一种载气汇流排的清洗系统的制作方法

技术特征：

1.一种载气汇流排的清洗系统，其特征在于：包括主管道、真空泵、排气管和复数个隔离阀，所述主管道的进气端与至少一汇流排相连接，出气端与车间设备相连接，所述主管道设有复数个分支管道，所述真空泵通过一分支管道与主管道相连接并配设有隔离阀，所述排气管通过一分支管道与主管道相连接并配设有隔离阀和从主管道通至排气管的单向阀。

2.根据权利要求1所述的一种载气汇流排的清洗系统，其特征在于：还包括一供气源，所述供气源通过一分支管道与主管道相连接并配设有隔离阀。

3.根据权利要求1或2所述的一种载气汇流排的清洗系统，其特征在于：还包括压力开关、压力表和真空表，该压力开关通过一分支管道与主管道相连接并配设有隔离阀，所述压力表通过一分支管道与主管道相连接，所述真空表通过一分支管道与主管道相连接。

4.根据权利要求3所述的一种载气汇流排的清洗系统，其特征在于：还包括一控制面板，所述压力开关、压力表、真空表、单向阀以及各隔离阀均设置于该控制面板上。

5.根据权利要求1所述的一种载气汇流排的清洗系统，其特征在于：还包括一备用接口，该备用接口通过一分子管道与主管道相连接并配有隔离阀。

6.根据权利要求1所述的一种载气汇流排的清洗系统，其特征在于：所述真空泵还配设有一用于保护真空泵的气动隔离阀。

7.根据权利要求1所述的一种载气汇流排的清洗系统，其特征在于：所述主管道和分支管道均为不锈钢材质。