专利名称：探针卡的制作方法
技术领域：
本发明涉及集成电路工艺领域，尤其是一种集成电路测试领域中的探 针卡。
背景技术：
探针卡是集成电路工艺领域重要器件，应用在集成电路尚未封装之前， 针对晶圆以探针做功能测试，选出不合格产品再进行后续的封装工程，避 免不良产品继续加工而造成浪费。它负责测试系统与集成电路芯片之间的 电气连接。探针卡上有很多探针，在测试时，探针卡上的探针与晶圆上的 焊垫接触，对晶圆输出信号或者测试晶圆信号输出值。
如图1所示，现有的探针卡包括下固定板1，位于下固定板上方的上固
定板3，位于上下固定板之间并在其之间留有空间的支撑件2，通过陶瓷圈 4和开口槽7相连接的印刷电路板8，在上下固定板和陶瓷圈4之间起固定 作用的弹性固件5，连接印刷电路板8和探针装置的的支柱6，探针9。现 有的探针卡中探针9为垂直的。
现有的集成电路设计中产品多样、并且同一个产品也会进行多次改版， 由于现有的探针卡中的探针时垂直的，探针的位置是固定的，因此每一次 焊垫的变更都需要再做一次探针卡，这样既增加测试的时间成本同时也增 加了测试的材料和人工成本，降低了生产率。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种探针卡，能够克服集成电路测 试中垂直探针造成的每次更换焊垫都需要重新做一个探针卡的不足，使每 次焊垫变更都可以用同一张探针卡稍做修改即可进行测试，从而节约生产 成本，提高生产效率。
为解决上述技术问题，本发明探针卡所采用的技术方案是，包括下固 定板，位于下固定板上方的上固定板，位于上下固定板之间并在其之间留 有空间的支撑件，通过陶瓷圈和开口槽相连接的印刷电路板，在上下固定 板和陶瓷圈之间起固定作用的弹性固件，连接印刷电路板和探针装置的固 件，探针，所述探针的底部和探针本体成一角度。
本发明探针卡的探针底部和探针本体成一角度，同一个探针在焊垫上 扎针的直径和位置可以调整，可以使探针针对不规则的焊垫进行扎针。本 发明可使集成电路设计时焊垫位置选择不再受局限。并且可以针对焊垫的 多少而决定所用的探针数量并能方便的替换。
下面结合附图和具体实施方式
对本发明作进一步详细的说明
图l为现有探针卡结构示意图2为本发明探针卡结构示意图3为本发明探针卡中探针与焊垫接触时探针方向和角度示意图； 图4为本发明探针卡中探针与焊垫接触示时探针方向和角度意图；
具体实施例方式
如图2所示，本发明的探针卡包括下固定板10，位于下固定板上方的上固
定板30，位于上下固定板之间并在其之间留有空间的支撑件20，通过陶瓷圈40 和开口槽70相连接的印刷电路板80，在上下固定板和陶瓷圈40之间起固定作 用的弹性固件50，连接印刷电路板80和探针装置的支柱60，支柱60中间有螺 纹，探针90，其中的探针90的底部和探针本体成一可调整的角度，该角度为锐角。
如图3、图4所示，本发明探针卡的斜探针500、 510在分别和焊垫600、 610接触时不是垂直接触，而是呈一个角度a， a为斜探针弯曲的角度，斜探 针的方向360度变换。探针的弯曲程度与图3、图4中的a角的大小有关，因 为a角的不一样，可以做一个系列的不同a角度的斜探针，在图3、图4中的 圆可有不同的直径。
本发明探针卡的探针的尾部和探针本体成一角度，通过调整该角度和探针 的方向同一探针可以扎到不同位置的焊垫，可使集成电路设计时焊垫位置选择 不再受局限，并且可以针对焊垫的多少而决定所用的探针数量并能方便的替换， 从而可以节约生产成本，提高生产效率。
权利要求
1、一种探针卡，包括下固定板，位于下固定板上方的上固定板，位于上下固定板之间并在其之间留有空间的支撑件，通过陶瓷圈和开口槽相连接的印刷电路板，在上下固定板和陶瓷圈之间起固定作用的弹性固件，连接印刷电路板和探针装置的固件，探针，其特征在于，所述探针的底部和探针本体成一角度。
2、 如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述探针底部和探针本 体之间的角度可调整。
3、 如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述探针底部和探针本 体之间的角度为锐角。
4、 如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述连接印刷电路板和 探针装置的固件中间有螺纹。
全文摘要
本发明公开了一种探针卡，包括下固定板，位于下固定板上方的上固定板，位于上下固定板之间并在其之间留有空间的支撑件，通过陶瓷圈和开口槽相连接的印刷电路板，在上下固定板和陶瓷圈之间起固定作用的弹性固件，连接印刷电路板和探针装置的固件，探针，所述探针的底部和探针本体成一角度。本发明探针卡的探针的尾部和探针本体成一角度，通过调整该角度和探针的方向同一探针可以扎到不同位置的焊垫，并且可以针对焊垫的多少而决定所用的探针数量并能方便的替换，从而可以节约生产成本，提高生产效率。
文档编号G01R1/073GK101158700SQ20061011691
公开日2008年4月9日 申请日期2006年10月8日 优先权日2006年10月8日
发明者杜发魁, 缪小波, 黄海华 申请人:上海华虹Nec电子有限公司