技术特征：
技术总结
本发明涉及一种液化气体纯化装置及方法，所述装置包括液化气体储存器、冷却装置、升温装置以及气体排放系统，所述升温装置设于液化气体储存器的下部，所述冷却装置设于液化气体储存器上部，所述气体排放系统与液化气体储存器顶部的出口连接，用于排放不凝性气体。纯化过程中，首先对液化气体储存器下部进行加热，同时对液化气体储存器上部进行冷却，然后将不凝性气体排出。本发明能够将液化气体中不凝性杂质气体的含量由ppm级降低到ppb级，实现了对液化气体的高度纯化，降低了杂质气体对后续制造工艺的不良影响，且装置简单，操作方便，具有良好的经济效益和应用前景。
技术研发人员：李东升
受保护的技术使用者：上海正帆科技股份有限公司
技术研发日：2018.12.05
技术公布日：2019.02.15