集成化。

技术研发人员：郑胜华,祝伟生,邓礼广,廖子剑,留轲
受保护的技术使用者：浙江先导精密机械有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/2/21