专利名称：安全联锁装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及安全联锁装置，特别涉及气体钢瓶的安全联锁装置。
背景技术：
气体的使用在半导体工艺生产中 一直扮演着重要的角色，其中离子注入、 薄膜沉积等皆使用到相当多的气体，气体一般可筒单的区分为大宗气体，如氮 气、氬气、氧气等使用量较大的气体，和特殊气体，如氯气，氯化氢，磷烷等 数十种有毒的工艺气体。在这些特殊气体输送和供给半导体芯片生产机台使用 的过程中需要大量的气体钢瓶。气体钢瓶所承载的气体具有毒性、腐蚀性、或 自然性等特性，而气体供应的安全性则关系到人员的生命与健康以及厂房、设 备运作的安全。
请参考图1,其为现有技术的气体钢瓶接合于生产机台的示意图。如图所
示，气体钢瓶10包括钢瓶主体11、钢瓶接口锁母12以及出气导管13，其 中，钢瓶主体11储存生产机台需要使用的气体。出气导管13通过气动阀22与 进气导管21连通，组成气体输送管路。进气导管21的另一端固定并连通于生 产机台20。气体输送管路上设置一压力传感器(未图示)，可以侦测出气体钢瓶 IO的气体压力，通过可编程序控制器(PLC)(未图示)控制气动阀22的开关。 若气体钢瓶IO处于供气状态，供给气动阀22开启，则气体可经由出气导管13 与进气导管21输送至生产机台20供其使用。若气体钢瓶10处于用空状态，供 给气动阀22自动关闭。
因为气体是半导体工艺生产中的耗材，所以使用一段时间后需要更换气体钢 瓶，其程序包括拆卸用空的气体钢瓶，并安装新的气体钢瓶。在拆卸用空的气 体钢瓶时常易发生人为疏忽，如错误地将使用中的钢瓶接口拆开，则会造成供 气中断，且钢瓶内的残余气体将外泄而可能造成操作人员的伤害或火突等公共 危险。在实际生产过程中，目前仅仅依靠对操作人员思想上的宣导来预防这类危险的发生，还没有防止拆错气体钢瓶的技术装置。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种安全联锁装置，确保当气体钢瓶处在供气 状态时，不能进行拆卸气体钢瓶的动作，从而避免发生现有技术中将处于供气 状态的气体钢瓶的接口锁母打开，而导致的供气中断，以及人身伤害或火突等 重大事故的发生。
为解决上述技术问题，本实用新型提供一种安全联锁装置。该安全联锁装 置，用于气体钢瓶，所述气体钢瓶通过钢瓶接口锁母实现拆装，所述气体钢瓶
具有一供气状态和一用空状态，包括锁母防护套，与上述钢瓶接口锁母相匹 配；以及气缸，与上述锁母防护套连接；其中，当气体钢瓶处在供气状态时， 上述气缸推动上述锁母防护套移动，套在钢瓶接口锁母上，当钢瓶处在用空状 态时，上述气缸带动上述锁母防护套退回原位，脱离钢瓶接口锁母。
可选的，上述气缸包括气缸套；活塞，设置于上述气缸套内并可沿气缸 套内壁滑动；活塞杆，其一端连接于上述活塞，另一端连接于上述锁母防护套； 前端盖和后端盖，分别位于上述气缸套的两端；以及弹簧， 一端与上述活塞连 接，另一端抵住上述前端盖。其中上述气釭还具有进气口，连接至一供给气源， 上述进气口与上述供给气源通过气源三通接头连通，上述气源三通接头与上述 进气口的连接方式是通过螺紋连接。
可选的，上述气缸还包括密封压盖，位于上述气缸套内，与上述前端盖相 连接，起密封作用。
可选的，上述安全联锁装置还包括导向杆， 一端连接于上述气缸外側， 另一端与上述锁母防护套相连接，用以引导上述锁母防护套的运动。
可选的，上述锁母防护套为"U"型，"U"形开口与钢瓶J妻口锁母大小相 匹配。
可选的，上述锁母防护套与上述导向杆的连接件为导向杆锁紧螺母，上述 活塞杆与上述锁母防护套的连接件为圆锥销^"。
综上所述，本实用新型的安全联锁装置，当气体钢瓶处于供气状态时，上 述锁母防护套在上述气缸的推动作用下套在钢瓶接口锁母上，拆卸钢瓶的专用搬子无法套在钢瓶接口锁母上，故不能进行拆卸钢瓶的动作。当钢瓶处在用空 状态时，上述气缸失去气动压力，在上述气缸的带动作用下，锁母防护套退离 钢瓶接口锁母，拆卸气体钢瓶的专用搬子就可以顺利的套在钢瓶接口锁母上， 实行对用空状态的气体钢瓶的拆卸更换的操作步骤。从而避免了将处于供气状 态的气体钢瓶的接口锁母打开，而导致供气中断，以及人身伤害或火突等重大 事故的发生。
图1为现有技术的气体钢瓶接合于生产机台的示意图2A至图2C为本实用新型一实施例所提供的安全联锁装置的三视图3A至图3B为本实用新型一实施例所提供的安全联锁装置的作动示意图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的安全联锁装置作进一步详 细说明。
请参考图2A至图2C,其为本实用新型一实施例所提供的安全联锁装置的 三^L图。其中，图2A为主i见图，图2B为俯^L图，图2C为侧^见图。如图所示， 安全联锁装置100包括锁母防护套110以及气缸120。
气缸120为单作用式气缸，由以下几部分构成，气缸套121、活塞杆122、 活塞123、前端盖124、后端盖125以及弹簧126。所述气缸套121为圆柱形， 活塞杆122设置于气缸套121内部，活塞123连接于活塞杆122的一端，前端 盖124和后端盖125分别位于气缸套121的两端，在气缸套121内还设置有弹 簧126，其一端与活塞123的端面连接，另一端抵住前端盖124。气缸120还包 括密封压盖127,与前端盖124相连接，密封压盖127通过密封压盖螺钉(未图 示)与前端盖124固接，组装时可添加适量的润滑油脂以提高密封效果。气缸 套121外侧设有联杆128,与前端盖124及后端盖125相连接，连接件为联杆紧 固螺母129。所述联杆128的数量为四个，可起到连接固定气缸120的作用。
锁母防护套110为U型，U形开口与钢瓶接口锁母12大小相匹配。气缸120 与锁母防护套110通过活塞杆122连接，连接件为圆锥销钉lll。安装以前，销钉孑L使用圓锥铰刀铰削以使得圆锥销钉111安装牢固可靠，可保证锁母防护套 110动作稳定、可靠不松动。在本实施例中，锁母防护套110的材质为钢制材料。
在本实施例中，安全联锁装置100还设有导向杆130以及气源三通接头140。 导向杆130—端连接于气缸120外侧，另一端与锁母防护套IIO相连接，连接 件为导向杆锁紧螺母131，用以引导锁母防护套110的运动方向。上述气缸320 还具有进气口 (未图示)，气源三通接头140通过螺紋与进气口相连接。导向杆 310的材质为钢制材料，气源三通接头140的材质为黄铜。
请参考图3A至图3B，其为本实用新型一实施例所提供的安全联锁装置100 的作动示意图，并请同时参考图1A。在图3A中，本实施例的安全联锁装置100 已设置在系统中，其具体结构可参见图2A至2C，气源三通接头140的一端连 接到供给气源装置40向安全联锁装置100供给气体的气动管41上，另一端通 过气动管,42连接到气动阀22上，可保证安全联锁装置IOO与气动岡22同时得 到或断开动力气源。此时，气体钢瓶10处于供气状态，压力传感器可以侦测到 气体钢瓶10内的气体，并通过可编程序控制器控制供给气源装置40供给压缩 空气，压缩空气经由气动管41、气源三通接头140流入安全联锁装置100,并 经由气动管42控制气动阀22开启。此时，压缩气体通过气源三通接头140进 入到气缸套121内，推动活塞123向前移动，活塞123压缩弹簧126，可带动活 塞杆122向前移动。锁母防护套110与活塞杆122固接，即可随活塞杆122 — 起向前移动，套在钢瓶接口锁母12上。这样拆卸气体钢瓶10的专用搬子，就 不能套在钢瓶接口锁母12上，无法进行拆卸气体钢瓶100的动作，可避免将处 于供气状态的钢瓶接口锁母12打开，而导致供气中断，以及人身伤害或火灾等 重大事故的发生。
请参见图3B，并结合图2A至2C，当气体钢瓶10达到用空状态时，压力 传感器侦测到气体钢瓶10内的气体压力低于设定值，通过可编程序控制器控制 断开供给气源装置40,气动阀22自动关闭。活塞123也同时失去气动压力，气 缸120内的弹簧126通过弹簧力复位，将活塞杆122连同锁母防护套110 —起 带回原位，脱离钢瓶接口锁母12，这样拆卸气体钢瓶10的专用搬子开口就可以 顺利的套在钢瓶接口锁母12上，此时操作人员才可以实行对用空的气体钢瓶10 的拆卸更换操作步骤。综上所述，本实用新型的安全联锁装置由锁母防护套和气缸组成，作动具
有以下特征l.气体钢瓶处于供气状态时，锁母防护套在气缸的推动作用下套在 钢瓶接口锁母上，拆卸钢瓶的专用搬子无法套在钢瓶接口锁母上，不能进行拆 卸气体钢瓶的动作。2.气体钢瓶处在用空状态时，气缸失去气动压力，带动锁 母防护套退离钢瓶接口锁母，拆卸气体钢瓶的专用搬子可以顺利的套在钢瓶接 口锁母上，实行对气体钢瓶拆卸更换的操作步骤。因此，本实用新型的安全联 锁装置可避免将处于供气状态的气体钢瓶的钢瓶接口锁母打开，而导致供气中 断，以AA身伤害或火灾等重大事故的发生。
本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实 用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动 和变型在内。
权利要求1、一种安全联锁装置，用于气体钢瓶，所述气体钢瓶通过钢瓶接口锁母实现拆装，所述气体钢瓶具有一供气状态和一用空状态，其特征在于，所述安全联锁装置包括锁母防护套，与上述钢瓶接口锁母相匹配；以及气缸，与上述锁母防护套连接；其中，当气体钢瓶处在供气状态时，上述气缸推动上述锁母防护套移动，套在钢瓶接口锁母上，当钢瓶处在用空状态时，上述气缸带动上述锁母防护套退回原位，脱离钢瓶接口锁母。
2、 如权利要求1所述的安全联锁装置，其特征在于，上述气缸包括 气缸套；活塞，设置于上述气缸套内并可沿气缸套内壁滑动；活塞杆，其一端连接于上述活塞，另一端连^t矣于上述锁母防护套；前端盖和后端盖，分别位于上述气缸套的两端；以及弹簧， 一端与上述活塞连接，另一端抵住上述前端盖。
3、 如权利要求2所述的安全联锁装置，其特征在于，其中上述气缸还具有 进气口，连接至一供给气源，上述进气口与上述供给气源通过气源三通接头连 通。
4、 如权利要求3所述的安全联锁袭置，其特征在于，上述气源三通接头与 上述进气口的连接方式是通过螺紋连接。
5、 如权利要求2所述的安全联锁装置，其特征在于，上述气缸还包括密封 压盖，位于上述气缸套内，与上述前端盖相连接，起密封作用。
6、 如权利要求1所述的安全联锁装置，其特征在于，还包括导向杆，一 端连接于上述气缸外侧，另一端与上述锁母防护套相连接，用以引导上述锁母 防护套的运动。
7、 如权利要求6所述的安全联锁装置，其特征在于，上述锁母防护套为"U，， 型，"U"形开口与钢并瓦接口锁母大小相匹配。
8、 如权利要求7所述的安全联锁装置，其特征在于，上述锁母防护套与上
9、如权利要求1所述的安全联锁装置，其特征在于，上述活塞杆与上述锁 母防护套的连接件为圆锥销钉。
专利摘要本实用新型公开了一种安全联锁装置，所述安全联锁装置用于气体钢瓶，其中上述气体钢瓶接口处设有钢瓶接口锁母。上述安全联锁装置包括锁母防护套及气缸，当上述气体钢瓶处于供气状态时，上述锁母防护套在上述气缸的推动作用下套在钢瓶接口锁母上，拆卸气体钢瓶的专用扳子无法套在钢瓶接口锁母上，故不能进行拆卸气体钢瓶的动作。当气体钢瓶处在用空状态时，上述气缸失去气动压力，带动上述锁母防护套退离上述钢瓶接口锁母，这样拆卸气体钢瓶的专用扳子就可以套在上述钢瓶接口锁母上，实行对用空钢瓶的拆卸更换的操作步骤，从而可保证安全拆卸气体钢瓶。
文档编号F17C13/00GK201297494SQ200820155230
公开日2009年8月26日 申请日期2008年11月11日 优先权日2008年11月11日
发明者王东海 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司