专利名称：Tft面板基板检查装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种TFT面板基板检查装置，该TFT面板基板检查装置对液晶显示器(liquid crystal display)或有才几电致发光(electroluminescence, EL)显示器等的平板显示器(f lat panel display)中所使用的包括薄膜晶体管(thin-film transistor, TFT)阵列(array)的TFT面板基板进行;险查；本发明特别是涉及一种对TFT面板基板供给4企查驱动信号的纟笨测器框架(prober frame)。
背景技术：
平板显示器的面板在其制造步骤中，通常是在母玻璃(mother glass)基板上形成包含TFT阵列的图案(pattern)的多个面板，并从所述母玻璃基板切下各面板。在此平板显示器的制造、检查中，必须在从母玻璃基板上切割各面板之前，在母玻璃基板的状态下对TFT面板基板进行评估。
TFT面板基板(薄膜晶体管阵列面板基板)中，关于母玻璃基板的各面板上的配置着矩阵状(matrix)的TFT阵列((薄膜晶体管阵列)的TFT阵列，众所周知有使用非晶硅(amorphous s i 1 icon)的面板、及使用多晶硅(polys il icon)的面板。在使用多晶硅的面板中，形成着对玻璃基板上的TFT阵列供给驱动信号来驱动面板的驱动电路。
在由玻璃基板所形成的基板上，形成着由TFT阵列构成的多个面板。各TFT阵列包括矩阵状排列的多个TFT (基板薄膜晶体管)，此TFT面板基板在从扫描信号电极端子、影像信号电极端子输入的信号的作用下而受到驱动。
作为对所述基板上的各面板上所形成的TFT阵列进行检查的检查装置，众所周知有TFT面板基板检查装置。
在基板上形成着矩阵状排列的由薄膜晶体管构成的TFT阵列，而且，形成着对各薄膜晶体管进行驱动的信号电极端子(扫描信号电极端子、影像信号电极端子)。
另一方面，TFT面板基板4全查装置包括对玻璃基板施加电压的电压施加单元即探测器框架。探测器框架具备多个探针，所述多个探针与基板的信号电极端子电气连接以对基板供给检查信号。探针的针数及排列是与基板的信号电极端子相对应而设置。
在TFT面板基板检查装置中，经由探测器框架的探针来将基板的信号电极端子与检查电路之间予以连接，并通过探针将检查驱动信号供给至TFT
阵列。对^v TFT阵列4佥测出的^r测信号、或通过电子束照射而获得的二次 电子(secondary electron)进行;险测，由此来4全测驱动状态，并进行栅极 -源纟及(gate-source)间的短3各、点缺陷、断线等的4企查。作为此种TFT面 板基板检查装置，众所周知有例如日本专利特开2004-239896号(以下称作 "专利文献l")中的检查装置。
TFT面板基板的信号线通常为5根或5根以上，有时也为具备1000根 信号线的构成。在TFT面板基板上具备用以与所述信号线连接的称作焊垫 (pad)的电极，并通过使探测器框架所具备的称作探针的针与所述电极接 触，而施加驱动电压以进4亍电气驱动。
TFT面板基板检查装置是以所述探针与电极的接触良好为前提来进行 检查的。而在探针与电极的接触不良的情况下，会误将探针与电极的接触 不良检测为TFT面板的缺陷。结果，会误将无缺陷的TFT面板判定为不合 格品，从而导致检查精度或检查效率降低。
自TFT面板基板的大型化或生产效率性方面考虑，母玻璃基板趋于大 型化。为此而使用有具备多个探针的探测器框架。在已使用大型的探测器 框架的情况下，为了使探针与TFT面板基板的电极良好地接触，而要求探 测器框架为高刚性(rigidity)。
然而，在大型的探测器框架中，会因框架的自重所引起的挠曲(flexure) 及探针的反作用力等而导致框架产生翘曲，而使得探针与TFT面板基板的 电极焊垫的接触压力在不同场所下变得不均匀，从而难以对TFT阵列施加 稳定的检查信号，最终会影响到检查结果的可靠性。
此外，探测器框架的翘曲会对检查装置内的探测器框架的搬送造成障碍。
可以预测到的是，随着TFT面板基板及母玻璃基板的大型化的推进， 靠提高探测器框架的刚性是难以应对的。
发明内容
由此，本发明的目的在于解决所述的以往的问题，提高探测器框架的 表面冈'H生(surface rigidity)来减少逾曲。
本发明的目的在于通过提高探测器框架的表面刚性来减少翘曲，从而 使各探针与TFT面板基板的电极的接触压力均匀化。
进而，本发明的目的在于对TFT面板基板供给稳定的检查信号来提高 TFT面板基板;险查装置的可靠性。
本发明中，由外框架与内框架构成探测器框架，且对内框架赋予拉伸 载荷而将该内框架支撑于外框架上，由此提高内框架的表面刚性而实现翘曲小的探测器框架。外框架由包围TFT面板基板的框形状的构件而构成，内框架可由设置在外框架的内侧的軒(girder)材而构成。内框架是通过将多个内框架加以组合，或者与外框架进行组合来形成多个区域。此区域可与母玻璃基板上所设置的各TFT面板基板相对应而设置。
在外框架以及内框架上，设置着与TFT面板基板的电极接触的探针。各内框架分别独立地被赋予拉伸载荷而支撑于外框架上，因此成为不会受到来自邻接的内框架的影响而不易产生翘曲的结构。因此，可提高内框架的表面刚性。
本发明的TFT面板基板检查装置具备电子束产生源，对TFT面板基板照射电子束；二次电子检测器，对在电子束的照射下而从TFT面板基板的像素产生的二次电子进行;险测；以及电压施加单元，包括多个探针，所述多个揮:针与多个TFT面板基一反上的电极4妄触并通过此电极来对像素施加基准电压。
TFT面板基板检查装置中，将电压施加单元载置在TFT面板基板上，使探针与TFT面板基板的电极接触，从而经由探针来对TFT面板基板供给检查信号以驱动各像素。从电子束产生源对驱动状态的像素照射电子束。在电子束照射下从像素释放出二次电子。由于所释放出的二次电子量依存于像素的电压状态，所以利用二次电子检测器来对从像素释放出的二次电子进行检测，由此便可得知像素的电压状态。
像素的电压状态会根据所施加的检查信号而发生变化。将由检测出的二次电子所获得的像素的电压状态、与对正常的像素施加检查信号时所获得的电压状态加以比较，由此来进行TFT面板基板的缺陷检查。
本发明所具备的电压施加单元具有包围TFT面板基板的外周的探测器框架。此探测器框架包括包围多个TFT面板基板的框形状的外框架、及设置在此外框架内的至少一个内框架。内框架是被附加拉伸载荷而安装在外框架的内周壁上。外框架及内框架在与TFT面板基板上的电极相对向的面上具备探针。
通过附加拉伸载荷而将内框架安装于外框架的内周壁上，从而可减少内框架的因自重或探针的反作用力所引起的挠曲，以使表面刚性提高。
将内框架安装在外框架上的型态可以是利用连结材来完成安装的构成。将连结材的一端安装在内框架的至少一端部上，并施加4i伸载荷而将连结材的另一端安装于外框架上。连结材将内框架相对于外框架而至少在探测器框架的面内方向上旋转自如地连结。即便在外框架与内框架在面内方向上产生位移的情况下，通过连结材旋转便可使外框架及内框架不产生翘曲。
此外，连结材可使用至少能够绕单轴旋转的旋转接头。旋转接头以其
6轴方向成为与探测器框架的面内方向正交的方向的朝向而安装在外框架 上。由此，可使内框架相对于外框架而在探测器框架的面内方向上旋转自 如。
内框架可以为各种型态。
在第1型态中，内框架包括配置方向不同的第1方向的框架及第2方 向的框架，且使第1方向的框架与第2方向的框架在交叉部分处互不干涉 地移动自如。由此，即^f更在第1方向的框架材与第2方向的框架进行相对 移动的情况下， 一方的框架也不会干涉到另一方的框架，因此可避免因框 架移动而导致产生框架翘曲。
关于在交叉部分处互不干涉地自如移动的形态，可构成为使内框架 的第1方向的框架与第2方向的框架在交叉部处， 一方的框架贯通另一方 的框架。
此外，交叉部分的框架的贯通结构中，在内框架的第1方向的框架与 第2方向的框架中的其中一方的框架上设置着贯通孔，并在另一方的框架 上设置着贯通着贯通孔的贯通构件。贯通构件在贯通孔的内部，可使两框 架在贯通方向上移动自如。
此外，形成为如下构成，即，使所述贯通孔的内径尺寸与贯通构件的 外径尺寸在铅垂方向上具有规定的容许量而对接。通过形成此构成，当交 叉的框架超过规定的容许量而在框架的长度方向上进行相对移动时，该贯 通构件与贯通孔接触并对接。通过此对接，第1方向的框架与第2方向的 框架可相互分散支撑铅垂方向的载荷。
在第2型态中，使内框架的第1方向的框架与第2方向的框架相对于 外框架而以不同的安装张力来安装。根据此构成，则可使因拉伸支撑内框 架所引起的外框架的翘曲均匀化。
在第3型态中，使内框架的多根第1方向的框架与多根第2方向的框 架中的至少其中一方向的多#4医架，相对于外框架而以不同的安装张力来 安装。
在第4型态中，在内框架上，使对探测器框架的长条方向的框架所赋 予的多个拉伸载荷不同，将中央部附近的拉伸载荷设定得较大，而将端部 附近的拉伸载荷设定得较小。在此构成中，可减少外框架的长条方向的框 架的翘曲。
在第5型态中，在内框架上，将对探测器框架的长条方向的框架所赋 予的拉伸载荷，设定成比对探测器框架的短条方向的框架所赋予的拉伸载 荷更大。在此构成中，可减少对外框架的长条方向的框架所施加的载荷。
根据第2型态~第5型态，可降低外框架的挠曲强度(flexural strength),使零件价格降低，提高组装作业的效率，并减轻组装品的重量。[发明的效果]
根据本发明，可提高探测器框架的表面刚性而减少翘曲。此外，可通
过提高探测器框架的表面刚性而减少翘曲，而使得各探针与TFT面板基板
的电极的接触压力均匀化。
可对TFT面板基板供给稳定的检查信号来提高TFT面板基板检查装置的可靠性。
图1是用以说明本发明的TFT面板基板检查装置中所使用的探针组件(assembly)的构成的图。
图2是用以说明探测器框架的挠曲的图。
图3是用以说明对框架赋予张力时的探测器框架的翘曲的图。
图4是用以说明本发明的TFT面板基板检查装置所包括的探测器框架的构成的图。
图5是用以说明本发明的TFT面板基板检查装置所包括的探测器框架的构成的图。
图6是用以说明本发明的TFT面板基板检查装置所包括的连结部的构成例的平面图以及截面图。
图7是用以说明本发明的TFT面板基板检查装置所包括的连结部的构成例的立体图。
图8是用以说明本发明的TFT面板基板检查装置所包括的交叉部的构成例的截面图。
图9是用以说明本发明的TFT面板基板;险查装置所包括的交叉部的构成例的立体图。
图IO是表示本发明的第l框架与第2框架的铅垂方向的载荷状态的图。图11是用以说明本发明的TFT面板基板;险查装置所包括的交叉部分的另一构成例的图。
1: TFT面板基^反;险查装置3: 二次电子检测器4a、 4b:托板侧连^^器5a:平台侧连接器探测器框架内框架
11:13:
13al、 13a2、14:连结部14b:接合销
13bl、 13b2:凹部
2:电子束源4:托板5:平台
10:探测器框架组件12:外框架13a:第1框架13b:第2框架14a:连接部14c:固定部14d:拉伸螺栓 16:探针
15:探针托架 17:交叉部 18:紧固部 18b:紧固销 19:贯通孔
17a、 17b:交叉部分
18a:紧固材 18c:紧固螺栓 20:液晶面+反 22:电极
21: TFT面板基板
23:像素、TFT阵列
R:张力T的铅垂方向分力
W3:集中载荷
co:等分布载荷
L:梁的长度 T:张力
vl、 v2、 v3、 v4
挠曲量
具体实施例方式
以下， 一边参照附图一边对本发明的实施形态进行详细说明。
图1(a) ~ (d)是用以说明本发明的TFT面板基板检查装置中所使用的探
针组件的构成的图。以下，以液晶面板作为TFT面板基板的情况为例来进
行说明。
液晶面板20是TFT面板基板检查装置1所检查的检查对象，在TFT面 板基板21上形成着TFT阵列23。此TFT面板基板21上所形成的TFT阵列 23的布局(layout),是例如根据液晶面板的尺寸或规格来进行各种设定。 在TFT面板基板21上的TFT阵列23中矩阵状形成着薄膜晶体管，且形成 着对各薄膜晶体管进行驱动的信号电极端子(例如扫描信号电极端子、影像
信号电极端子)。此外，在TFT面板基板21的阵列23的外侧，形成着用以 与液晶基板的外部电气连接的电极22。
本发明的TFT面板基板检查装置1,为了与TFT面板基板21的电极22 电气连接来进行检查而包括探测器框架组件1。探测器框架组件1包括探测 器框架11,且包括与TFT面板基板21的电极22电气连接的探针14。探针 14的针数及排列是与TFT面板基板21的电极22相对应而设定。
液晶面板20配置在托板(pallet)4上，纟笨测器框架11配置在液晶面板 20上。液晶面板20的TFT面板基板21与纟笨测器框架11之间，是以所述电 极22与探针14的电性接触来进行连接，且探测器框架11与托板4之间， 是通过探测器框架11及托板4上所设置的连接器(connector) 4a来进行连 接。另外，图1中，仅表示了设置在托板4上的托板侧连接器4a,而省略 了探测器框架11侧的连接器。
进而，托板4载置在平台(stage)5上且可移动自如。托板4与平台5 之间，是通过设置在托板4侧的托板侧连接器4b与设置在平台5侧的平台 侧连接器5a来进行连接的。接着，使用图2(a)、 (b)来说明探测器框架的挠曲，并使用图3(a)、(b)来说明对框架赋予张力时的探测器框架的翘曲。
图2(a)是说明框架的因自重所引起的挠曲的图，图2(b)是说明因探针的反作用力所引起的框架的挠曲的图。
探测器框架会因探测器框架自身的重量而朝向下方产生挠曲。探测器框架在检查装置内以不与TFT面板基板接触的状态进行搬送。此时，探测器框架的因自重所引起的挠曲，在搬送时必须抑制为小于等于探测器框架与才企查装置侧之间所i殳定的间隙(clearance)。
此外，当探测器框架的探针与TFT面板基板的电极接触时，探测器框架因探针的反作用力而朝向上方产生挠曲，从而在与自重相反的方向上发挥作用。关于由自重与探针的反作用力的合力所引起的探测器框架的挠曲，当所述探测器框架在检查装置内部以与TFT面板基板接触的状态进行搬送时，必须抑制为小于等于探测器框架与冲全查装置侧之间所设定的间隙。
所述专利文献1中，公开了对因自重所引起的挠曲进行^f奮正的构成，但此构成在探针的反作用力的作用下反而会加大挠曲。
图2(a)所示的框架的因自重所引起的挠曲中，最大挠曲量vlmax以如
下的式(l)表示。
v lmax=co*L4/ (384*E*I) ... (1)
其中，E为纵向弹性模数(modulus of longitudinal elasticity), I为截面二F介头巨(sect ional secondary moment) , co为等分布载荷(uniformlydistributed load), L为梁的长度，v lmax为最大l克曲量。
此外，如果将等分布载荷的等价载荷设为Wl，则根据vlmax^co*L7 (384*E*I)=W1*L3/(192*E*I),集中载荷W1以如下的式(2)表示。
Wl=co*L/2... (2)
此外，图2(b)所示的框架的因探针的反作用力所引起的挠曲中，最大挠曲量v 2max以如下的式(3)表示。v 2max=co2*L4/ (384*E*I) ... (3)
其中，E为纵向弹性模数，I为截面二阶矩，co2为等分布载荷，L为梁的长度，v2max为最大挠曲量。
此外，如果将等分布载荷的等价载荷设为W2，则根据v2max-co*L7 (384*E*I)=W2*L3/(192*E*I),集中载荷W2以如下的式(4)表示。
Wl = oo2*L/2... (4)
另一方面，概念性地表示对框架赋予了张力的状态。图3(a)表示框架因自重及反作用力的合力W3而产生的挠曲量v 3。
其中，挠曲量v 3以如下的式(5)表示，合力W3以如下的式(6)表示。v 3=W3*(L/2)7(192*E*I)…(5)
10W3 = v 3* (192*E*I)/ (L/2)3…(6)
图3(b)表示对框架赋予了张力T的情况下的张力T与挠曲量v4的关系。
在此情况下，
sin cx = v 4/A…(7)
cos oc =s in oc /T…(8)
A^L/2(oc非常小的情况下)…(9)
R/T=/(L/2) ... (10)
T = L*R/(2* v 4) ... (11)
其中，R为张力T的铅垂方向分力，W3为集中载荷W与等分布载荷W 的复合载荷的等价载荷，v 3表示复合载荷W3的梁的挠曲。
例如，当在框架的截面二阶矩I为1440 mm4、弹性模数E为19000 kg/mm2、 长度L为2500 mm的框架上，集中载荷W3达到1. 8 kg时，根据式(5)，最 大挠曲量v 3为约5. 4 mm。
另一方面，如图3(b)所示，产生1.8Kg的反作用力R的张力T为2045 kg,此时的最大挠曲量v 4为1. 1隱。
如上所述，通过对框架附加张力，从而不管自重或反作用力的方向如 何，张力的分力R始终会朝向抑制框架挠曲的方向发挥作用，因此能够满 足如下的两个条件，即，当4笨测器框架的^笨针未处于与TFT面板基板的电 极接触的状态下时，将框架因自重所引起的挠曲抑制为小于等于搬送间隙 的条件；以及当探测器框架的探针处于与TFT面板基板的电极接触的状态
于拍殳送间;的条件。— 、 ' ' ' "
图4、图5是用以说明本发明的TFT面板基板检查装置所包括的探测器 框架11的构成的图，且表示构成多个内框架的示例。
探测器框架11包括多个内框架13及外框架12，此外框架12以包围所 述多个内框架13的外周的方式而配置且对各内框架13赋予张力。
图4表示外框架12包围并支撑8根内框架13的构成。外框架12在内 周部分具有开口部分，在此开口部分以能够赋予张力的方式支撑着多根内 框架13。内框架13包括多根第1框架13a、多根第2框架13b、以及将内 框架13的各框架安装在外框架12的内周壁上的多个连结部14。另外，图 4中表示的是在中央部分仅设置着1根第2框架13b并将3根第1框架13a 并排设置的构成，但这些框架的构成可根据液晶面板20内所形成的TFT面 板基板21的片数及排列来进行设定。
此外，第1框架13a与第2框架13b由街状的构件构成，所述框架上 设置着安装探针16的探针托架15。内框架的第1框架13a构成纵框架，第2框架材13构成橫框架。关于 第1框架13a与第2框架13b，通过至少在内框架的面内方向上旋转自如的 连结部14而赋予张力，从而各自的两端安装在外框架12的内周壁上。图4、 图5的构成中，将第1框架13a与第2框架13b的各两端安装在外框架12 的内周壁上。
所述连结部14构成为使内框架13相对于外框架12而在内框架的面 内方向上旋转自如，由此通过外框架12与内框架13的位置偏移来使翘曲 不影响到内框架13。此外，连结部14对内框架13的框架材赋予张力，以 减少框架材因自重或探针的反作用力所引起的挠曲。
此外，因使第1框架13a与第2框架13b的配置方向不同，所以第1 框架13a与第2框架13b在内框架13的内表面上交叉。在此交叉部17上， 如果第1框架13a与第2框架13b处于接触状态，则框架的长度方向上会 产生相对性的变形，此时两个框架4皮此干涉而导致框架产生翘曲。由此， 使第l框架13a与第2框架13b形成为在交叉部17上互不干涉的构成。此 构成例如可通过以下的方式来实现，即，在第1框架13a与第2框架13b 的其中一方的框架上形成着贯通孔，而在另一方的框架上形成着贯通构件， 并使贯通构件穿过贯通孔内。
在外框架12内配置着多个内框架13的构成中，可将对内框架13的第 l框架13a赋予的张力、及对第2框架13b赋予的张力设定为相异。例如， 将对长条的第2框架13b赋予的张力设定得比对短条的第1框架13a赋予 的张力更大，由此通过梁的长度较长而使施加到易产生挠曲的第2框架13b 上的应力降低，从而可以降〗氐第2框架13b所需的挠曲强度(flexural strength)。通过使框架所需的挠曲强度降低，则除了可使零件价格降低之 外，还可通过零件结构的简化而发挥减轻组装零件的重量、及提高组装作 业的效率等的效果。
此外，在内框架上，也可将多个第l框架各自的张力、或多个第2框 架各自的张力设定为相异。例如，将对短条的多个第l框架材13b赋予的 张力设定为中央部分较强而端部较弱，由此可通过梁的长度较长而使施加 到易产生挠曲的第2框架13b的应力降低，从而可使第2框架13b所需的 挠曲强度降低。
由此，与所述的使第1框架与第2框架间的张力相异的构成相同，可 使框架所需的挠曲强度降低，从而除了可使零件价格降低之外，还能够通 过零件结构的简化而发挥减轻组装零件的重量、及提高组装作业的效率等
的效果。
另外，图5中，TFT面板基板检查装置1将探测器框架11载置在液晶 面板20的TFT面板基板21上，且使安装在内框架13的探针托架15上的探针16与TFT面板基板21上的电极22接触。在探针16与TFT面板基板21的电极22接触的状态下，从探针16经由电极22来对TFT面板基板21的像素23供给检查信号。
从电子束源2对TFT面板基板21的像素23照射电子束，并利用二次电子检测器3对由像素2 3释放出的二次电子进行检测，且基于检测出的二次电子来进行像素23的缺陷检查。
以下，使用图6(a) (c)、图7(a)、 (b)来说明连结部的构成例，并使用图8 (a) 、 (b) ~图11来说明交叉部的构成例。
图6(a) ~ (c)是连结部的平面图以及截面图，图7(a)、 (b)表示连结部的立体图。连结部14包括连接部14a,与内框架13的框架(13a、 13b)连接；固定部14c,用以固定在外框架12上；接合销(joint pin)14b,相对于固定部14c而旋转自如地连结着连接部14a;以及拉伸螺栓(tensionbolt)14d,将固定部14c固定在外框架12上并赋予拉伸载荷。
连接部14a在接合销14b的作用下相对于固定部14c而在轴方向上旋转自如，因此即便在内框架13与外框架12的相对角度关系发生变化的情况下，也能够抑制外框架12产生扭曲及内框架13产生损伤翘曲(图6(b)、图7(b))。
此外，因连接部14a对内框架13赋予拉伸载荷，所以将内框架13的两端朝向彼此相反的方向拉伸，由此，使框架的因自重或探针的反作用力所引起的挠曲降低。
图8(a)、 (b) 图10(a) ~ (c)是内框架的框架交叉的部分的构成例。图8(a) 、 (b)是交叉部分的截面图(图8(a))及从其中一方的框架材侧观察交叉部分的图(图8(b))。此外，图9(a)、 (b)是表示交叉的框架在推动(thrust)方向上变动的状态的立体图，图10(a) ~ (c)是用以说明由交叉的框架分散支撑铅垂方向载荷的图。
图8(a)、 (b)、图9(a)、 (b)中，在内框架13的框架材交叉的交叉部17上，在其中一方的框架13b上形成着贯通孔19，另一方的框架的贯通构件穿过此贯通孔19内，由此不管推动方向的位移如何，均可使内框架13的框架材在保持着各自的直线性的状态下交叉。
在交叉部17上，夹持框架13b的两个框架13a间由紧固部18来紧固着。紧固部18具有将两个框架13a间予以连接的紧固销18b,并构成穿过另一方的框架13b上所形成的贯通孔19内的贯通构件。
紧固销18b的两端固定在两个框架13a的端部上所安装的紧固材13a上。此外，两个紧固材13a间通过紧固螺栓18c而结合在一起。此紧固螺栓18c也是贯通另一方的框架13b上所形成的贯通孔19内而安装着。
通过使框架13a的紧固销18b穿过框架13b的贯通孔19，而在框架13a
13相对于框架13b在推动方向上位移的情况下，可使框架13a在不与框架13b干涉的状态下位移。
此外，图10 (a) ~ (c)表示内框架13的框架13a与框架13b的铅垂方向的载荷状态。图lO(a)表示框架13a的紧固螺栓18c在框架13b的贯通孔19内处于非接触状态的情况。在此状态下，框架13a与框架13b的铅垂方向的载荷彼此不会产生影响。
与此相对，图10 (b)、图10 (c)表示框架13a的紧固螺栓18c在框架13b的贯通孔19内处于接触状态的情况。
图10 (b)表示框架13a向铅垂方向的下方位移而使紧固螺栓18c与框架13b的贯通孔19的下方的内表面接触的状态。此外，图10(c)表示框架13b向铅垂方向的下方位移而〗吏紧固螺栓18c与框架13b的贯通孔19的上方的内表面4妄触的状态。
通过使紧固螺栓18c^妻触于框架13b的贯通孔19的内表面，则可使两框架相互分散地支撑铅垂方向的载荷。
图11是用以说明交叉部分17的另一构成例的图。图ll所示的构成例中，在各框架交叉的部分设置着凹部，通过将此凹部加以组合，相对于推动方向的位移不会发生干涉从而确保各框架的直线性，此外，分散支撑铅垂方向的载荷。
交叉部分17a上，在第1框架13a的上表面部分形成着凹部13al，在第2框架13b的下表面部分形成着凹部13bl，并将这些凹部13al与凹部13bl加以组合。
此外，交叉部分17b上，在第l框架13a的下表面部分形成着凹部13a2,在第2框架13b的上表面部分上形成着凹部13b2,并将这些凹部13a2与凹部13b2力口以组合。
此处，各凹部13a、 13b在框架的长度方向上的尺寸，可被设定成比所组合的框架的宽度大出规定的容许宽度，由此相对于推动方向的位移，框架间并不会相互干涉。此外，关于各凹部13a、 13b在框架的铅垂方向上的尺寸，相对于所组合的框架侧的凹部的铅垂方向的尺寸而设定成适当的对接尺寸，由此可在对接时分散支撑铅垂方向的载荷。
此外，通过在交叉部分17a与交叉部分17b上4吏凹部的凹陷方向为相反方向，而使第l框架与第2框架的两框架分散支撑铅垂方向的载荷。
本发明的TFT面板基板检查装置可应用在液晶显示器或有机EL显示器等的平板显示器中所使用的包括TFT阵列的TFT面板基板的检查中。
权利要求
1、一种TFT面板基板检查装置，其特征在于包括电子束产生源，对TFT面板基板照射电子束；二次电子检测器，对在所述电子束的照射下而从所述TFT面板基板的像素产生的二次电子进行检测；以及电压施加单元，包括多个探针，所述多个探针与所述多个TFT面板基板上的电极接触并通过所述电极来对所述像素施加基准电压；且所述电压施加单元包括包围所述TFT面板基板的外周的探测器框架，所述探测器框架包括包围所述多个TFT面板基板的框形状的外框架、及设置在所述外框架的内侧的至少一个内框架，附加拉伸载荷而将所述内框架安装在所述外框架的内周壁上，所述外框架及所述内框架在与所述TFT面板基板上的电极相对向的面上包括所述探针。
2、 根据权利要求1所述的TFT面板基板检查装置，其特征在于 所述内框架在至少一端部上连接着连结部，将所述连结材的一端安装在所述内框架的至少一端部上，且赋予拉伸 载荷而将所述连结材的另一端安装在所述外框架上，将内框架相对于外框架而至少在探测器框架的面内方向上旋转自如地连结。
3、 根据权利要求2所述的TFT面板基板检查装置，其特征在于 所述连结部是能够至少绕单轴旋转的旋转接头，且以所述轴的轴方向成为与探测器框架的面内方向正交的方向的朝向而安装在外框架上。
4、 根据权利要求1至3中任一项所述的TFT面板基板检查装置，其特 征在于所述内框架包括配置方向不同的第1方向的框架与第2方向的框架； 所述第1方向的框架与第2方向的框架在交叉部分处互不干涉地移动 自如。
5、 根据权利要求4所述的TFT面板基板检查装置，其特征在于 所述内框架的第1方向的框架与第2方向的框架在交叉部分处， 一方的框架贯通另一方的框架。
6、 根据权利要求5所述的TFT面板基板检查装置，其特征在于 所述内框架的第1方向的框架与第2方向的框架中的其中一方的框架包括贯通孔，另一方的框架包括贯通所述贯通孔的贯通构件，所述贯通孔的内径尺寸与贯通构件的外径尺寸在铅垂方向上具有规定 的容许量而对接，在对接时，第1方向的框架与第2方向的框架彼此分散支撑铅垂方向的载荷。
7、 根据权利要求4所述的TFT面板基板检查装置，其特征在于 所述内框架的第1方向的框架与第2方向的框架，相对于所述外框架以不同的安装张力而安装着。
8、 根据权利要求4所述的TFT面板基板检查装置，其特征在于 在所述内框架上，多根第1方向的框架与多根第2方向的框架中的至少其中 一方向的多根框架，相对于外框架以不同的安装张力而安装着。
9、 根据权利要求4所述的TFT面板基板检查装置，其特征在于 在所述内框架上，使对探测器框架的长条方向的外框架所赋予的多个拉伸载荷不同，将中央部附近的拉伸载荷设定得较大，而将端部附近的拉 伸载荷设定得较小，从而减少所述外框架的长条方向的翘曲。
10、 根据权利要求4所述的TFT面板基板;险查装置，其特征在于 在所述内框架上，将对探测器框架的长条方向的外框架所赋予的拉伸载荷，设定成比对探测器框架的短条方向的外框架所赋予的拉伸载荷更大， 从而降低对所述外框架的长条方向施加的载荷。
全文摘要
TFT面板基板检查装置包括电子束产生源，照射电子束；二次电子检测器，对在电子束的照射下而从像素产生的二次电子进行检测；以及电压施加单元，包括多个与多个TFT面板基板上的电极接触而施加基准电压的探针。电压施加单元具有包围TFT面板基板的外周的探测器框架。探测器框架包括包围各TFT面板基板的至少一个内框架、以及在内侧包围内框架的框形状的外框架。通过附加拉伸载荷而将内框架安装在外框架的内周壁上，以减少内框架的因自重及探针的反作用力所引起的挠曲，从而提高表面刚性。由此，使各探针与TFT面板基板的电极的接触压力均匀化。
文档编号G01R31/00GK101680926SQ20078005345
公开日2010年3月24日 申请日期2007年8月2日 优先权日2007年8月2日
发明者芝吹直伸, 铃木正康 申请人:株式会社岛津制作所