气体控制装置的制作方法

文档序号:11942305阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种气体控制装置,其特征在于,其包括一空气支路、一氧气支路、一氮气支路、一氢气支路、一二氧化碳支路、一备用支路、一还原气路以及一氧化气路,其中,所述空气支路、氧气支路、氮气支路、氢气支路、二氧化碳支路以及备用支路的出口,分别与所述还原气路以及氧化气路的进口连通。

2.如权利要求1所述的气体控制装置,其特征在于,所述空气支路包括一空气气瓶和一切断阀;所述氧气支路包括一氧气气瓶和一切断阀;所述氮气支路包括一氮气气瓶和一切断阀;所述氢气支路包括一氢气气瓶和一切断阀;所述二氧化碳支路包括一二氧化碳气瓶和一切断阀;所述备用气支路包括一备用气气瓶和一切断阀。

3.如权利要求2所述的气体控制装置,其特征在于,所述空气支路、氧气支路、氮气支路、氢气支路、二氧化碳支路以及备用支路均包括一气压表和一质量流量计。

4.如权利要求1-3任意一项所述的气体控制装置,其特征在于,所述氧化气路包括一第一气体混合室。

5.如权利要求1-3任意一项所述的气体控制装置,其特征在于,从所述还原气路的进口到出口,依次设置有一第二气体混合室、一气化通路和一气体加热室,其中,所述气化通路包括并联在一起的一汽化支路和一常规支路,所述气化支路包括一切断阀和一汽化装置,所述常规支路包括一切断阀。

6.如权利要求5所述的气体控制装置,其特征在于,所述汽化支路和常规支路均分别与一第七阀门和一第八阀门连通,其中,所述第七阀门与所述第二气体混合室连通,所述第八阀门与所述气体加热室连通。

7.如权利要求5所述的气体控制装置,其特征在于,所述还原气路还包括一质量流量计。

8.如权利要求6所述的气体控制装置,其特征在于,所述气体控制装置还包括一第一阀门、一第二阀门、一第三阀门、一第四阀门、一第五阀门 和一第六阀门,其中,

所述第一阀门与所述空气支路、氧气支路以及第二阀门连通;

所述第二阀门与所述第一阀门、第三阀门以及第一气体混合室连通;

所述第三阀门与所述氮气支路、第二阀门以及第六阀门连通;

所述第四阀门与所述氢气支路、二氧化碳支路以及第五阀门连通;

所述第五阀门与所述第四阀门、第六阀门以及备用气支路连通;

所述第六阀门与所述第三阀门、第五阀门以及第二气体混合室连通。

9.如权利要求8所述的气体控制装置,其特征在于,所述第二阀门和所述第三阀门之间设置有一切断阀,所述第三阀门和所述第六阀门之间设置有一切断阀。

10.如权利要求9所述的气体控制装置,其特征在于,所述第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门、第五阀门和一第六阀门均为三通阀。

11.如权利要求9所述的气体控制装置,其特征在于,所述切断阀均为球阀。

12.如权利要求1-11任意一项所述的气体控制装置,其特征在于,所述还原气路的出口设置有一湿度计。

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