技术总结
本实用新型公开了一种载气汇流排的清洗系统，涉及气体分配领域，包括主管道、真空泵、排气管和复数个隔离阀，主管道的进气端与至少一汇流排相连接，出气端与车间设备相连接，真空泵和排气管均通过一分支管道与主管道相连接并配设有隔离阀。本实用新型的有益效果：通过真空泵对主管道和分支管道进行抽真空处理，再关闭真空泵和其隔离阀，同时打开汇流排的隔离阀以及排气管的单向阀和排气阀，让载气通入主管道和各分支管道，对残留的空气和杂质进行稀释处理，并从排气管中排出；多次重复抽真空处理和通气处理，以去除主管道和各分支管道中的杂质，保证各管道的洁净度和载气的纯净度。该系统弥补了载气连接时，对管道进行清洗的空缺。
技术研发人员：陈国富;胡超群;吴春弟;林志民
受保护的技术使用者：福建博纯材料有限公司
文档号码：201621038579
技术研发日：2016.09.06
技术公布日：2017.03.01