专利名称：用于惰性气体的阀系统的制作方法
技术领域：
本发明有关于一种用于惰性气体的阀系统，可使用于一般需要供给惰性气体的处理系统。
背景技术：
已知技术中的用于惰性气体的阀系统，如图1所示，包含微量阀102、两个高纯度气体绝缘阀104、两个惰性气体钢瓶106、两个衔接器108、两个高压排气阀110、两个高压绝缘阀112、两个调节器114、真空产生器116、排气孔118、两个低压排气阀120、两个低压绝缘阀122、两个手动阀124、两个供气开关126、惰性气体出口128。
一般而言，惰性气体的供给必需源源不绝，因此需要有左右两个供气系统，当由左侧系统供给惰性气体时，右侧系统为备用，反之亦然。当左侧系统惰性气体钢瓶的惰性气体用完时，则关闭左侧的供气开关，同时打开右侧的供气开关，如此可保持惰性气体的供给不会中断，此时可进行左侧惰性气体钢瓶的更换。同理，当右侧系统惰性气体钢瓶的惰性气体用完时，则关闭右侧的供气开关，同时打开左侧的供气开关，如此可保持惰性气体的供给不会中断，此时可进行右侧惰性气体钢瓶的更换。惰性气体钢瓶106系藉由衔接器108而连接系统的管路。当欲更换惰性气体钢瓶106时，高纯度的气体例如高纯度的氮气可经由微量阀102及高纯度气体绝缘阀104流入系统中做为吹扫作用，藉以避免当更换惰性气体钢瓶106时外部空气与水气进入系统。当惰性气体钢瓶106更换后，可同时关闭高纯度气体绝缘阀104且打开高压排气阀110，并藉由真空产生器116，将系统中的气体抽出系统的外而经由排气孔118排出。待系统抽成真空后，可关闭高压排气阀110及高纯度气体绝缘阀104，以进行惰性气体钢瓶106的正常供气。
当惰性气体钢瓶106正常供气时，惰性气体经由高压绝缘阀112流至调节器114，此时惰性气体为高压状态。经由调节器114，高压的惰性气体可调节为低压的惰性气体。正常供气时，低压绝缘阀122是打开的而低压排气阀120是关闭的。低压的惰性气体经由低压绝缘阀122流至手动阀124，然后再经由供气开关126流至惰性气体出口128而达成惰性气体的正常供气。手动阀124的作用在于预防供气开关126的故障。如果供气开关126故障，可关闭手动阀124而阻止惰性气体排出。左右两个供气开关126是用于控制系统由左侧或右侧来供给惰性气体。
已知用于惰性气体的阀系统的缺点在于所需零件太多，会造成制造成本过高及维护困难，同时亦会造成操做上的程序较多且难度较高。为了时间及金钱的考虑，有必要针对如何降低制造成本及维护成本，同时简化操作上的程序来加以设计。
发明内容
本发明即是为了解决已知用于惰性气体的阀系统的缺点，提供一种用于惰性气体的阀系统，可有效减少不必要的零件而降低制造成本及维护成本，同时由于使用零件的减少，可降低操作上的困难度及节省操作时间。
依据本发明的一个观点，提供一种用于惰性气体的阀系统，包含微量阀202、两个高纯度气体绝缘阀204、两个惰性气体钢瓶206、两个衔接器208、两个高压排气阀210、两个高压绝缘阀212、两个调节器214、真空产生器216、排气孔218、两个测试阀230、两个手动阀224、两个供气开关226、惰性气体出口228，其特征在于测试阀可用于排出低压的惰性气体或用于连接一检测器来测量惰性气体是否不当漏出。
依据本发明的另一个观点，提供一种用于惰性气体的阀系统，其中测试阀是一个三向阀，第一方向及第二方向做为正常供气之用，第三方向做为排气之用或做为检测惰性气体管路是否不当漏出。
依据本发明的实施例的用于惰性气体的阀系统，其优点在于以单一的测试阀来取代已知的低压排气阀及低压绝缘阀，不仅可以达到整个阀系统的零件数目降低，亦可减少操作上的复杂困难度。由于零件的精简可以进而降低制造成本及维护成本。此外，测试阀可以与一检测器连接而测量惰性气体在管路中是否不当漏出的情形发生。
图1是已知用于惰性气体的阀系统的方块图。
图2是依据本发明实施例的用于惰性气体的阀系统的方块图。
具体实施例方式
以下参见图2，进一步详细叙述本发明的用于惰性气体的阀系统的细部构造及功能。
首先，如图2所示，本发明的用于惰性气体的阀系统，包含微量阀202、两个高纯度气体绝缘阀204、两个惰性气体钢瓶206、两个衔接器208、两个高压排气阀210、两个高压绝缘阀212、两个调节器214、真空产生器216、排气孔218、两个测试阀230、两个手动阀224、两个供气开关226、惰性气体出口228。
如同一般已知用于惰性气体的阀系统，本发明的设计同样分为左右两个供气系统。当由左侧系统供给惰性气体时，右侧系统为备用。左侧系统与右侧系统的供气选择是由左右供气开关226来控制。当欲由左侧系统供给惰性气体时，则打开左侧供气开关同时关闭右侧供气开关，反之亦然。
左侧系统与右侧系统各具有一组高纯度气体绝缘阀204、惰性气体钢瓶206、衔接器208、高压排气阀210、高压绝缘阀212、调节器214、测试阀230、手动阀224、供气开关226。
整个用于惰性气体的阀系统在右侧具有一真空产生器216并设有一排气孔218，其功能将叙述于后。整个用于惰性气体的阀系统在左侧具有一微量阀202，高纯度氮气(PN2)可经由微量阀202供给至系统。微量阀的设计系允许微量的高纯度氮气(PN2)少量流过微量阀。然后高纯度氮气(PN2)再经由高纯度气体绝缘阀204来控制是否流入系统中。当欲更换惰性气体钢瓶206时，为防止外部水气或空气经由衔接器208进入系统中，此时可打开高纯度气体绝缘阀204并关闭高压排气阀210及高压绝缘阀212，以使高纯度氮气(PN2)流入系统的管路中作为吹扫管路之用，可防止外部水气或空气经由衔接器208进入系统中。
当完成惰性气体钢瓶206的更换后，可关闭高纯度气体绝缘阀204及高压绝缘阀212并打开高压排气阀210，然后由真空产生器216将管路抽成真空而排出气体至排气孔218。完成管路的真空处理后，此时可关闭高纯度气体绝缘阀204及高压排气阀210并打开高压绝缘阀212，于是惰性气体钢瓶206中的惰性气体可经由高压绝缘阀212流出。此时惰性气体处于高压状态。
随后，高压的惰性气体可藉由调节器214调整为低压的惰性气体。接着，低压的惰性气体可藉由本发明独特设计的测试阀230来控制是否排出系统，或流经手动阀224、供气开关226而至惰性气体出口228。
测试阀230可以是一种三向阀，第一方向及第二方向做为正常供气之用，第三方向做为排气之用或做为检测惰性气体管路是否不当漏出。
低压的惰性气体流经测试阀230而送至手动阀224，然后再经由供气开关226而送至惰性气体出口228。手动阀224的作用在于如果系统的供气无法正常关闭时，可藉由手动阀224来紧急手动地关闭系统的供气。供气开关226的作用，如同前述，在于可控制整个用于惰性气体的阀系统是由左侧或右侧来供给惰性气体。
依据本发明的实施例的用于惰性气体的阀系统，其优点在于简化系统设计和操作。此外，测试阀亦可视需要而外接一检测器连接，而测量惰性气体在管路中是否有不当漏出的情形发生。不仅整个阀系统的零件数目降低，亦可减少在操作上的复杂困难度。由于零件的精简可以进而降低制造成本及维护成本。同时测试阀可与一检测器连接而精确地测量惰性气体的品质流量是否正常。除了测漏的效果外，测试阀亦具有可排出惰性气体的功能，不用藉由真空产生器216来排气，亦可省去已知系统中必须打开或关闭低压排气阀与低压绝缘阀的烦复的操作程序。可以降低在操作上的复杂困难度。
虽然在以上的叙述中已说明了本发明的特定实施例，须注意以上叙述只是用于帮助了解本发明的实施，并非用于限定本发明的精神。熟悉本技术领域者可在本案说明书的揭示下，在不脱离本发明的精神范围内，做成许多不同的修改。因此，本发明的范围是由以下所附的申请专利范围来界定。
权利要求
1.一种用于惰性气体的阀系统，包含一微量阀，允许高纯度气体可微量通过；两个高纯度气体绝缘阀，可控制高纯度气体的流入；两个惰性气体钢瓶，用于供给惰性气体；两个衔接器，用于衔接该惰性气体钢瓶至系统；两个高压排气阀，可控制气体的流入或排出；两个高压绝缘阀，可控制气体的流入；两个调节器，可将高压的惰性气体调整为低压的惰性气体；一真空产生器，可用于将系统中的管路抽成真空；一排气孔，用于排出系统中的不必要的气体；两个测试阀，用于排出惰性气体或控制惰性气体的流量；两个手动阀，用于紧急手动地关闭供气系统；两个供气开关，可控制整个用于惰性气体的阀系统是由左侧或右侧来供气；及一惰性气体出口，其特征在于该测试阀可用于排出低压的惰性气体或用于连接一检测器来测量惰性气体是否不当漏出。
2.如权利要求1所述的用于惰性气体的阀系统，其特征在于，该测试阀是一个三向阀，可以是一种三向阀，第一方向及第二方向做为正常供气之用，第三方向做为排气之用或做为检测惰性气体管路是否不当漏出。
全文摘要
一种用于惰性气体的阀系统，包含微量阀、两个高纯度气体绝缘阀、两个惰性气体钢瓶、两个衔接器、两个高压排气阀、两个高压绝缘阀、两个调节器、真空产生器、排气孔、两个测试阀、两个手动阀、两个供气开关、惰性气体出口，其特征在于测试阀可用于排出低压的惰性气体或用于连接一检测器来测量惰性气体是否不当漏出。本发明的优点在于以单一的测试阀来取代已知的低压排气阀及低压绝缘阀，不仅可以达到整个阀系统的零件数目降低，亦可减少操作上的困难度及操作时间。由于零件的精简可以进而降低制造成本及维护成本。此外，测试阀可以与一检测器连接而测量惰性气体在管路中是否不当漏出的情形发生。
文档编号F17D3/01GK1752509SQ20041006650
公开日2006年3月29日 申请日期2004年9月20日 优先权日2004年9月20日
发明者陈伟贤 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司