本实用新型涉及气体分配领域，更具体的讲是一种载气汇流排的清洗系统。
背景技术：
汇流排是将数个气瓶分组汇合后进行减压，再通过主管道输送至使用终端的系统设备，主要用于中小型气体供应站以及其它适用场所。根据左右组气瓶切换形式的不同可分为手动切换、气动（半自动）切换和自动切换。
载气就是指钢瓶里的气体，当车间所需使用大量的载气时，就需要用汇流排连接大量的气瓶，以保证能有足够的载气供使用。但是在更换新气瓶连接至汇流排时，汇流排管道很容易混入空气等杂质，导致载气受到污染，影响载气管道洁净度和减低载气的纯度。
技术实现要素：
本实用新型提供一种载气汇流排的清洗系统，目的在于解决现有载气汇流排在更换气瓶时容易混入空气等杂质，影响载气管道洁净度和减低载气的纯净度的问题。
本实用新型采用如下技术方案：
一种载气汇流排的清洗系统，包括主管道、真空泵、排气管和复数个隔离阀，所述主管道的进气端与至少一汇流排相连接，出气端与车间设备相连接，所述主管道设有复数个分支管道，所述真空泵通过一分支管道与主管道相连接并配设有隔离阀，所述排气管通过一分支管道与主管道相连接并配设有隔离阀和从主管道通至排气管的单向阀。
进一步，还包括一供气源，所述供气源通过一分支管道与主管道相连接并配设有隔离阀。
进一步，还包括压力开关、压力表和真空表，该压力开关通过一分支管道与主管道相连接并配设有隔离阀，所述压力表通过一分支管道与主管道相连接，所述真空表通过一分支管道与主管道相连接。
进一步，还包括一控制面板，所述压力开关、压力表、真空表、单向阀以及各隔离阀均设置于该控制面板上。
进一步，还包括一备用接口，该备用接口通过一分支管道与主管道相连接并配有隔离阀。
进一步，所述真空泵还配设有一用于保护真空泵的气动隔离阀。
进一步，所述主管道和分支管道均为不锈钢材质。
由上述对本实用新型结构的描述可知，本实用新型具有如下优点：
其一、本实用新型包括主管道、真空泵、排气管和复数个隔离阀，所述主管道的进气端与至少一汇流排相连接，出气端与车间设备相连接，所述主管道设有复数个分支管道，所述真空泵通过一分支管道与主管道相连接并配设有隔离阀，所述排气管通过一分支管道与主管道相连接并配设有从主管道通至排气管的单向阀。当新气瓶连接至汇流排使空气进入主管道和各分支管道时，启动真空泵并打开其隔离阀，同时关闭其他隔离阀，对主管道和分支管道进行抽真空处理，再关闭真空泵和其隔离阀，同时打开汇流排的隔离阀以及排气管的单向阀和排气阀，让载气通入主管道和各分支管道，对残留的空气和杂质进行稀释处理，并从排气管中排出；多次重复抽真空处理和通气处理，以去除主管道和各分支管道中的杂质，保证各管道的洁净度和载气的纯净度。本实用新型可以连接多个汇流排，可以连接多种载气源，以满足多种载气同时使用的条件。该系统弥补了载气连接时，对管道进行清洗的空缺。
其二、本实用新型还包括一供气源，所述供气源通过一分支管道与主管道相连接并配设有隔离阀。清洗管道时，由供气源提供气体通入各管道，做稀释处理。这样的好处是：当供气源提供超高纯度的载气（即供气源的载气纯度大于汇流排的载气纯度）对各管道做通气处理时，可以更好的清洗各管道，保证载气的纯度。
其三、本实用新型还包括一控制面板，所述压力开关、压力表、真空表、单向阀以及各隔离阀均设置于该控制面板上。控制面板可以将各阀门和仪表集中设计在一个地方，以方便工作人员操控该清洗系统。
附图说明
图1为本实用新型的框架示意图。
具体实施方式
下面参照附图说明本实用新型的具体实施方式。
参照图1，一种载气汇流排的清洗系统，包括主管道1、真空泵7、排气管8和复数个隔离阀。其中主管道1的进气端与至少一汇流排9相连接，出气端与车间设备2相连接。主管道1设有复数个分支管道11，真空泵7通过一分支管道11与主管道1相连接并配设有隔离阀17和用于保护真空泵7的气动隔离阀71，排气管8通过一分支管道11与主管道1相连接并配设有隔离阀18和从主管道通至排气管的单向阀81。
参照图1，该清洗系统还包括一供气源5，供气源5通过一分支管道11与主管道1相连接并配设有隔离阀15。作为优选方案：该供气管5为可提供超高纯度载气的气体钢瓶。
参照图1，该清洗系统还包括压力开关3、压力表4和真空表6，该压力开关3通过一分支管道11与主管道1相连接并配设有隔离阀13，压力表4通过一分支管道11与主管道1相连接，真空表6通过一分支管道11与主管道1相连接。
参照图1，该清洗系统还包括一控制面板101，压力开关3、压力表4、真空表6、单向阀81以及各隔离阀均设置于该控制面板101上。
参照图1，该清洗系统还包括一备用接口10，该备用接口10通过一分子管道11与主管道1相连接并配有隔离阀110。该备用接口10可以用于连接汇流排，也可以用于做其他扩展连接。
参照图1，作为优选方案：主管道1和各分支管道11均为不锈钢材质。
参照图1，真空泵7还配设有一用于保护真空泵7的气动隔离阀71。
以氦气作为载气，氢气为保护气说明该系统的使用方法：
参照图1，主管体1连接有至少一提供氦气的汇流排9和至少一提供氢气的汇流排9，并且供气源5提供的气体为6N氦气。
参照图1，方法一，以汇流排9提供的氢气作为清洗气体： (a).关闭隔离阀12、隔离阀15、隔离阀17、隔离阀18、隔离阀19、隔离阀110和单向阀81，将新气体钢瓶更换连接至汇流排9，此时空气和空气内的杂质会从汇流排9进入各管道；(b).打开隔离阀19、隔离阀18以及单向阀81，将汇流排9的氢气通入各管道内，让部分空气和杂质从排气管8中排出；(c).关闭隔离阀19、隔离阀18以及单向阀81，并启动真空泵7，对主管道1和各分支管道11进行抽真空；(d).当真空表6显示真空度达到预设数值时，停止真空泵7，并关闭隔离阀17，打开隔离阀19，让汇流排9的氢气通入各管道内，稀释空气和杂质，再打开隔离阀18和单向阀81将各管道内的气体排除；(e).多次重复步骤(c)和（d），让各管道内的气体达到预设值后，关闭隔离阀18和单向阀81，并打开隔离阀12和隔离阀19对车间设备2提供汇流排9的氢气。
参照图1，方法二，以供气源5提供的6N氦气作为清洗气体：(a).关闭隔离阀12、隔离阀15、隔离阀17、隔离阀18、隔离阀19、隔离阀110和单向阀81，将新气体钢瓶更换连接至汇流排9，此时空气和空气内的杂质会从汇流排9进入各管道；(b).打开隔离阀19、隔离阀18以及单向阀81，将汇流排9的氦气通入各管道内，让部分空气和杂质从排气管8中排出；(c).关闭隔离阀19、隔离阀18以及单向阀81，并启动真空泵7，对主管道1和各分支管道11进行抽真空；（d）.当真空表6显示真空度达到预设数值时，停止真空泵7，并关闭隔离阀17，打开隔离阀15，让供气源5的6N氦气通入各管道内，稀释空气和杂质，再打开隔离阀18和单向阀81将各管道内的气体排除；(e).多次重复步骤(c)和（d），让各管道内的气体达到预设值后，关闭隔离阀18和单向阀81，并打开隔离阀12和隔离阀19对车间设备2提供汇流排9的氦气。
上述仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的设计构思并不局限于此，凡利用此构思对本实用新型进行非实质性的改动，均应属于侵犯本实用新型保护范围的行为。