专利名称：气瓶连接装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及气瓶连接装置。
背景技术：
半导体生产工艺涉及氯气、磷烷等四十余种高纯气体，且很多气体有毒， 随着半导体生产规模增大，气体用量也随之增加，于是如何安全及时的将气体
供应给生产部门成为业界关注的重点。业界通常采用的现有供应方案为将装 有相同气体的两个气瓶置于同一个气瓶拒，各气瓶连接至供气管路；当一个气 瓶供气时，另一个气瓶作为备用气瓶，在用完供应气瓶内的气体后，气瓶拒自 动切换，由备用气瓶供气，然后操作人员用装满气体的气瓶更换用空的气瓶， 实现向生产部门的持续供气。
图1为气瓶与供气管路的连接结构示意图，图中标号1为联接锁母，标号2 代表供气管^l姿头，标号3代表气瓶阀门接头，联接锁母1与气瓶阀门接头3 通过螺紋(螺紋如图中虚线所示)耦合，使得气瓶阀门接头3与供气管路接头2 紧密连接，从通道4供气。
图2为气瓶连接装置的结构示意图，该装置包括联接锁母1及供气管皿 头2，可以看出，该气瓶连接装置缺乏导向装置，例如在A和B处均未设置有 利于联接锁母1与气瓶阀门接头3对正耦合的辅助定位结构，故更换气瓶将联 接锁母1与气瓶阀门接头3耦合时，只能靠操作人员经验与手感将两者的螺紋 对正，使得对正耦合的效率及准确率降低，将产生如下问题
1,耗费更换时间；
2，可能损坏螺紋，导致昂贵的气瓶报废，造成重大损失； 3，在未对正耦合的情况下供气，可能造成气体泄漏，导致财产损失甚至生 命伤害的安全事故。
实用新型内容
本实用新型提供气瓶连接装置，以降低气瓶更换时间，提高气瓶连接质量 及准确率，避免财产生命损失的风险。
本实用新型提出了气瓶连接装置，包括供气管路接头和联接锁母，所述联 接锁母包括第 一 内孔及第二内孔，其中第一内孔由第 一子孔和位于第 一子孔与
第二内孔之间的第二子孔组成；以及第二子孔表面设置有耦合结构；第一子孔 的孔径比第二子孔孔径大，两者差值处于第一预定范围。
进一步的，第二内孔的孔径比供气管路接头的对应外径大，两者差值处于 第二预定范围。
进一步的，所述供气管路接头包括定位子接头，所述供气管落接头的对应 外径为该定位子接头的外径。
进一步的，所述耦合结构是螺紋结构。 进一步的，所述第一预定范围为0.9-1.1毫米； 进一步的，所述第二预定范围为0.9 1.1毫米。
本实用新型通过在联接锁母上设置第 一子孔作为导向结构，使得搡作人员 在将联接锁母与气瓶阀门接头耦合时，能通过将第一子孔套于气瓶阀门接头， 轻易将联接锁母的第二子孔与气瓶阀门接头对正进行耦合，提高了对正的效率 及准确率，从而降低了气瓶更换时间，提高了气瓶连接质量及准确率，避免财 产生命损失的风险。
本实用新型还可以设置联接锁母的第二内孔比供气管路接头的对应外径 大，且差值处于第二预定范围，则能够在耦合过程中通过将联接锁母套于该供 气管路接头，基于所述对应外径与第二内孔的作用定位联接锁母，进一步使联 接锁母容易与气瓶阀门接头对正。
图1为气瓶与供气管路的连接结构示意图； 图2为气瓶连接装置的结构示意图3 5分别为本实施例提出的气瓶连接装置连接过程中的结构示意图。
具体实施方式
针对背景技术提及的问题，本实用新型实施例提出可以在联接锁母1上设
置辅助定位结构，以使联接锁母1与气瓶阀门接头3容易对正耦合，进而避免 上述问题。
图3~5分别为本实施例提出的气瓶连接装置连接过程中的结构示意图，图 中标号IO为联接锁母，20代表气瓶阀门接头，30代表供气管,头，联接锁 母IO设置有第一内孔及第二内孔，供气管i^4妾头30设置有定位子接头31。
第一内孔由第一子孔12及第二子孔13组成；第二子孔13表面设置有螺紋 结构ll作为耦合结构，以与气瓶阀门接头20外表面螺紋耦合；第一子孔12的 孔径比第二子孔13的孔径大，两者差值处于第一预定范围，以便于套于气瓶阀 门接头20,辅助对正第二子孔13的螺紋结构11与气瓶阀门接头20的外表面螺 紋。
第二内孔处于图中定位子接头31与联接锁母IO接触的位置，第二内孔的 孔径比定位子接头31外径大，两者差值处于第二预定范围，则将^U妄锁母10 通过第二内孔套于定位子接头31时，可以对联接锁母10定位，使其与气瓶阀 门接头对正。
上述第一预定范围和第二预定范围通常为1毫米左右，例如0.9-1.1毫米，
实施时根据实际情况可以自主确定。
下面结合安装过程来进一 步阐述本实用新型提出的气瓶连接装置的结构。 首先将供气管路接头30插入气瓶阀门接头20的对应位置，将联接锁母10
从供气管路接头30左侧套入，则第二内孔与定位子接头31接触，将联接锁母
进行第一次径向定位，如图3所示。
然后将联接锁母IO右移，移至第一子孔套于气瓶阀门接头20 (图4中气瓶
阀门接头20遮挡住第一子孔，故未标识)时，可使第二子孔13表面的螺紋结
构11与气瓶阀门接头20的外表面螺紋对齐，于是第一子孔作为定位结构，实
现第二次定位，如图4所示。
最后将联接锁母10与气瓶阀门接头20通过螺紋耦合连接，如图5所示。 上述实施例中有两次定位，实际上第一次定位是可选的，例如即使第二内孔的孔径比供气管膝接头对应外径大，其差值处于第二预定范围外，无法进行 第一次定位，但仅依靠第二次定位，与现有技术相比也有较强的定位，使得联
接锁母1与气瓶阀门接头20容易对正耦合。此外供气管路接头30的定位子接 头31也是可选的，因为定位子接头31是实现第一次定位的一种实施方式，第 一次定位可选，则定位子接头31也就可选。
上述实施例中联接锁母10与气瓶阀门接头20是通过螺紋耦合，实际上如 果两者采用其他常见耦合结构例如卡合结构等耦合也是可行的。
本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实 用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动 和变型在内。
权利要求1、一种气瓶连接装置，包括供气管路接头和联接锁母，所述联接锁母包括第一内孔及第二内孔，其特征在于，第一内孔由第一子孔和位于第一子孔与第二内孔之间的第二子孔组成；以及第二子孔表面设置有耦合结构；第一子孔的孔径比第二子孔孔径大，两者差值处于第一预定范围。
2、 如权利要求l所述的装置，其特征在于，第二内孔的孔径比供气管5^头的对应外径大，两者差值处于第二预定范围。
3、 如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述供气管路接头包括定位子接头，所述供气管路接头的对应外径为该定位子接头的外径。
4、 如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述耦合结构是螺紋结构。
5、 如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一预定范围为0.9~1.1毫米。
6、 如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第二预定范围为0.9-1.1毫米。
专利摘要本实用新型提供气瓶连接装置，以降低气瓶更换时间，提高气瓶连接质量及准确率，避免财产生命损失的风险。该装置包括供气管路接头和联接锁母，所述联接锁母包括第一内孔及第二内孔，第一内孔由第一子孔和位于第一子孔与第二内孔之间的第二子孔组成；以及第二子孔表面设置有耦合结构；第一子孔的孔径比第二子孔孔径大，两者差值处于第一预定范围。
文档编号F17C13/00GK201297493SQ20082015522
公开日2009年8月26日 申请日期2008年11月11日 优先权日2008年11月11日
发明者王东海 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司