切变测定方法及其装置的制作方法

专利名称：切变测定方法及其装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及不论是透明或不透明中的哪一个^PT对2个固体表面间或其间 的薄膜进行期望的测定的切变测^"法及其装置，更具体而言，特别涉及(i) 进行厚度容易地变化的膜和挥发性高的液体膜等的测定的舰、简便、通用且 精密的共振切变测^r法及其装置、(2)通it^于W^型干涉法的表面间距离 计量，以納米等级改变二个固体表面的间隔并对其间夹入的液体薄膜.液晶薄 膜-高衬吸附层等之间的切变应力进行测定的测W法及其装置。
背景技术：
(1)首先第l将固体表面中夹入的试样(液体.液晶等)的剪切响应与纳米等级的,的 变化^"^得知的技术，在固体表面间的摩捧润滑以^j^体.液晶分子的定向-结 构化的理解以及控制中是重要的。M试样的剪切响应进行测定的共振切变测定中，使单#滚面沿着水平方向振动树^#赋予剪切，并在^^频率附iW 该响应进行监视。将该剪切响应作为频率的函数而绘制出的结果为M曲线。 共振频率以及共振峰值的高度对固体表面间的^#的物性敏感并对来自测定紅夕NP的振动噪声秘强。以往，为了精密^M掩固体表面中:feA的^^羊的剪切响应，进行如下的动 作在^i频率附近一边改变频率一i^t试样的剪切响应进行测定，由此取得 对频率进4豫制出的共振切变曲线。例如在下述非专利文献l中^/Hf有这样的 技术。另外，已提出作为基于本申请发明者的提案的精密切变应力测^1^置(下 述专利文献1 )。专利文献1:专利第3032152号公报非专利文献1:液晶第6巻第1号p34 - 412002(2)第2，本申请发明者已经提出可高精度JHbt纳米等级的微小空间中的 流变学(rheology)游动进行测定的精密切变应力测定装置(参照下述专 利文献2)。另外，e^出即^^ut法透过的^ff^可以以高精度对^f间的表面力进行测定的表面力测定装置及其方法(参照下述专利文献3)。 专利文献2:专利第3032152号^5H艮 专利文献3:特开2001 -108603号7>才艮但是，在上述(1)的以往技术中，由于一边改变振动频率一#共振频 率附i^t试样的剪切响应进行测定，所以需要长时间将试样的 为恒 定，存在难以进行厚度容易地变化的膜和挥发性高的液体薄膜的测定的问题。另夕卜，作为上述(2)的以往的技术，为了一边以0.1纳米的，率对表面间距离进fr测定一i^t表面中夹入的^4羊的粘举性以;sj^瘵润滑特性进仟测 定，^MI将基于使用等色序干涉条紋(feco)的光干涉法的表面间距离测定 种变共4^测^^置进^i且合的方法。该方法由于^^l透狄面的光，所以基 板以;3^14面中夹入的^#限于^过性的^^羊。特别，Bfr实用上^t限于云母，即^^，中也仅将蓝宝石或玻璃的薄片(厚度为2nm左右M^J为絲。另外，双5^型表面力测定装置(上述专利文献3)是测定对上下表面作用 的力的^置，无法i^f亍切变测定。发明内容本发明的目的在于提供一种不i&^是透明或者不透明中的哪一个都可 进行期望的测定的切变测W法及其装置。 在更^^k^Ut时，鉴于上述状况，本发明的第i目的在于提^-~种*^切变测;^法，其中， 在^#的剪切响应的测定中，对逸洋的单,'滚面的振动的衰减曲线进行傅立叶变换，取得^y0刀变曲线，从而可进行其简便的短时间测定。另夕卜，鉴于上述状况，本发明的第2目的在于提^""种^^型切变应力测W法及其装置，其中，使用在^il试样为不透明的情况下可对^l间的距离进行测定的M法，可进行精密的切变应力测定。 本申请发明为了狄上述目的，(i)在^y^切变测定方法中，将输入信号uin输入到共振切变测定单元 的水平驱动部，针对该共振切变测定单元中的固体表面中所夹入的试样， 使用位移计对其单侧表面的振动进行检测来作为输出信号u。ut，并与所述输入信号Uin—起，将所述输出信号iu输入到共振切变计量装置，将变化一起进行计量，其特征在于，对所述试样的单侧表面的振动的衰减 曲线进行傅立叶变换，来取得共振切变曲线。(2) 在#^切变测定方法中，将输入信号Uin输入到共振切变测定单元 的水平驱动部，在固体表面间不夹入试样而将固体表面本身作为试样， 使用位移计对该共振切变测定单元中的试样的单侧表面的振动进行检测 来作为输出信号U。ut，并与所述输入信号Uh—起，将所述输出信号U福 输入到共振切变计量装置，将所述共振切变测定单元的所述试样的剪切 响应与膜厚的变化一起进行计量，其特征在于，对所述试样的单侧表面 的振动的衰减曲线进行傅立叶变换，来取得共振切变曲线。(3) 在上述(1)记载的共振切变测定方法中，其特征在于，所述试 样为薄膜。(4) 在上述(1)记载的共振切变测定方法中，其特征在于，所述试样为液体。(5) 在上述(1)记载的共振切变测定方法中，其特征在于，所述试样为液晶。(6) 在上述(1)记载的共振切变测定方法中，其特征在于，所述试样为纳米尺寸的厚度。(7) 在上述(1)或(2)记载的共振切变测定方法中，其特征在于， 通过吸附或化学修饰法对所述试样的表面进行修饰。(8) 在上述(1)或(2)记载的共振切变测定方法中，其特征在于， 所述共振切变曲线为所述试样的剪切响应的频率特性。(9) 一种共振切变测定装置，其特征在于，该共振切变测定装置具有波形发生器；电源，与该波形发生器连接；共振切变测定单元，与 该电源连接且被输入输入信号Uin;位移计，与该共振切变测定单元连接； 共振切变测定装置，与该位移计以及所述电源连接且4皮输入输出信号U。ut 以及输入信号Uin，该共振切变测定装置具有计时部、与该计时部和所述 位移计连接的傅立叶变换部、与该傅立叶变换部连接的振幅谱生成部、 振幅(U。ut/Uin)的标准部、以及共振切变曲线制成部；以及计算机，与 所述波形发生器和共振切变测定装置连接。(10)—种双路型切变应力测定方法，其特征在于，在该双路型切变反射镜，组合根据来自所述反射镜的反射光的相位变化来对所述试样的 表面间距离位移进行测定的双路表面间距离测定方法和根据共振曲线来对所述试样的粘弹性以;^擦.润滑特性进行测定的测定法，对试样的切变应力进行测定。(11) 一种双路型切变应力测定装置，其特征在于，该双路型切变应 力测定装置具有精密切变装置，使试样的上部表面保持体沿着水平方 向位移；位移计，对所述试样的上部表面保持体的向水平方向的位移进 行检测；由板簧构成的所述试样的下部表面固定单元，在前端保持所述 试样的下部表面保持体且具有在所述下部表面保持体的底面配置的反射 镜；驱动装置，驱动该下部表面固定单元来对所述试样的下部表面保持 体沿着上下进行驱动；和双路表面间距离测定单元，向所述反射镜照射 激光光，根据来自所述反射镜的反射光的相位变化对所述试样的上部表 面和所述试样的下部表面间的距离进行测定，其中，对所述试样的上部 表面和所述试样的下部表面间的每个距离的所述试样的粘弹性以及摩 擦，润滑特性进行测定。(12) 在上述(11)记载的双路型切变应力测定装置中，其特征在于， 根据所述试样的共振曲线来对所述试样的粘弹性以及摩擦.润滑特性进行 测定。(13) 在上述(11)或(12)记载的双路型切变应力测定装置中，其 特征在于，所述试样为透明试样或不透明试样。(14) 在上述(11)或(12)记载的*型切变应力测定装置中，其 特征在于，所述试样为液体薄膜。(15) 在上述(11)或(12 )记载的双路型切变应力测定装置中，其 特征在于，所述试样为液晶薄膜。(16 )在上述(11)或(12 )记载的双路型切变应力测定装置中，其 特征在于，所述试样为高分子.表面活性剂等吸附层、化学修饰膜。(17)在上述(11)或(12)记栽的双路型切变应力测定装置中，其 特征在于，所述试样的上部表面保持体以及下部表面保持体中的一方或 两方为不透明m。


图l&示本发明的实施例的共振切变测定系统的示意图。 图2 ^示本发明的实施例的示出共振切变测定系统的共振切变测定单元 的一个例子的示意图。图3是示;发明的变形例的^y^切变测定系统的^y^切变测定单元的部 分结构示意图。图4U示本发明的实施例的^y^切变测定a^呈图。图5示出^^发明的^y^切变测定单itJiio:^tf^f进行测定时的单顺滚 面的衰减^^动例子的图。图6是示出针对图5所示的衰减振动进行本发明的傅立叶变^M^得的共振切变曲线和通过以往的方法来取得的各自的曲线的图。图7是表示本发明的另一实施例的双路型切变应力测定装置的示意图。 图8a示本发明的另一实施例的为了示出^^型切变应力测^^置的应用例子而使用的试样的示意图。图9是本发明的另一实施例的云母表面中夹入的作为试片羊的液晶(4-cy肌o 一 4 - hexyl biphenyl， 6CB)的化学式。图io a示本发明的另一实施例的示出^^J本发明的双路型切变应力测^>置树作为"的液晶(4-cyano-4-hexyl biphenyl， 6CB)进4亍测定 的结果的图。胁实施方式在本发明的第1共振切变测定方法及其装置中，将输入信号Uin输入到共振切变测定单元的压电(piezo)元件，使用位移计对该共振切变测出信号IU，与所述输入信号Ui:—起，将所述输出信号U。1输入到共振 切变计量装置，将所述共振切变测定单元的固体表面中夹入的试样的剪 切响应与膜厚的变化一起进行计量，其中，对所述试样的单侧表面的振 动的衰减曲线进行傅立叶变换，来取得共振切变曲线。本发明的第2双路型切变应力测定装置具有精密切变装置，使试 样的上部表面沿着水平方向位移；位移计，对该试样的上部表面的向水 平方向的位移进行检测；由板簧构成的所述试样的下部表面固定单元， 在前端保持所述试样的下部表面且具有在其底面配置的反射镜；驱动装 置，驱动该下部表面固定单元来对所述试样A的下部表面沿着上下进行 驱动；以及双路表面间距离测定单元，根据来自所迷反射镜的反射光的 相位变化对所述试样A的上部表面和所述试样的下部表面间的距离进行 测定，对每个所述试样的上部表面和所述试样的下部表面间的距离的所 述试样的粘弹性以及摩擦.润滑特性进行测定。实施例子以下，对本发明的实施方式进行详细说明。图1是表示本发明的实施例的共振切变测定系统的示意图，图2是 示出该共振切变测定单元的一个例子的示意图。在该图中，1为波形发生 器，2为与波形发生器1连接的电源，3为与电源2连接且输入作为输入 信号的输入电压Uin的共振切变测定单元，4为与共振切变测定单元3连 接的位移计、例如静电电容位移计，5为与静电电容位移计4以及电源2 连接且输入作为输出信号的输出电压U。w以及输入电压Uin的共振切变计 量装置，该共振切变计量装置5由计时部5A、傅立叶变换部5B、振幅 谱生成部5C、振幅(U。ut/Uin)的标准部[以Uin (co)以及U一的标准化 部5D、以及共振切变曲线制成部5E构成。6为与共振切变计量装置5连接的个人计算机(PC) 6，该个人计算机(PC) 6与波形发生器1连 接。另外，作为上述的位移计，还可以使用应变仪。在图2中，10为共振切变测定单元(在图1中与共振切变测定单元 3对应)，ll为悬臂，12为盘支座(disc holder), 13为白光，14为固定在 盘支座12上的下部J4良，15为作为对上部表面沿着水平方向进行驱动的 水平驱动部的4分割压电元件，16为固定在该4分割压电元件15的底部 的上部M, 17为支撑4分割压电元件15的板簧。18为对板簧17的水 平方向位移厶x进行计量的静电电容位移计(探针)(与图1中的静电电 容位移计4对应)，19为成为剪切响应的测定对象的试样(固体、液体、 液晶等)。另外，此处，液体不限于单一成分，还可以是包括2种以上的 分子团或胶体分散系的各种溶液。另外，作为上述的水平驱动部，还可 以4吏用电动才几。图3 "示本发明的变形例的^y^切变测定系统的共振切变测定单元的部*构示意图。在该例子中，还可以将^本身诏力^#21、 22，不像图2所示那样在基 板间夹入试样，就能够对^# ( ) 21和^# ( ) 22的相互的摩擦(润 滑)特'ltii行测定。图4为该^#>切变测定$;1^呈图。(1) 首先，向压电元件(图2的4分割压电元件15)输入图1所示的振幅 电压Ui 的正弦波(角频率(0 )(步骤Sl )。(2) 取得输出电压U加t U)(步骤S2)。 (3 )使输入电压Uin停止(步骤S3 )。(4 )取得输出电压UU和经过时间(步骤S4 )。 (5 )进行傅立叶变换(步骤S5 )。 (6)输出振幅镨(步骤S6)。(7 )以输出电压U。ut( 0))以及输入电压Uin来进行标准化(步骤S7 )。 (8)输出共振切变曲线(步骤S8)。当在上述的共振切变测定单元上设置试样并进行测定时，试样的单 侧表面的衰减振动描绘出图5那样的曲线。此处，横轴表示经过时间，纵轴表示振动的振幅。在该衰减振动中 进行通过以下的式子所表示的傅立叶变换，+00 )= [/(,)n (i)取得该振幅谦，从而取得共振切变曲线。此处，w表示角振动数，F (O))表示所取得的傅立叶i普，f(t)表示衰减振动，t表示时间。以下，示出针对^^切变曲线通ii^发明的共振切变测^r法来测定的结^fpit过以往的方法取得的结果。图6是示出针对图5所示的衰减振动进行本发明的傅立叶变^t^得的共振切变曲线和通过以往的方法i^得的各自的曲线的图。横轴表示试样的单,恢面的振动数，纵轴表示振动振幅，通i^t切变测定 单元的压电器附加的输入电压(Ujn )和使用静电电容计测定的输出电压(UOUT) 之比:J^4示。以往的方法是一个点一个点地对与^^动频率对应的单#滚面的响应进行测定的方法。图6示出本发明是可更良好地对与频率对应的单#滚面的响应进行测定，且可以以短时间连续地对与宽范围的振动频率对应的试样的 单#滚面的响应进行测定的方法。另外，才鹏本发明，可#^#(固体、液体、液晶等)仏2个固体絲 间， 一边狄其厚度，一ii^耕的粘弹I"生变化、摩瘵润滑特性、"^羊和固体 絲的结合强度等进^W。另外，还可以将^L^身iU餅，不在其间夹 入^#，而能够对相互的摩擦(润滑)棒l!iit行测定。另夕卜，还可以通过吸附 或化学《,法LB (Langmuir.Brochette ) ##法1等树该表面进^(辨。另 夕卜，不仅仅使单,滚面沿着水平方向振动，还可以4汰面沿着垂直方向振动来 对淑羊的频率响应断测定。才鹏本发明，无需如以往技，样按照1个1个点M^^动频率下的剪切响应进行测定，就可以以短时间简《組准确^W4y^切变曲线进行测定。接下来，对本发明的另一实施例的双路型切变应力测定进行说明。 图7;l^示^^发明的实施例的双i^型切变应力测定^^置的示意图。 在该图中，31为共振切变测定单元，32为对上部表面沿着7JC平方向进行 驱动的4分割压电元件，33为支撑4分割压电元件32的板簧，34为对板簧33的水平方向位移Ax进^S十量的静电电容位移计(探针)，35为固定在4分割 压电it件32的il部的上部^。另外，固定鄉A的下部表面^#体42的单元40 ^L簧41的前端絲 A的下部表面##体42,在该下部表面^#体42的下面配置有^4t镜43。 另一方面，^L簧41的基部具有对该板簧41沿着上下进行驱动的驱动装置[例 如，电动机(未图示)。另外，51为^^表面间距离测;t^置，具有fct^源52;衍射舰53, 被来自该、^Ub原52的fc^，并分离成计量^p絲光；压电元件54， 对该衍射雄53进糊整；透镜55，接受来自衍射細53的光；固^4t镜 56,接受作为该激光光的,分的基准光；衍射光栅57，再次经由透镜55接的底面的反射镜43^的计量光；光电^l管58，接受来自该衍射iW57的 光；以;^个/^计^f;L59，与压电元件54和光电二极管58连接。由于这样构成，^^^^表面间距离测^* 置51树夹入^# A的表面间的距离的变^iie^测定，#^=羊A的上部表面安^j，j精密切变^yi^定单元31上，对餅的粘举性以^f瘵润滑棒ftii行测定，由此，可精密^ii行切 变应力测定。图8是为了示出本发明的双路型切变应力测定装置的应用例子而使用的试 样的示意图，图9是作为该试样的液晶(4 - cyano -4 - hexylbiphenyl， 6CB) 的化学式，图10是示出^^本发明的X5U^型切变应力测^置;JMt作为该试 样的液晶(4-cyano-4-hexyl biphenyl ， 6CB)进行测定的M曲线的图。3口图8所示，在作为试样的液晶(4-cyano-4-hexyl biphenyl， 6CB) 61的上下配置云母62、 63。即，配置^^作为上部M 35的云母62和作为 下部表面保持体42的云母63之间夹入作为试样的液晶61 。该云母表面中夹入的作为^f羊的液晶(4 - cyano - 4 - hexyl biphenyl ， 6CB)的化学式如图9所示。在图io中，横轴表示^#上部的表面的角振动数"-1)，纵轴表示针对精度切变#^则定单元的压电元件的输入电压(Ui )和由静电电容位移计测定的 输出电压(UQUt)之比。除了对作为^^羊的液晶进行测定得出的结果以夕卜，为了对以不夹入作为"^#的液晶而离开^#体的表面的状态测定的结果空气中 (分离侧)I、和使##体的表面接触来测定的结果空气中(云母—云母接触)I进行t嫩而进^彌绘。餅的表面间距离的横实^^示该距离下的^y^峰值。 舰，对于表面间距离，当^^驱动装置树下部表面^#体向上方进行驱动时，将表面间距离没有变化的点定义为Onm。錄表面间距离变化，XC^到共 振曲线的变化。存在多个Onm的"^值的现絲示表面距离恒U负荷U变化 的情况。另外，才娘本发明，可#^# (液体、固体、液晶等)夹入2个固体絲 间， 一边使其厚度狄， 一狄耕的粘弹性变化、摩瘵润滑特性、^#和固 ^^J^的结合强;l等i^ftW。另夕卜，还可以将^i^身i^餅，不在^ 间夹入餅，而对相互的摩擦(润滑)挣Iiii幹测定。另夕卜，还可以通过吸附 或化学if^法[LB (Langmuir.Brochette法)1等树该表面进#(！^。另外，由于^^激光的^t光，所以无需^Jfeit:iti^以及^^羊，即使在 使用不透明1^L以及不透明试样的情况下，也可以对表面间距离进行测定，在 各距离下对^^羊的粘萍性以^^瘵润滑特'l!ii^f测定。另外，本发明不限于上述实施例，可才Nt本发明的宗旨进行^ft变形，不将这些^MC明的范围排出。 产业上的可利用性本发明的第1共振切变测^r法特别适用于固体表面间的具有纳米等级的 厚度的液体薄膜的物性的简^JL准确的计量。本发明的第2双路型切变应力测^置可利用为可使用用于对不透明皿^置，与第l共振切变测定方法同样地，适用于固体表面间的具有纳米等级 的厚度的液体薄膜的物性的简使JL准确的计量。
权利要求
1.一种共振切变测定方法，在该共振切变测定方法中，将输入信号Uin输入到共振切变测定单元的水平驱动部，针对该共振切变测定单元中的固体表面中所夹入的试样，使用位移计对其单侧表面的振动进行检测来作为输出信号Uout，并与所述输入信号Uin一起，将所述输出信号Uout输入到共振切变计量装置，将所述共振切变测定单元的固体表面中所夹入的试样的剪切响应与膜厚的变化一起进行计量，其特征在于，对所述试样的单侧表面的振动的衰减曲线进行傅立叶变换，来取得共振切变曲线。
2. —种共振切变测定方法，在该#^切变测定方法中，将输入信号Uin 输入到共振切变测定单元的水平驱动部，在固体表面间不夹入试样而将 固体表面本身作为试样，使用位移计对该共振切变测定单元中的试样的单侧表面的振动进行检测来作为输出信号U。ut，并与所述输入信号Uin — 起，将所述输出信号U。ut输入到共振切变计量装置，将所述共振切变测定单元的所述试样的剪切响应与膜厚的变化一起进行计量，其特征在于， 对所述试样的单侧表面的振动的衰减曲线进行傅立叶变换，来取得共振 切变曲线。
3. 根据权利要求l所述的共振切变测定方法，其特征在于，所述试样为薄膜。
4. 根据权利要求l所述的共振切变测定方法，其特征在于，所述试 样为液体。
5. 根据权利要求l所述的共振切变测定方法，其特征在于，所述试 样为液晶。
6. 根据权利要求1所述的共振切变测定方法，其特征在于，所述试 样为纳米尺寸的厚度。
7. 根据权利要求1或2所述的共振切变测定方法，其特征在于，通 过吸附或化学修饰法对所述试样的表面进行修饰。
8. 根椐权利要求1或2所述的共振切变测定方法，其特征在于，所述共振切变曲线为所述试样的剪切响应的频率特性。
9. 一种共振切变测定装置，其特征在于，该共振切变测定装置具有 波形发生器；电源，与该波形发生器连接；共振切变测定单元，与该电 源连接且被输入输入信号Uin;位移计，与该共振切变测定单元连接；共 振切变测定装置，与该位移计以及所述电源连接且被输入输出信号U。ut 以及输入信号Uin，该共振切变测定装置具有U)计时部、(b) 与该计时部和所述位移计连接的傅立叶变换部、(c) 与该傅立叶变换部连接的振幅谱生成部、(d) 振幅(U。ut/Uin)的标准部、以及(e) 共振切变曲线制成部；以及(f)计算机，与所述波形发生器和共振切变测定装置连接。
10. —种双路型切变应力测定方法，其特征在于，在该双路型切变i射镜，组合根据来自所i反射镜的反射光的相:变化来对所述试样的表面间距离位移进行测定的双路表面间距离测定方法和根据共振曲线来 对所迷试样的粘弹性以及摩擦.润滑特性进行测定的测定法，对试样的切 变应力进行测定。
11. 一种双路型切变应力测定装置，其特征在于，该双路型切变应 力测定装置具有(a) 精密切变装置，使试样的上部表面保持体沿着水平方向位移；(b) 位移计，对所述试样的上部表面保持体的向水平方向的位移进 行检测；(c) 由板簧构成的所述试样的下部表面固定单元，在前端保持所述 试样的下部表面保持体且具有在所述下部表面保持体的底面配置的反射 镜；(d) 驱动装置，驱动该下部表面固定单元来对所述试样的下部表面 保持体沿着上下进行驱动；和(e) 双路表面间距离测定单元，向所述反射镜照射激光光，根据来下部表面间的距离进行测定，其中，(f )对所述试样的上部表面和所述试样的下部表面间的每个距离的 所述试样的粘弹性以及摩擦.润滑特性进行测定。
12. 根据权利要求11所述的双路型切变应力测定装置，其特征在于， 根据所述试样的共振曲线来对所述试样的粘弹性以及摩擦.润滑特性进 行测定。
13. 根据权利要求11或12所述的双路型切变应力测定装置，其特 征在于，所述试样为透明试样或不透明试样。
14. 根据权利要求11或12所述的双路型切变应力测定装置，其特 征在于，所述试样为液体薄膜。
15. 根据权利要求11或12所述的双路型切变应力测定装置，其特 征在于，所述试样为液晶薄膜。
16. 根据权利要求11或12所述的双路型切变应力测定装置，其特 征在于，所述试样为高分子.表面活性剂等吸附层、化学修饰膜。
17. 根据权利要求11或12所述的双路型切变应力测定装置，其特 征在于，所述试样的上部表面保持体以及下部表面保持体中的一方或两 方为不透明M。
全文摘要
本发明提供一种共振切变测定方法，其在试样的剪切响应的测定中，对试样的单侧表面的振动的衰减曲线进行傅立叶变换，来取得共振切变曲线，从而可进行其简便的短时间测定。在共振切变测定方法中，将输入信号U_in输入到共振切变测定单元的水平驱动部，使用位移计对该共振切变测定单元中的固体表面中夹入的试样的单侧表面的振动进行检测来作为输出信号U_out，与所述输入信号U_in一起，将所述输出信号U_out输入到共振切变计量装置，将所述共振切变测定单元的固体表面中夹入的试样的剪切响应与膜厚的变化一起进行计量，其中，使用傅立叶变换部(5B)对所述试样的单侧表面的振动的衰减曲线进行傅立叶变换，来取得共振切变曲线。另外，提供一种双路型切变应力测定装置，其使用可对不透明基板间的距离进行测定的双路法可进行精密的切变应力测定。
文档编号G01N11/00GK101278184SQ200680036158
公开日2008年10月1日 申请日期2006年9月27日 优先权日2005年9月28日
发明者佐久间博, 栗原和枝, 水上雅史 申请人:独立行政法人科学技术振兴机构