专利名称：图像检查方法及装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种图像检查方法及装置，特别是涉及用于迅速地进行被识别图像上的微小缺陷、异物的检查或者被识别图像与参照图像之间的比较对照检查等的图像检查方法及装置。
背景技术：
作为现有的图像缺陷抽出的数字图像处理方法，可以举出下面的方法。
(1)在现有的数字图像处理方法中的细微的欠缺、突出等缺陷图像的检查中进行参照图像和被检查图像的傅立叶变换(FFT)图像的卷积(convolution)及其逆傅立叶变换(FFT)的方法(关于位置校正方法参照非专利文献1，关于计算时间参照非专利文献2)。
(2)在现有的数字图像处理方法中，为了识别大尺寸图像中的极微小的缺陷，用记录在电子照相机像素上的图像进行比较(参照非专利文献3)。
此外，作为现有技术还有作为光模拟识别法的傅立叶变换图像比较法(参照非专利文献4)、鲜明图像的大视场获取法(大視野取得法)(参照非专利文献5)。
另外，以往有如下的方法对检查图像信号和基准图像信号进行傅立叶变换，乘以检查图像信号和基准图像信号的傅立叶变换的相位成分的复共轭而得到合成图像信号，并且对得到的合成图像信号进行逆傅立叶变换，由此检测荫罩(shadow mask)的缺陷(参照专利文献1)。
专利文献1日本特开2000-215803编非专利文献1田村秀行编「コンピユ一タ画像処理応用実践編1」総研出版、p147非专利文献2河田聡、南茂夫编著「科学計測のための画像デ一タ処理」CQ出版社、p126非专利文献3烏脇純一郎著、辻井重男编「画像理解のためのデイジタル画像処理[1]」昭晃堂、p12非专利文献4秋山伸幸「異物検查技術」O plus E(2001-5)(セミコン產業における計測検查技術)p562非专利文献5(社)精密工学会、画像応用技術専門委員会编「画像処理応用システム」東京電機大学出版局、p145发明内容发明要解决的问题然而，在现有技术中有如下应该解决的问题。
(1)在现有的数字图像处理方法中的细微的欠缺、突出等的缺陷图像的检查中进行参照图像和被检查图像的傅立叶变换(FFT)图像的卷积(convolution)及其逆傅立叶变换(FFT)的方法，必须执行图像处理上进行比较的两个图像的位置调整的预处理，存在其需要相当长的处理时间的问题。
(2)另外，在现有的数字图像处理方法中，为了识别大尺寸图像中的极微小的缺陷，要用记录在电子照相机的像素上的图像进行比较，放大微小物体是必不可少的，存在如果放大则不得不缩小识别视场的问题。
(3)并且，在作为光模拟识别法的傅立叶变换图像比较法中，使用多重匹配滤波器等昂贵的仪器和先进技术，并且需要最终数字显示检测图像缺陷等的显示，存在检查系统变得复杂的问题。
本发明鉴于以上点，例如达到如下的目的。
(1)与以往那样的在图像的细微欠缺、突出等缺陷图像的检查中，与以往进行参照图像和被检查图像的傅立叶变换(FFT)图像的卷积(convolution)及其逆傅立叶变换(FFT)的数字图像处理技术不同，本发明的目的在于提供一种只将被检查图像的缺陷部分或者差异部分及其位置一起进行图像显示、不需要图像的位置调整的预处理的、用于一般图像的缺陷检查或者图像比较的新的数字图像检查方法及装置。为此，本发明例如将参照图像的傅立叶变换像的振幅谱(强度信息)图案和相位谱(相位信息)图案进行分离，对取得的参照图像的傅立叶变换像的振幅谱(强度信息)和被检查图像的傅立叶变换像的振幅谱(强度信息)的差分，使用参照图像的傅立叶变换像的相位谱(相位信息)形成逆傅立叶变换像。
(2)本发明的目的在于提供一种带图案的基板的微小缺陷、污染粒子及其位置的大视场瞬时图像检查方法及装置，为了迅速检查非透过型的带图案的基板、电子基板、安装基板等的微小缺陷、附着污染微粒等，只显示图像的缺陷部。为此，在本发明中，提供如下的数字图像处理方法例如用CCD照相机(电子照相机)拍摄参照基板图像，将其傅立叶变换像分为振幅谱和相位谱，用傅立叶变换透镜投影被检查基板图像，取得与用电子照相机取入而得到的被检查图像的傅立叶变换像的振幅谱(强度信息)的差分，与参照基板图像的相位谱相配。
此外，在本发明中提供一种以往没有的新方式，即，例如参照图像等的鲜明获取装置，将参照图像、被检查图像置于傅立叶变换透镜的前焦平面，在将傅立叶变换透镜的后焦平面作为前焦平面的逆傅立叶变换透镜的后焦平面用电子照相机取入参照图像，另外，在傅立叶变换透镜的后焦平面利用电子照相机取入被检查图像的傅立叶变换像的振幅谱(强度信息)。
(3)本发明的目的在于，对于使用预处理中耗费时间的FFT和卷积运算的现有数字图像处理方法、使用空间光调制器之类的昂贵仪器的光模拟图像处理方法，不使用如现有方法那样的图像位置调整的预处理、昂贵仪器而能够进行缺陷检查。
(4)本发明的目的在于，作为参照图像或者被检查图像的鲜明的大视场图像获取法，通过使用现有方法中没有的方法，得到参照图像或者被检查图像的傅立叶变换像的振幅谱(强度信息)的鲜明影像。即，在本发明中，例如通过现有方法中没有的、图像的大视场鲜明获取法，获取参照图像或者被检查图像的傅立叶变换像的振幅谱(强度信息)的鲜明影像，其中，该图像的大视场鲜明获取法通过1/2波长板使设为放大平行或者扫描平行的适当波长的激光光束进行从与基板面或者图像面的整个面具有一定角度的斜方或平行、或者垂直方向的照射，图像面的摄影中使用前方具备偏振片和波长滤波器的CCD照相机(电子照相机)拍摄利用光散射图像的特殊的偏光特性和波长特性的基板整个面的鲜明图像。
用于解决问题的方法(1)特别是，本发明与现有的数字图像处理运算不同，是以往没有的如下的图像处理运算法使用参照图像和被检查图像的傅立叶变换像的振幅谱(强度信息)的差分、与参照图像的傅立叶变换像的相位谱(相位信息)，作成逆傅立叶变换像进行被检查图像的缺陷检查。该新的图像处理方法也可以不将被检查图像的傅立叶变换像的相位谱用于计算，因此减轻了相应程度的运算作业，运算比现有方法变快，另外，不需要为了运算而进行两图像的位置调整的预处理，因此具有现有的数字图像处理方法达不到的特征。
(2)在本发明中，被检查图像的微小缺陷的信息变换为通过激光照射得到的微小缺陷的光衍射图案、即变换为傅立叶变换像的振幅谱(强度信息)，由于微小物体的光衍射图案尺寸越小越被放大，因此具有如下的特征无需进行现有的数字图像处理方法进行的微小缺陷、微粒等的检测中的图像放大，而能够以大视场迅速地检测微小缺陷等。因而，在本发明中，以往相当困难的大尺寸的图案描绘基板上的微小缺陷、污染微粒等的检查变得容易，其结果，显示也变得非常容易迅速。
(3)在本发明中有如下的特征即使被检查基板的位置在照射光束内向前后左右偏离，被检查基板的光衍射图案也一定出现在傅立叶变换透镜的光轴中心，另外，即使被检查图像的位置在照射光束内向前后左右偏离，被检查图像的傅立叶变换像的振幅谱(强度信息)也来到画面中心，因此，不需要进行被检查基板等的正确的定位、图像的预处理。
(4)通过本发明，生成数字/模拟适当混合的图像处理方法，缺陷图像的识别时间和直到显示检查结果为止的处理时间比以往快得多。
(5)在本发明中，有如下的优点与作为光模拟识别法的傅立叶变换图像比较法相比不需要使用多重匹配滤波器等昂贵仪器和先进技术，与多重匹配滤波器法相比检测图像缺陷等的最终显示变得容易迅速。
(6)在本发明中，用如下的新方式解决了现有问题作为参照图像或者被检查图像的鲜明图像的获取法，用调整了偏振面、进行了补色等波长选择的平行激光光束照射被检查基板整个面，在整个画面只接收适当的偏振面和波长图像。此外，现有的测定光学系统照射细的激光光束来扫描被测定物，进行被测定图像的整个面的检查。
在上述各点中，本发明不是能够容易地从以往的例如用FFT和卷积运算进行两图像比较的数字图像判断法类推出的技术，也不是能容易地从现有的光模拟图像识别法类推出的技术。
根据本发明的第一解决方案，提供一种图像检查方法，其中，计算机从存储部或者照相机取入参照图像或者参照图像的傅立叶变换像，求出参照图像的傅立叶变换像的强度信息以及/或者相位信息，计算机从存储部或者照相机取入被识别图像或者被识别图像的傅立叶变换像，求出被识别图像的傅立叶变换像的强度信息以及/或者相位信息，计算机取得参照图像的傅立叶变换像和被识别图像的傅立叶变换像的强度信息的差分，求出取决于该强度信息的差分、和参照图像或者被识别图像的任一个的傅立叶变换像的相位信息的式子的逆傅立叶变换像，计算机将逆傅立叶变换像输出到输出部或者显示部，根据上述逆傅立叶变换像，作为被识别图像和参照图像的差分，抽出被识别图像的图像缺陷或者参照图像和被识别图像的图像上的差异。
本发明在上述的图像检查方法中，计算机从存储部或者第二照相机取入参照图像，对参照图像进行傅立叶变换，求出强度信息和相位信息，计算机从存储部或者第一照相机获取被识别图像的傅立叶变换像的强度信息。
另外，本发明在上述图像检查方法中，计算机从存储部或者第二照相机取入参照图像，对参照图像进行傅立叶变换，求出强度信息和相位信息，计算机从存储部或者第二照相机取入被识别图像，求出被识别图像的傅立叶变换像的强度信息。
本发明在上述图像检查方法中，计算机从存储部或者第一照相机获取参照图像的傅立叶变换像的强度信息，计算机从存储部或者第二照相机取入参照图像，对参照图像进行傅立叶变换，求出相位信息，计算机从存储部或者第一照相机获取被识别图像的傅立叶变换像的强度信息。
并且，本发明在上述图像检查方法中，计算机从存储部或者第一照相机获取参照图像的傅立叶变换像的强度信息，计算机从存储部或者第二照相机取入参照图像，对参照图像进行傅立叶变换，求出相位信息，计算机从存储部或者第二照相机取入被识别图像，求出被识别图像的傅立叶变换像的强度信息。
并且，本发明在上述图像检查方法中，计算机从存储部或者第二照相机取入被识别图像，对被识别图像进行傅立叶变换，求出强度信息和相位信息，计算机从存储部或者第一照相机获取参照图像的傅立叶变换像的强度信息。
并且，本发明在上述图像检查方法中，计算机从存储部或者第二照相机取入被识别图像，对被识别图像进行傅立叶变换，求出强度信息和相位信息，计算机从存储部或者第二照相机取入参照图像，求出参照图像的傅立叶变换像的强度信息。
并且，本发明在上述图像检查方法中，计算机从存储部或者第一照相机获取被识别图像的傅立叶变换像的强度信息，计算机从存储部或者第二照相机取入被识别图像，对被识别图像进行傅立叶变换，求出相位信息，计算机从存储部或者第一照相机获取参照图像的傅立叶变换像的强度信息。
并且，本发明在上述图像检查方法中，计算机从存储部或者第一照相机获取被识别图像的傅立叶变换像的强度信息，计算机从存储部或者第二照相机取入被识别图像，对被识别图像进行傅立叶变换，求出相位信息，计算机从存储部或者第二照相机取入参照图像，求出参照图像的傅立叶变换像的强度信息。
根据本发明的第二解决方案，提供一种图像检查装置，具备激光光源；照相机，用于得到参照图像、被识别图像、或者参照图像或被识别图像的傅立叶变换像；光学系统，用于将来自激光光源的光变换成平行光来照射到检查对象，将来自检查对象的反射光或者透过光入射到上述照相机；以及计算机，该计算机具有存储检测出的图像的存储部以及输出该图像的显示部或者输出部，处理通过上述照相机得到的图像，上述计算机从上述存储部或者上述照相机取入参照图像或者参照图像的傅立叶变换像，求出参照图像的傅立叶变换像的强度信息以及/或者相位信息，上述计算机从上述存储部或者上述照相机取入被识别图像或者被识别图像的傅立叶变换像，求出被识别图像的傅立叶变换像的强度信息以及/或者相位信息，上述计算机求出参照图像的傅立叶变换像和被识别图像的傅立叶变换像的强度信息的差分，求出取决于该强度信息的差分、与参照图像或者被识别图像的任一个的傅立叶变换像的相位信息的式子的逆傅立叶变换像，上述计算机将逆傅立叶变换像输出到上述输出部或者上述显示部，利用上述逆傅立叶变换像，作为被识别图像和参照图像的差分，抽出被识别图像的图像缺陷或者参照图像和被识别图像之间的图像上的差异。
发明的效果本发明起到如下的效果。
(1)根据本发明，与现有数字图像处理运算不同，提出了以往没有的新的图像处理运算法并使用该新的图像处理运算法，因此能够开发不需要图像的位置调整的预处理的现有的数字图像处理方法无法实现的新技术，其中，该新的图像处理运算法使用参照图像和被检查图像的傅立叶变换像的振幅谱(强度信息)的差分、以及参照图像的傅立叶变换像的相位谱(相位信息)，作成逆傅立叶变换像进行被检查图像的缺陷检查。
(2)另外，在新开发的检查法中，被检查图像的微小缺陷的信息变换为通过激光照射得到的微小缺陷的光衍射图案、即变换为傅立叶变换像的振幅谱(强度信息)，微小物体的光衍射图案尺寸越小越被放大，因此，不使用放大图像就能够以大视场迅速地检测微小的缺陷或微粒等。因而在本发明中，以往识别相当困难的大尺寸的图案描绘基板上的微小缺陷、污染微粒等的检查变得容易，其结果，显示变得非常容易迅速。
(3)并且，在本发明中，即使被检查基板的位置在照射光束内向前后左右偏离，被检查基板的光衍射图案也一定出现在傅立叶变换透镜的光轴中心，另外，被检查图像的位置在照射光束内向前后左右偏离，被检查图像的傅立叶变换像的振幅谱(强度信息)也来到画面中心，因此，不需要进行被检查基板等的正确的定位、图像的预处理。
(4)并且，另外在本发明中，是数字/模拟的适当混合的图像处理法，因此直到显示缺陷图像的检查结果为止的处理时间比以往快得多。
(5)并且，根据本发明还具有如下的优点与作为光模拟识别法的傅立叶变换图像比较法相比，不需要使用多重匹配滤波器等昂贵的仪器和先进的技术，与多重匹配滤波器法相比，检测图像缺陷等的最终显示变得容易迅速。
(6)另外，以往的测定光学系统照射细的激光光束来扫描被测定物，进行被测定图像的整个面的检查。另一方面，根据本发明，作为参照图像或者被检查图像的鲜明图像的获取法，无论是照射光学系统还是其受光光学系统都采用与现有法不同的光学系统，由此，能够用调整了偏振面、进行了补色等波长选择的平行激光光束照射被检查基板整个面，在整个画面只接收适当的偏振面和波长图像。
(7)根据本发明，在提高检查精度、提高检查速度的方法中有优越性。
(8)根据本发明，要一次检查整个画面这一点具有现有方法所没有的检查速度的优越性。
(9)根据本发明，装置在结构上比较简单，制造上在成本方面与现有法相比优越。
图1是图像检查方法的说明图。
图2是图像空间和频率空间的说明图。
图3是数字图像缺陷检查的基本原理的说明图。
图4是关于图像检查装置的测定光学系统的结构图。
图5是与计算机相关的硬件的结构图。
图6是图像检查方法的第一实施方式的流程图。
图7是图像检查方法的第二实施方式的流程图。
图8是图像检查方法的第三实施方式的流程图。
图9是图像检查方法的第四实施方式的流程图。
图10是图像检查方法的第一实施方式的变形例的流程图。
图11是图像检查方法的第二实施方式的变形例的流程图。
图12是图像检查方法的第三实施方式的变形例的流程图。
图13是图像检查方法的第四实施方式的变形例的流程图。
具体实施例方式
1.图像检查方法的基本原理图1示出了图像检查方法的说明图。
该图作为一例说明了数字图像缺陷的检查法。下面，在本实施方式中，作为一例主要说明缺陷、异物的检查，但是本发明不限于此，可以应用于参照图像和被识别图像之间的比较检查等。
1.1振幅谱差分图像方式的理论展开(1)二维傅立叶变换的定义图2示出了图像空间和频率空间的说明图。
当设f(x，y)为参照图像信号(光的强度)时，二维傅立叶变换的定义式如下所示。
式1F(ω1,ω2)=∫-∞∞∫-∞∞f(x,y)exp{-j(ω1x+ω2y)}dxdy=u(ω1,ω2)+jv(ω1,ω2)]]>在此，ω1，ω2空间频率(spatial frequency)以极限形式表示时，F(ω1，ω2)＝u+jv＝rejθ在此，r=r(ω1,ω2)=u2+v2:]]>振幅(amplitude)，θ=θ(ω1,ω2)=tan-1vu:]]>相位(phase)
另外，二维逆傅立叶变换的定义式如下所示。
式2f(x,y)=∫-∞∞∫-∞∞F(ω1,ω2)exp{j(ω1x+ω2y)}dω1dω2]]>(2)基本原理和公式表达当前设参照图像为f1(x，y)、被识别图像为f2(x，y)时，利用傅立叶变换将两图像映射到频率空间后，以极限形式表达为下式。
式3参照图像F1(ω1,ω2)=∫-∞∞∫-∞∞f1(x,y)exp{-j(ω1x+ω2y)}dxdy=u1+jv1=r1ejθ1]]>在此，r1=u12+v12,]]>θ1=tan-1v1u1]]>被识别图像F2(ω1,ω2)=∫-∞∞∫-∞∞f2(x,y)exp{-j(ω1x+ω2y)}dxdy=u2+jv2=r2ejθ2]]>在此，r2=u22+v22,]]>θ2=tan-1v2u2]]>在此，如下式所示建立振幅的差分。
r(ω1，ω2)＝r1(ω1，ω2)-r2(ω1，ω2)并且，使用其差分振幅和参照图像的相位，以极限形式表达为下式。
式4F(ω1,ω2)=rejθ1=(r1-r2)ejθ1]]>并且通过逆傅立叶变换将它逆映射到图像空间时成为下式。
式5f(x,y)=∫-∞∞∫-∞∞F(ω1,ω2)exp{j(ω1x+ω2y)}dω1dω2]]>
该逆傅立叶变换像f(x，y)表示缺陷(或者比较结果)。
(3)公式表达的变形例求上述F(ω1，ω2)时，代替参照图像的相位，也可以使用被识别图像的相位。该情况下，F(ω1，ω2)可以使用参照图像和被识别图像的差分振幅与被识别图像的相位，以极限形式表达为下式那样的变形式。
式6F(ω1,ω2)=rejθ2=(r1-r2)ejθ2]]>并且，如上面所示的式子那样，通过逆傅立叶变换将它映射到图像空间时，求出逆傅立叶变换像f(x，y)，该逆傅立叶变换像f(x，y)表示缺陷(或者比较结果)。
此外，当求上述F(ω1，ω2)时，代替(r1-r2)，也可以使用(r2-r1)。
1.2数字图像缺陷检查的基本原理图3示出了数字图像缺陷检查的基本原理的说明图。
该图如上所述，是将参照图像分别与两个图案的被识别图像(有缺陷)进行比较而检测其缺陷的例子。
如图所示，用具有普通图像缺陷的样本示出了本实施方式的数字图像缺陷检查法的结果。该图表示假设用数字照相机一起取入参照图像和被检查图像的情况的缺陷检查结果的一例。图像缺陷检查的结果，弄清了能够与被检查图像的位置无关地简便迅速地识别显示普通的图像缺陷。
可以预测在用数字照相机拍入参照图像、在傅立叶变换透镜的后焦平面拍入被检查图像的傅立叶变换像的光衍射图案而进行图像缺陷检查的情况下，根据上述结果可没有问题地求出检查结果。
为了得到参照图像或者被检查图像的鲜明影像、获取该图像的傅立叶变换像的振幅谱(强度信息)和相位谱(相位信息)，使用了如下的方法。
(a)照射光学系统，用通过1/2波长板的放大平行激光光束，进行与基板面或者图像面具有一定角度的斜方照射或平行照射、或者垂直方向照射。
(b)获取参照图像或者被检查图像的光学系统，由中继透镜系统构成，该中继透镜系统将图像面置于傅立叶变换透镜的前焦平面、作为将傅立叶变换透镜的后焦平面作为前焦平面的逆傅立叶变换透镜的后焦平面。为了使图像大小一致，在中继透镜系统的最末尾的焦平面获取参照图像或者被检查图像。
(c)另一方面，由带偏振片和波长滤波器的CCD照相机(电子照相机)构成受光光学系统，拍摄包含参照图像或被检查图像的基板面或者由这些图像生成的傅立叶变换图像。偏振片和波长滤波器实现图像质量的提高，并且能够进行镀金等的基板上的图像的组成测定，将特定物质表面的光吸收性用于图像的鲜明化。
(d)在前项所示光学系统的傅立叶变换透镜的后焦平面，进行被检查图像的傅立叶变换像的振幅谱(强度信息)的摄影。此外，根据需要，同样在傅立叶变换透镜的后焦平面进行参照图像的傅立叶变换像的振幅谱(强度信息)的摄影。
2.图像检查装置图4示出了关于图像检查装置的测定光学系统的结构图的一例。
该测定光学系统具备CCD照相机(电子照相机、数字照相机)1、CCD照相机(电子照相机、数字照相机)2、计算机3、激光器4、偏振片5以及6、检查对象7、透镜L、L0、L1、L2、空间滤波器PH、半透明反射镜HM、1/2波长板。如后所述，当根据实施方式不需要CCD照相机1以及半透明反射镜HM的情况下，能够相应地省略它们。另外，根据需要，计算机3能够通过来自输入部等的输入或者预先决定的设定，适当选择输入CCD照相机1或者2的图像。此外，在参照图像或者被检查图像的鲜明影像的获取中，也可以不使用这种中继透镜系统。作为检查对象7被配置在图示的位置上，用于获取基板等的被识别图像或者参照图像。此外，参照图像或者其傅立叶像预先存储在存储图中，计算机3也可以根据需要将其读出使用。
接着，说明图像摄影位置及其理由。具有如下的特征1)参照基板或者被测定基板等的图像，基本上用CCD照相机2拍摄检查对象(目标)位置的物体图像。从拍摄的图像的傅立叶变换像中分离振幅谱和相位谱，将该振幅谱和相位谱用于缺陷图像识别。
2)参照基板或者被测定基板等的图像中包含微小的图像，对于如果不放大图像就无法在CCD照相机的像素中映现微小图像的程度的小的图像缺陷识别，在CCD照相机1的位置拍摄置于目标位置的基板的傅立叶变换像的振幅谱。参照基板的相位谱在CCD照相机2的位置被拍摄图像，该图像的傅立叶变换像的相位谱用于缺陷识别。
3)激光照到目标后散射的光衍射图案，物体越小其扩散角越大。即，使用了光衍射图案的图像处理在大视场中物体越微小越能放大微小物体的信息并取出。
4)不管物体的位置在何处，光衍射图案在傅立叶变换透镜的后焦平面都会重叠到光轴中心而出现。
图5是与计算机相关的硬件的结构图。
计算机3具有作为中央处理装置(CPU)的处理部101、输入部102、输出部103、显示部104、存储部105以及接口部(I/F)106。另外，以星形或者总线等适当的连接方法连接了处理部101、输入部102、输出部103、显示部104、存储部105、接口部(I/F)106。存储部105包含参照图像振幅谱图像文件51、参照图像相位谱图像文件52、被识别振幅谱图像文件53、被识别相位谱图像文件54、振幅谱间的差分图像文件55、逆傅立叶变换像文件56。
3.图像检测处理以下，关于图像上的细微缺陷或者细微图像上的差异的抽出描绘法，说明各种实施方式。此外，在以下所说明的各流程图的各步骤中，在“参照图像的输入”或者“参照图像的傅立叶变换像的输入”等步骤中在图4所示的装置中参照图像被配置在检查对象7的位置上进行测定，另一方面，在“被识别图像的输入”或者“被识别图像的傅立叶变换像的输入”等步骤中，被识别图像被配置在检查对象7的位置上进行测定。
(1)第一实施方式(参照图像、被识别图像)图6示出了图像检查方法的第一实施方式的流程图。
计算机3(处理部101，以下相同。)通过接口部106，从存储部105或者CCD照相机2取入参照图像(S101)。计算机3通过接口部106，从存储部105或者CCD照相机2取入被识别图像(S103)。此外，预先在存储部105中存储有参照图像或者被识别图像的情况下，计算机3可以从存储部105读取其数据来使用。
接着，计算机3判断输入的各图像是否为灰度(S105)，根据需要变换到灰度(S107)。此外，根据CCD照相机的结构、或者根据接口部106的结构，在灰度的数据已经输入到计算机3的情况下，可以省略步骤S105以及S107。
接着，计算机3对参照图像进行傅立叶变换，求出振幅谱(强度信息)和相位谱(相位信息)(S109)。另外，计算机3求出被识别图像的傅立叶变换像的振幅谱(强度信息)(S111)。计算机3取参照图像和被识别图像的傅立叶变换像的振幅谱(强度信息)的差分(S113)，利用该差分的振幅谱(强度信息)和参照图像的相位谱(相位信息)的式子(由“1.1(1)基本原理和公式表达”示出的极限形式的式子，F(ω1，ω2)＝(r1-r2)exp(jθ1)等)进行逆傅立叶变换，求出逆傅立叶变换像(S115)。
计算机3将逆傅立叶变换像输出到输出部103或者显示部104(S117)。此时，计算机3也可以适当从存储部105等中读出参照图像/被识别图像的振幅/相位谱图像、差分图像的某个或者多个，进行输出或者显示。另外，在上述图像检测处理法中，在参照图像和被检查图像的傅立叶变换像的振幅谱(强度信息)一致的情况下，或者在这些振幅谱(强度信息)的差分是零的情况下，计算机3也可以将两个图像一致的信号显示在显示部104的画面上或者输出到输出部103。
此外，计算机3的处理部101根据需要，在适当的步骤中，对存储部105的参照图像振幅谱图像文件51、参照图像相位谱图像文件52、被识别振幅谱图像文件53、被识别相位谱图像文件54、振幅谱间的差分图像文件55、逆傅立叶变换像文件56，写入或者读出各自的图像数据。
通过以上步骤，计算机3利用逆傅立叶变换像，作为被识别图像和参照图像的差分抽出被识别图像的图像缺陷或者参照图像和被识别图像之间的图像上的差异。
(2)第二实施方式(参照图像、被识别图像的傅立叶变换像)图7中示出了图像检查方法的第二实施方式的流程图。
计算机3通过接口部106，从存储部105或者CCD照相机2获取参照图像(S101)。计算机3通过接口部106，从存储部105或者CCD照相机1获取被识别图像的傅立叶变换像的振幅谱(强度信息)(S203)。
接着，与第一实施方式相同，计算机3根据需要执行与灰度有关的处理(S105、107)。
计算机3对参照图像进行傅立叶变换，求出振幅谱(强度信息)和相位谱(相位信息)(S109)。
以后，计算机执行与第一实施方式相同的处理步骤S113～S117。
(3)第三实施方式(参照图像及其傅立叶变换像、被识别图像的傅立叶变换像)图8示出了图像检查方法的第三实施方式的流程图。
计算机3通过接口部106，从存储部105或者CCD照相机2取入参照图像(S101)。计算机3通过接口部106，从存储部105或者CCD照相机1获取参照图像的傅立叶变换像的振幅谱(强度信息)(S201)。计算机3通过接口部106，从存储部105或者CCD照相机1获取被识别图像的傅立叶变换像的振幅谱(强度信息)(S203)。
接着，与第一实施方式相同，计算机3根据需要执行与灰度有关的处理(S105、107)。
计算机3对参照图像进行傅立叶变换，求出相位谱(相位信息)(S209)。
以后，计算机执行与第一实施方式相同的处理步骤S113～S117。
(4)第四实施方式(参照图像及其傅立叶变换像、被识别图像)图9中示出了图像检查方法的第四实施方式的流程图。
计算机3通过接口部106，从存储部105或者CCD照相机2取入参照图像(S101)。计算机3通过接口部106，从存储部105或者CCD照相机1获取参照图像的傅立叶变换像的振幅谱(强度信息)(S201)。计算机3通过接口部106，从存储部105或者CCD照相机2取入被识别图像(S103)。
接着，与第一实施方式相同，计算机3根据需要执行与灰度有关的处理(S105、107)。
计算机3对参照图像进行傅立叶变换，求出相位谱(相位信息)(S209)。另外，计算机3求出被识别图像的傅立叶变换像的振幅谱(强度信息)(S111)。
以后，计算机执行与第一实施方式相同的处理步骤S113～S117。
4.图像检查处理的变形以下表示由“3.图像检查处理”说明的流程图的变形例。在上述的例子中，作为相位谱(相位信息)使用参照图像的相位谱计算了逆傅立叶变换像，但是在变形例中，作为相位谱(相位信息)使用被识别图像的相位谱计算逆傅立叶变换像。此外，各步骤中符号相同的步骤表示相同的处理。
(1)第一实施方式的变形例(被识别图像、参照图像)图10示出了图像检查方法的第一实施方式的变形例的流程图的变形例。
计算机3(处理部101，以下同样。)通过接口部106，从存储部105或者CCD照相机2取入被识别图像(S101’)。计算机3通过接口部106，从存储部105或者CCD照相机2取入参照图像(S103’)。此外，预先在存储部105中存储有被识别图像或者参照图像的情况下，计算机3可以从存储部105读取其数据来使用。
接着，与第一实施方式同样，计算机3执行步骤S105、S107。
接着，计算机3对被识别图像进行傅立叶变换，求出振幅谱(强度信息)和相位谱(相位信息)(S109’)。另外，计算机3求出参照图像的傅立叶变换像的振幅谱(强度信息)(S111’)。计算机3求出被识别图像和参照图像的傅立叶变换像的振幅谱(强度信息)的差分(S113)，利用该差分的振幅谱(强度信息)和被识别图像的相位谱(相位信息)的式子(由“1.1(3)公式表达的变形例”示出的极限形式的变形式，F(ω1，ω2)＝(r1-r2)exp(jθ2)等)进行逆傅立叶变换，求出逆傅立叶变换像(S115’)。
接着，与第一实施方式相同，计算机3执行步骤S117。除此之外，与输出部103或者显示部104、存储部105的数据的交换等有关的处理与第一实施方式相同。
通过以上步骤，计算机3利用逆傅立叶变换，作为参照图像和被识别图像的差分，抽出参照图像的图像缺陷或者被识别图像和参照图像之间的图像上的差异。
(2)第二实施方式的变形例(被识别图像、参照图像的傅立叶变换像)图11示出了图像检查方法的第二实施方式的变形例的流程图。
计算机3通过接口部106，从存储部105或者CCD照相机2获取被识别图像(S101’)。计算机3通过接口部106，从存储部105或者CCD照相机1获取参照图像的傅立叶变换像的振幅谱(强度信息)(S203’)。
接着，与第一实施方式相同，计算机3根据需要执行与灰度有关的处理(S105、107)。
计算机3对被识别图像进行傅立叶变换，求出振幅谱(强度信息)和相位谱(相位信息)(S109’)。
以后，计算机执行与第一本实施方式的变形相同的处理步骤S113、S115’、S117。
(3)第三实施方式的变形例(被识别图像及其傅立叶变换像、参照图像的傅立叶变换像)图12示出了图像检查方法的第三实施方式的变形例的流程图。
计算机3通过接口部106，从存储部105或者C CD照相机2取入被识别图像(S101’)。计算机3通过接口部106，从存储部105或者CCD照相机1获取被识别图像的傅立叶变换像的振幅谱(强度信息)(S201’)。计算机3通过接口部106，从存储部105或者CCD照相机1获取参照图像的傅立叶变换像的振幅谱(强度信息)(S203’)。
接着，与第一实施方式相同，计算机3根据需要执行与灰度有关的处理(S105、107)。
计算机3对被识别图像进行傅立叶变换，求出相位谱(相位信息)(S209’)。
以后，计算机执行与第一实施方式的变形相同的处理步骤S113、S115’、S117。
(4)第四实施方式的变形例(被识别图像及其傅立叶变换像、参照图像)图13示出了图像检查方法的第四实施方式的变形例的流程图。
计算机3通过接口部106，从存储部105或者CCD照相机2取入被识别图像(S101’)。计算机3通过接口部106，从存储部105或者CCD照相机1获取被识别图像的傅立叶变换像的振幅谱(强度信息)(S201’)。计算机3通过接口部106，从存储部105或者CCD照相机2取入参照图像(S103’)。
接着，与第一实施方式相同，计算机3根据需要执行与灰度有关的处理(S105、107)。
计算机3对被识别图像进行傅立叶变换，求出相位谱(相位信息)(S209’)。另外，计算机3求出参照图像的傅立叶变换像的振幅谱(强度信息)(S111’)。
以后，计算机执行与第一实施方式的变形相同的处理步骤S113、S115’、S117。
5.详细结构(1)傅立叶变换像的获取法为了获取图像的傅立叶变换像的振幅谱(强度信息)和相位谱(相位信息)，使用如下的方法。
(参照图像的傅立叶变换像的振幅谱(强度信息)和相位谱(相位信息)的获取法)计算机3通过CCD照相机2将参照图像取入到数字计算机3中，通过计算机3对图像进行傅立叶变换，分为图像的振幅谱(强度信息)和相位谱(相位信息)而存储到计算机的存储部105。
(将被检查图像或者参照图像的光衍射图案用作傅立叶变换像的振幅谱的方法)利用激光器4向被检查图像或者参照图像照射激光，计算机3在傅立叶变换透镜的焦平面用CCD照相机1等取入散射光。计算机3将取入的数据存储到存储部105中。此外，此时使用的相位谱相当于从拍摄的参照图像中求出的傅立叶变换像的相位谱。此外，如果在检查图像中不放大图像，那么当有在CCD照相机2的像素中不能够记录图像程度的小的对象图像时，在参照图像的傅立叶变换像中放大微小图像信息，因此，作为参照图像最好从开始就使用傅立叶变换像。即，对大视场中的数微米的缺陷图像进行比较的情况等属于本情况。
(2)参照图像或者被检查图像的鲜明图像的获取法为了得到参照图像或者被检查图像的鲜明的影像以获取该图像的傅立叶变换像的振幅谱(强度信息)和相位谱(相位信息)，使用如下的方法。最好利用激光器4使放大平行激光光束通过1/2波长板，进行与基板面或者图像面具有固定角度的斜方照射或平行照射、或者垂直方向照射。用如下的方法进行图像面的摄影将图像面置于傅立叶变换透镜的前焦平面，在将傅立叶变换透镜的后焦平面作为前焦平面的逆傅立叶变换透镜的后焦平面获取参照图像或者被检查图像。此外，获取参照图像或者被检查图像的鲜明的影像，也可以不使用这种中继透镜系统。另外，当图像面摄影时，也可以采用将偏振片置于CCD照相机(电子照相机)的前面、以大视场拍摄利用散射图像偏光特性的鲜明图像的方法。
特别是对于非透过型基板，可以使用如下的方法。
(a)照射光束向参照基板或者被检查基板照射的光，使选择波长的激光通过1/2波长板来决定偏振面的角度，进而进行放大平行，作为与基板面具有固定角度的斜方照射或平行照射、或者垂直方向照射，照射到对象基板上。
(b)参照图像的摄影位置由于不必校正图像尺寸，最好在被检查基板为了检查而通过的(或者设定的)位置拍摄参照图像或者被检查图像。其他摄影位置也可以是中继系统的逆傅立叶变换透镜的后焦平面。
(c)被检查图像的傅立叶变换像的摄影位置以及摄影法将包含参照图像或者被检查图像的基板面设置为前焦平面，由带偏振片和波长滤波器的受光器即CCD照相机1拍摄在凸透镜(傅立叶变换透镜)的后焦平面上从这些图像生成的傅立叶变换像。在作为受光器的CCD照相机1的前面附加偏振片和波长滤波器来实现图像质量的提高，并且能够进行镀金等的基板上的图像的组成测定，可以将特定物质表面的光吸收性用于图像的鲜明化。
另外，对于透过型基板，可以将被检查图像或者参照图像的光衍射图案用作傅立叶变换像的振幅谱(强度信息)。
(3)在大视场中的微小缺陷等的检查中使用的方法由CCD照相机拍摄参照图像，分离成该图像的傅立叶变换像的振幅谱(强度信息)和相位谱(相位信息)。如果向被检查图像照射平行激光，在凸透镜的后焦平面拍摄傅立叶变换像，取得与先前的参照图像的傅立叶变换的振幅谱(强度信息)的差分，与参照图像的傅立叶变换的相位谱(相位信息)一起作成逆傅立叶变换像，那么能以大视场测量图像上差分的微小缺陷等的图像及其位置。提供如下的在现有技术中没有的新技术能够根据电子基板等的傅立叶变换图案对基板上的微小缺陷、微粒等以大视场瞬时识别基板整个面，确定缺陷等的位置。
(4)关于程序关于实际的源代码，也可以主要包含例如如下的处理。
·准备二维数组，向其中写入像素值，或从其中读出像素值。
·根据需要将像素值从整数(int)变换为实数(double)、或进行其逆变换。
·图像傅立叶变换结果成为复数，因此暂时以直行形式(实部和虚部)表达，将其变换为极限形式(振幅和相位)的表达。
·对图像傅立叶变换的结果执行对数处理。
·在图像间减法运算中，对成为负数的像素执行适当的处理(不是统一地将它们全部设为像素值＝0)。
·为了频率空间中的图像数据显示，直接以二维数组像素数据进行移动(shuffling)。
·为了将二维数组像素数据作为图像文件保存(数据输出)，制作位图形式的文件标题部。这需要每次用和最终分辨率的关联来适当决定。
本发明的图像检查方法或者图像检查装置/系统，可以通过用于使计算机执行该各过程的图像检查程序、记录了图像检查程序的计算机可读取的记录介质、包含图像检查程序并可装入到计算机内部存储器中的程序产品、包含该程序的服务器等的计算机等来提供。
产业上的可利用性本发明例如可以应用于如下的方法以及装置。
(1)一般尺寸的图像的缺陷检查法以及装置(2)带图案的电子基板上的缺陷检查法以及装置(3)半导体产业中的细微缺陷检查法以及装置(4)纸币/硬货的检查装置(5)一般图像的一致度的检查法和装置(6)指纹等的简便对照法和装置
权利要求
1.一种图像检查方法，其中，计算机从存储部或者照相机取入参照图像或者参照图像的傅立叶变换像，求出参照图像的傅立叶变换像的强度信息以及/或者相位信息，计算机从存储部或者照相机取入被识别图像或者被识别图像的傅立叶变换像，求出被识别图像的傅立叶变换像的强度信息以及/或者相位信息，计算机取得参照图像的傅立叶变换像和被识别图像的傅立叶变换像的强度信息的差分，求出取决于该强度信息的差分、和参照图像或者被识别图像的任一个的傅立叶变换像的相位信息的式子的逆傅立叶变换像，计算机将逆傅立叶变换像输出到输出部或者显示部，根据上述逆傅立叶变换像，作为被识别图像和参照图像的差分，抽出被识别图像的图像缺陷或者参照图像和被识别图像的图像上的差异。
2.根据权利要求1所述的图像检查方法，其特征在于，计算机从存储部或者第二照相机取入参照图像，对参照图像进行傅立叶变换，求出强度信息和相位信息，计算机从存储部或者第一照相机获取被识别图像的傅立叶变换像的强度信息。
3.根据权利要求1所述的图像检查方法，其特征在于，计算机从存储部或者第二照相机取入参照图像，对参照图像进行傅立叶变换，求出强度信息和相位信息，计算机从存储部或者第二照相机取入被识别图像，求出被识别图像的傅立叶变换像的强度信息。
4.根据权利要求1所述的图像检查方法，其特征在于，计算机从存储部或者第一照相机获取参照图像的傅立叶变换像的强度信息，计算机从存储部或者第二照相机取入参照图像，对参照图像进行傅立叶变换，求出相位信息，计算机从存储部或者第一照相机获取被识别图像的傅立叶变换像的强度信息。
5.根据权利要求1所述的图像检查方法，其特征在于，计算机从存储部或者第一照相机获取参照图像的傅立叶变换像的强度信息，计算机从存储部或者第二照相机取入参照图像，对参照图像进行傅立叶变换，求出相位信息，计算机从存储部或者第二照相机取入被识别图像，求出被识别图像的傅立叶变换像的强度信息。
6.根据权利要求1所述的图像检查方法，其特征在于，计算机从存储部或者第二照相机取入被识别图像，对被识别图像进行傅立叶变换，求出强度信息和相位信息，计算机从存储部或者第一照相机获取参照图像的傅立叶变换像的强度信息。
7.根据权利要求1所述的图像检查方法，其特征在于，计算机从存储部或者第二照相机取入被识别图像，对被识别图像进行傅立叶变换，求出强度信息和相位信息，计算机从存储部或者第二照相机取入参照图像，求出参照图像的傅立叶变换像的强度信息。
8.根据权利要求1所述的图像检查方法，其特征在于，计算机从存储部或者第一照相机获取被识别图像的傅立叶变换像的强度信息，计算机从存储部或者第二照相机取入被识别图像，对被识别图像进行傅立叶变换，求出相位信息，计算机从存储部或者第一照相机获取参照图像的傅立叶变换像的强度信息。
9.根据权利要求1所述的图像检查方法，其特征在于，计算机从存储部或者第一照相机获取被识别图像的傅立叶变换像的强度信息，计算机从存储部或者第二照相机取入被识别图像，对被识别图像进行傅立叶变换，求出相位信息，计算机从存储部或者第二照相机取入参照图像，求出参照图像的傅立叶变换像的强度信息。
10.根据权利要求1至9的任一项所述的图像检查方法，其特征在于，激光器向被识别图像照射平行激光，第一照相机在傅立叶变换透镜或者凸透镜的后焦平面，拍摄傅立叶变换像的强度信息。
11.根据权利要求1至9的任一项所述的图像检查方法，其特征在于，激光通过1/2波长板，进而使扩大了照射区域的平行激光光束进行与基板面或者图像面具有固定的角度的斜方照射、平行照射或者垂直方向照射，第二照相机的图像面的摄影是将图像面置于傅立叶变换透镜或者凸透镜的前焦平面，在将傅立叶变换透镜的后焦平面作为前焦平面的逆傅立叶变换透镜或者凸透镜的后焦平面获取参照图像或者被识别图像。
12.根据权利要求1至9的任一项所述的图像检查方法，其特征在于，在参照图像和被识别图像的傅立叶变换像的强度信息一致的情况下，或者在这些强度信息的差分是零或者实质上是零的情况下，将两图像一致的信息显示在画面上。
13.根据权利要求1至9的任一项所述的图像检查方法，其特征在于，通过将偏振片置于照相机前，使得以大视场拍摄利用散射图像的偏振光特性的鲜明图像。
14.根据权利要求1至9的任一项所述的图像检查方法，其特征在于，第一或者第二照相机通过附加偏振片和波长滤波器，为了图像的鲜明化而对特定物质表面的光吸收性进行摄影。
15.一种图像检查装置，具备激光光源；照相机，用于得到参照图像、被识别图像、或者参照图像或被识别图像的傅立叶变换像；光学系统，用于将来自激光光源的光变换成平行光并照射到检查对象，将来自检查对象的反射光或者透过光入射到上述照相机；以及计算机，该计算机具有存储检测出的图像的存储部以及输出该图像的显示部或者输出部，处理通过上述照相机得到的图像，上述计算机从上述存储部或者上述照相机取入参照图像或者参照图像的傅立叶变换像，求出参照图像的傅立叶变换像的强度信息以及/或者相位信息，上述计算机从上述存储部或者上述照相机取入被识别图像或者被识别图像的傅立叶变换像，求出被识别图像的傅立叶变换像的强度信息，上述计算机求出参照图像的傅立叶变换像和被识别图像的傅立叶变换像的强度信息的差分，求出取决于该强度信息的差分、与参照图像或者被识别图像的任一个的傅立叶变换像的相位信息的式子的逆傅立叶变换像，上述计算机将逆傅立叶变换像输出到上述输出部或者上述显示部，利用上述逆傅立叶变换像，作为被识别图像和参照图像的差分，抽出被识别图像的图像缺陷或者参照图像和被识别图像之间的图像上的差异。
16.根据权利要求15所述的图像检查装置，其特征在于，上述照相机包含用于得到参照图像或者被识别图像的第二照相机、以及用于得到参照图像或者被识别图像的傅立叶变换像的第一照相机，上述计算机从上述存储部或者上述第二照相机取入参照图像，对参照图像进行傅立叶变换，求出强度信息和相位信息，上述计算机从上述存储部或者上述第一照相机获取被识别图像的傅立叶变换像的强度信息。
17.根据权利要求15所述的图像检查装置，其特征在于，上述照相机包含用于得到参照图像或者被识别图像的第二照相机，上述计算机从上述存储部或者上述第二照相机取入参照图像，对参照图像进行傅立叶变换，求出强度信息和相位信息，上述计算机从上述存储部或者上述第二照相机取入被识别图像，求出被识别图像的傅立叶变换像的强度信息。
18.根据权利要求15所述的图像检查装置，其特征在于，上述照相机包含用于得到参照图像或者被识别图像的第二照相机、以及用于得到参照图像或者被识别图像的傅立叶变换像的第一照相机，上述计算机从上述存储部或者上述第一照相机获取参照图像的傅立叶变换像的强度信息，上述计算机从上述存储部或者上述第二照相机取入参照图像，对参照图像进行傅立叶变换，求出相位信息，上述计算机从上述存储部或者上述第一照相机获取被识别图像的傅立叶变换像的强度信息。
19.根据权利要求15所述的图像检查装置，其特征在于，上述照相机包含用于得到参照图像或者被识别图像的第二照相机、以及用于得到参照图像或者被识别图像的傅立叶变换像的第一照相机，上述计算机从上述存储部或者上述第一照相机获取参照图像的傅立叶变换像的强度信息，上述计算机从上述存储部或者上述第二照相机取入参照图像，对参照图像进行傅立叶变换，求出相位信息，上述计算机从上述存储部或者上述第二照相机取入被识别图像，求出被识别图像的傅立叶变换像的强度信息。
20.根据权利要求15所述的图像检查装置，其特征在于，上述照相机包含用于得到被识别图像或者参照图像的第二照相机、以及用于得到被识别图像或者参照图像的傅立叶变换像的第一照相机，上述计算机从上述存储部或者上述第二照相机取入被识别图像，对被识别图像进行傅立叶变换，求出强度信息和相位信息，上述计算机从上述存储部或者上述第一照相机获取参照图像的傅立叶变换像的强度信息。
21.根据权利要求15所述的图像检查装置，其特征在于，上述照相机包含用于得到被识别图像或者参照图像的第二照相机，上述计算机从上述存储部或者上述第二照相机取入被识别图像，对被识别图像进行傅立叶变换，求出强度信息和相位信息，上述计算机从上述存储部或者上述第二照相机取入参照图像，求出参照图像的傅立叶变换像的强度信息。
22.根据权利要求15所述的图像检查装置，其特征在于，上述照相机包含用于得到被识别图像或者参照图像的第二照相机、以及用于得到被识别图像或者参照图像的傅立叶变换像的第一照相机，上述计算机从上述存储部或者上述第一照相机获取被识别图像的傅立叶变换像的强度信息，上述计算机从上述存储部或者上述第二照相机获取被识别图像，对被识别图像进行傅立叶变换，求出相位信息，上述计算机从上述存储部或者上述第一照相机获取参照图像的傅立叶变换像的强度信息。
23.根据权利要求15所述的图像检查装置，其特征在于，上述照相机包含用于得到被识别图像或者参照图像的第二照相机、以及用于得到被识别图像或者参照图像的傅立叶变换像的第一照相机，上述计算机从上述存储部或者上述第一照相机获取被识别图像的傅立叶变换像的强度信息，上述计算机从上述存储部或者上述第二照相机取入被识别图像，对被识别图像进行傅立叶变换，求出相位信息，上述计算机从上述存储部或者上述第二照相机取入参照图像，求出参照图像的傅立叶变换像的强度信息。
全文摘要
一种图像检查处理，只将被检查图像的缺陷部分或差异部分与其位置一起进行图像显示，不需要图像位置调整的预处理。计算机(3)从存储部或者CCD照相机(1或2)取入参照图像或参照图像的傅立叶变换像，求出强度信息和相位信息，另外，从存储部或者CCD照相机(1或2)取入被识别图像或被识别图像的傅立叶变换像，求出被识别图像的傅立叶变换像的强度信息。计算机(3)求出参照图像和被识别图像的傅立叶变换像的强度信息的差分，求出取决于该强度信息的差分和参照图像的相位信息的式子的逆傅立叶变换像，将逆傅立叶变换像输出到输出部或显示部。利用逆傅立叶变换像，作为被识别图像和参照图像的差分抽出被识别图像的图像缺陷或参照图像和被识别图像的图像上的差异。
文档编号G01T7/00GK1947000SQ200580013458
公开日2007年4月11日 申请日期2005年4月19日 优先权日2004年4月27日
发明者清水勋 申请人:独立行政法人科学技术振兴机构