inder)，所述NH 3气供应钢瓶11的瓶口通过供应管道依次与主阀箱、气体分配箱或气体分配盘配管相连，最后供应到各个生产机台。其中主阀箱、气体分配箱或气体分配盘配管在图2和图3中未予以图示。所述NH3气供应钢瓶11的钢瓶口连接有供应管道，但是由于供应管道的频繁更换，容易造成供应管道和瓶口连接处(Pigtail)的位置造成损伤，这将引起气体泄漏，影响气体的正常供应。另夕卜，所述NH3气供应钢瓶I外表面包覆有加热夹克(未予以图示)，钢瓶上设置有泄压阀(未予以图示)，加热夹克用来加热钢瓶时钢瓶中液态的氨转变为气态的氨，泄压阀用来保证钢瓶内部正常的压力，防止钢瓶发生意外。
[0045]所述盒体12底部开口，且盒体12罩设在所述NH3气供应钢瓶11上，尤其是要将瓶口的Pigtail置于盒体中，一旦发生pigtail的泄露，这个相对较为封闭的盒体12可以及时监测到。
[0046]所述支架13用于支撑所述盒体12，并引导所述盒体12移动。所述支架13可以包括一对支架，每一个支架13上各放置一个盒体12。每一个支架13包括支撑柱131、固定于所述支撑柱131之间的第一横梁132、与所述第一横梁132垂直且能在所述第一横梁132长度方向上移动的第二横梁133。所述盒体12放置于所述第二横梁133上，且盒体12能在所述第二横梁133长度方向上移动，所述第二横梁133通过滑轨在第一横梁132上滑动。所述盒体12也可以通过滑轨在第二横梁133上滑动，当然，第一横梁132与第二横梁133之间、盒体12与第二横梁133之间也可以是其他合适的方式，比如滚动，在此不作限制。通过第一横梁132、第二横梁133，所述盒体12可以在前后左右的方向上进行移动，通过盒体12移动，可以方便更换钢瓶。图2和图3中的箭头表示钢瓶需要被罩在盒体中。
[0047]所述风管14与盒体12相连。作为示例，所述风管14至少包括分别与每一个盒体12相连的软管141、连接在所述软管141之间的支撑硬管142以及与所述支撑硬管142连通的垂直管道144。进一步地，所述支撑硬管144与一侧的软管141间可以增加一个三通管143，通过三通管143与垂直管道144连通。更进一步地，在所述垂直管道144的末端还可以设置一个弯管145，该弯管145直接与阀箱16相连。
[0048]所述侦测器15安装在所述风管14中。优选地，所述侦测器15安装在与所述盒体12直接相连的软管141的管壁上，用于监测钢瓶连接处以及泄压阀是否发生气体的泄露，并发出警报。由于盒体12为封闭结构，一旦监测到气体发生泄露，侦测器15可以在第一时间准确无误的侦测到，此时技术人员应当立即移动盒体进行钢瓶的更换，防止意外发生。同时，泄漏的气体通过风管14可以排出至室外，保证室内人员的安全。
[0049]综上所述，本实用新型提供一种NH3气供应系统的侦测装置，所述装置包括:順3气供应钢瓶，所述NH3气供应钢瓶的钢瓶口连接有供应管道；底部开口的盒体，所述盒体罩设在所述NH3气供应钢瓶上；支架，用于支撑所述盒体并引导所示盒体移动；风管，与所述盒体相连；侦测器，安装在所述风管中。本实用新型将NH3气供应钢瓶罩设在盒体中，当瓶口管道(pigtail)连接处或泄压阀发生泄漏时，风管中的侦测器将准确无误的侦测到事故，及时发出警报，并且操作人员可以通过盒体的移动便捷的更换备用钢瓶。本实用新型的装置结构简单，操作方便，适用于工业化生产。
[0050]所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
[0051]上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
【主权项】
1.一种NH 3气供应系统的侦测装置，其特征在于，所述侦测装置至少包括: NH3气供应钢瓶，所述NH 3气供应钢瓶的钢瓶口连接有供应管道； 盒体，底部开口且罩设在所述NH3气供应钢瓶上； 支架，支撑所述盒体并引导所述盒体移动； 风管，与所述盒体相连； 侦测器，安装在所述风管中。2.根据权利要求1所述的NH3气供应系统的侦测装置，其特征在于:所述支架包括支撑柱、固定于所述支撑柱之间的第一横梁、与所述第一横梁垂直且能在所述第一横梁长度方向上移动的第二横梁。3.根据权利要求2所述的NH3气供应系统的侦测装置，其特征在于:所述盒体放置于所述第二横梁上，且盒体能在所述第二横梁长度方向上移动，所述第二横梁通过滑轨在第一横梁上滑动。4.根据权利要求1所述的NH3气供应系统的侦测装置，其特征在于:所述支架包括一对支架，每一个支架上各放置一个盒体。5.根据权利要求4所述的NH3气供应系统的侦测装置，其特征在于:所述风管至少包括:分别与每一个盒体相连的软管、连接在所述软管之间的支撑硬管以及与所述支撑硬管连通的垂直管道。6.根据权利要求5所述的NH3气供应系统的侦测装置，其特征在于:所述侦测器安装在软管内壁上。7.根据权利要求5所述的NH3气供应系统的侦测装置，其特征在于:所述垂直管道通过一弯管与一阀箱相连。8.根据权利要求1所述的NH3气供应系统的侦测装置，其特征在于:所述NH 3气供应钢瓶外表面包覆有加热夹克。9.根据权利要求1所述的NH3气供应系统的侦测装置，其特征在于:所述NH 3气供应钢瓶上还设置有泄压阀。10.根据权利要求1所述的NH3气供应系统的侦测装置，其特征在于:所述NH 3气供应钢瓶的瓶口通过供应管道依次与主阀箱、气体分配箱或气体分配盘配管相连，最后供应到各个生产机台。
【专利摘要】本实用新型提供一种NH3气供应系统的侦测装置，所述装置至少包括：NH3气供应钢瓶，所述NH3气供应钢瓶的钢瓶口连接有供应管道；底部开口的盒体，所述盒体罩设在所述NH3气供应钢瓶上；支架，用于支撑所述盒体并引导所示盒体移动；风管，与所述盒体相连；侦测器，安装在所述风管中。本实用新型将NH3气供应钢瓶罩设在盒体中，当瓶口管道(pigtail)连接处或泄压阀发生泄漏时，风管中的侦测器将准确无误的侦测到事故，及时发出警报，并且操作人员可以通过盒体的移动便捷的更换备用钢瓶。本实用新型的装置结构简单，操作方便，适用于工业化生产。
【IPC分类】F17C13/02
【公开号】CN204693033
【申请号】CN201520334479
【发明人】丁双根, 太双, 刁春华, 周鹏
【申请人】中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
【公开日】2015年10月7日
【申请日】2015年5月22日