专利名称：探针卡的制作方法
技术领域：
本发明涉及集成电路工艺领域，尤其是一种集成电路测试领域中的探 针卡。
背景技术：
探针卡是集成电路工艺领域重要器件，探针卡应用在集成电路尚未封 装之前，针对晶圆以探针做功能测试，选出不合格产品再进行后续的封装 工程，避免不良产品继续加工而造成浪费。探针卡的性能对集成电路制造 过程中的成本有很大的影响。在测试中，印刷电路板上分布有通道和电源线，探针和印刷电路板连 接对信号进行测试，探针卡和探针连接。如图1所示，普通探针卡包括印刷电路板3、开口槽1、探针卡固定件2。开口槽1固定在探针卡固定件2 上，印刷电路板3通过固定装置和开口槽1固定连接。在利用探针卡对晶 圆进行测试时，高频数字信号会对测试信号产生干扰，影响测试结果。而 所需要测试的晶圆上的电源就是通过探针卡给的。为了减少干扰，增加测 试结果的准确程度，在电源加到晶圆上之前要对电源进行滤波。如图2所 示，现有改进方法是在探针卡电源出口 Vll和地之间增加去耦电容C1、 C2， 使高频噪声短路掉。但是单用去耦电容会引起高频谐振，造成新的干扰， 影响测试结果。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种探针卡，不仅能够针对晶圆以 探针做功能测试，而且可以减少测试中数字信号的干扰，提高测试的准确 率，增加产品良品率，节约生产成品并提高生产效率。为解决上述技术问题，本发明探针卡所采用的技术方案是，包括探针 卡固定件，固定在探针卡固定件上的开口槽，通过固定装置与开口槽固定 连接的印刷电路板，印刷电路板表面的去耦电容，还包括串联在探针和印 刷电路板底部之间的铁氧磁体。本发明通过在探针和印刷电路板底部之间串联铁氧磁体，不仅可以过 滤电源和地之间的高频噪声，还可以消除去耦电容引起的高频谐振引起的 信号干扰。使继电器的开关切换对测试的影响也小。更好的保证测试的精 度和稳定性。
下面结合附图和具体实施方式
对本发明作进一步详细的说明-图l为现有的探针卡结构示意图；图2为已有技术中改进的探针卡电路示意图；图3为本发明探针卡结构示意图；图4为本发明中探针卡电路示意图。
具体实施方式
如图3所示，本发明探针卡包括探针卡固定件2，固定在探针卡固定件 2上的开口槽1，通过固定装置与开口槽固定连接的印刷电路板3，印刷电 路板表面的去耦电容4，还包括串联在探针和印刷电路板底部之间的铁氧磁 体5，该铁氧磁体5为表面贴装用磁珠。如图4所示，在本发明探针卡电路中，探针卡出口电源Vll分成两路 分别接到晶圆电源入口 V21和V22，探针卡出口电源Vll和地之间接有去耦 电容C1和C2，即图3中的去耦电容4，该去耦电容C1和C2分别过滤探针 卡出口电源Vll和晶圆电源入口 V21之间的高频噪声以及探针卡出口电源 Vll和晶圆电源入口 V22之间的高频噪声，表面贴装用磁珠F1串联接在探 针卡出口电源Vll和晶圆电源入口 V21之间，表面贴装用磁珠F2串联接在 探针卡出口电源Vll和晶圆电源入口 V22之间，去除电容滤波引起的高频 谐振。本发明探针卡通过在探针和印刷电路板底部之间串联铁氧磁体，不仅 可以过滤电源和地之间的高频噪声，更能够消除去耦电容引起的高频谐振 引起的信号干扰，更好的保证测试的精度和稳定性，提高测试的准确度， 增加生产效率，节约生产成本。
权利要求
1、一种探针卡，包括探针卡固定件，固定在探针卡固定件上的开口槽，通过固定装置与开口槽固定连接的印刷电路板，印刷电路板表面的去耦电容，其特征在于，还包括串联在探针和印刷电路板底部之间的铁氧磁体。
2、 如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述的铁氧磁体为磁珠。
3、 如权利要求l所述的，其特征在于，所述的铁氧磁体为表面贴装用 磁珠。
全文摘要
本发明公开了一种探针卡，包括探针卡固定件，固定在探针卡固定件上的开口槽，通过固定装置与开口槽固定连接的印刷电路板，印刷电路板表面的去耦电容，还包括串联在探针和印刷电路板底部之间的铁氧磁体。本发明通过在探针和印刷电路板底部之间串联铁氧磁体，不仅可以过滤电源和地之间的高频噪声，更能够消除去耦电容引起的高频谐振引起的信号干扰，更好的保证测试的精度和稳定性，提高测试的准确度，增加生产效率，节约生产成本。
文档编号G01R1/073GK101162239SQ200610116938
公开日2008年4月16日 申请日期2006年10月9日 优先权日2006年10月9日
发明者惠力荪, 黄海华 申请人:上海华虹Nec电子有限公司