专利名称：：距离/速度计和距离/速度测量方法
技术领域：
：本发明涉及利用光的干涉对距领l淀对象的距离以及领l淀对象的速度中的至少一方进行湖糧的距离/艘计和距离/速度测定方法。
背景技术：
：禾u用了由激光器产生的光的干涉的距离观糧因属于非接触测定，因而不会扰乱测定赠，以往一直f細作高精度的领啶方法。就，为了实现装置的小型化，半导体激光器被用作光测定用光源。作为其代表性的实例，有采用FM外差(heteiDdyne)干涉计的类型。这种情况下可进行较极巨离的测定，精度也良好，但是由于在半导光器的外部采用干涉仪，故具有光学系统复杂的缺点。相对于此，在文献l(JP特开2006—313080号)、文献2(上田正、山田淳、紫藤近，"半導体^一f^自己結合效果^利用L^足隨歸f，、1994年度電气関係学会東海支部連合大会講演論文集，1994年)、文献3(山田淳、紫藤近、津田紀生、上田正，"轉体lx-if(D自己結合郷&利用L^/J^^f十〖関t3研究'，爱知工业大学研究報告，第31号B，p.3542，1996年)、文献4(GuidoGiuliani,MicheleNorgia，SilvanoDonatiandThienyBosch，'Teaserdiodeself-mixingtechniqueforsensingapplications",JOURNALOFOPTICSA:PUREANDAPPLIEDOPITCS，p.283294，2002年)等中提出了利用激光器的输出光和来自测定)^的返回光么间在半导光器内部的干涉(自耦合型效果)的测定器。采用这样的自耦合型的激光测定器，由于内置光电二极管的半导光器兼有发光、干涉、接收光的各功能，故可大幅度地简似卜部干涉光学系统。因此，传感部仅仅由半导微光器和纖构成，与过去的情况相比乾为小型。另外，具有距离测定范围大于三角测量法的特征。图13表示FP型(Fabiy-Perot型)半导##光器的复^1皆振器模型。来自测定X寸象104的反射光的一部分容易返回到振荡区域的内部。返回来的微弱的光与半导微光器化嘴器101内的激光耦合，动作变得不稳定，产生噪音(复^i皆振器噪音或返回光噪音)。即使相对输出光的相对返回光量极其微小，因返回光引起的半导体激光器的特性的变化仍显著呈现。这样的现象并不限于法布里-珀罗(Fabiy-Perot)型(以下称为FP型)半导皿光器，在垂直空腔表面^lt激光器(VerticalCavitySurfaceEmittingLaser)型(以下称为VCSEL型)、分布反馈激光器(DistributedFeedbackLaser)型(以下称为DFB激光器型)等其它种类的半导傳激光器中也同样呈现。如果激光器的振荡波长由X表示，从接近测定现象104的半导体晶体的壁开面102至鹏啶)(樣104为止的距离由L表示，贝l旌满足以下断皆振^f牛时，返回光和谐振器101内的激光相互加强，激光器输出稍稍增加。L=qX/2…(1)在式(1)中，q表示整数。该5嫁即便在来自测定mi04的tm光极其微弱的情况下，舰半导4繊光器附皆振器101内的敦见反射輔加故而产生放大作用，也能够充分观测该mm。在半导体激光器中，由于根据注入电流的大小，照射频率不同的激光，因此在调制振荡频率时，不需要外部调制器，可通过注入电流直接进行调制。图14为表示在按照某个恒定的比例使半导体激光器的振荡波长改变时的振荡波长和光电二极管103的输出波形之间的l系的图。在满叙(1)戶麻的L二qA/2时，返回光和谐振器101内的激光的相，变成O。(相同相位)，返回光和谐振器IOI内的激光相互加强最大程度；当L=qA/2+A/4时，相位差为180°(相反相位)，返回光和谐振器IOI内的激光相互加强最小禾雖。由此，如果使半导##光器的振荡波长改变，贝赚光输出增强的情形和繊鹏情形交替反复地出现，在M设置于谐振器101上的光电二极管103，检测此时的激光输出时，如图14所示那样，获得恒定周期的阶梯状波形。这样的波形一艇尔为干涉条纹。将该阶梯状的波形，即干涉条纹中的一个个称为模式跳tME冲(modehoppulse)(在下面称为MHP)。MHP是与瑕站莫(modehopping)1^不同的5嫁。比如，在距测定鄉104的距离为Ll时，如果MHP的数量为10个，则在一半的距离L2时，MHP的数量为5个。艮P，在某一定时间使半导皿光器的振荡波长改变时，MHP的数量与观淀距离成比例地改变。因此，如^lil光电二极管103检测MHP，并测定MHP的频率，贝何容易进行距离测定。在自耦合型的激光测定器中，由于可大幅度地简化谐振器外部的干涉光学系统，故具有可使體小型化，并且不需要高速的电路，抗扰乱光强的优点。另外，由于来自测定对象的返回光也可极其微弱，故具有不影响测定对象的反射率，即不选择测^t象的优点。但是，在包括自耦合型在内的过去的干涉型测定器中，存在的问题在于，即使可测量距静止的测定膽的距离，也无法观懂具有速度的测定刘豫的距离。于是，本发明人提出了一种距离/速度计(参照文献1)，其不仅能够测量距静止的观啶X豫的距离，而且倉,测量测定微的速度。图15表示该距离/鹏计的结构。图15的距离/被计，包括向测^^照射激光的半导微光器201;将半导体激光器201的光输出变换为电信号的光电二极管202;，203，其会聚来自半导{機光器201的光，向测定X豫210照射，并且会聚来自领啶赠210的返回光，使其向半导f繊光器201入射；激光器驱动器204，其使半导##光器201中振荡波长ii^卖地增加的第1振荡期间和振荡波皿续地减少的第2振荡期间交替反复出现；电流一电压变^^大器205，其将光电二极管202的输出电流变换为电压并进行放大；信号提取电路206，其对电流一电压变换放大器205的输出电iB4行2次微分处理；计数电路207，其对信号提取电路206的输出电压中包含的MHP的数識行计数；运算装置208，其计算距测定鄉210的距离和测定X^210的速度；表g置209，其显^t算^g208的计算结果。激光器驱动器204将关于时间以恒定的变化率反复增减的三角波驱动电流作为注入电流，向半导体激光器201供给。由此，半导微光器201按照交替地反复产生振荡波长以恒定的变化率^^卖地增加的第1振荡期间和振荡波长以恒定的变化率连续地^b的第2振荡期间的方式被驱动。图16为表示半导微光器201的振荡波长的时间变化的图。在图16中，Pl表示第1振荡期间，P2表示第2振荡期间，Xa表示各期间的振荡波长的最小值，Ab表示各期间的振荡波长的最大值，T表示三角波的周期。从半导体激光器201射出的激光M3M镜203会聚，射入测^(寸象210。由测定对象210反射的光3IM镜203会聚，射入半导皿光器201。光电二极管202，将半导微光器201的光输出变换为电流。电流一电压变换放大器205将光电二极管202的输出电流变换为电ffiit行放大，信号提取电路206，对电流一电压变^^文大器205的输出电腿行2次微分处理。计数电路207，针对第1振荡期间P1和第2振荡期间P2的各期间，对信号提取电路206的输出电压中包含的MHP的数aa行计数。运算装置208，根据半导傳激光器1的最小振荡波长h、最大振荡波长人b、第1振荡期间Pl中的MHP的数量、以及第2振荡期间P2的MHP的数量，计算距领啶鄉210的距离和测定鄉210的鹏。根据在文献i中公开的距离/速度计，可以测量蹈则定x^的距离和测^ja的速度。但是，在该距离/速度计中，为了测定距离、速度，需要至少3次例如在第1振荡期间t—1、第2振荡期间t以及第1振荡期间t+1对MHP的数皿行计数，存在测定所需要的时间较长的问题。
发明内容本发明就是为了解决，课M!研发的，其目的在于Jii共一种利用光的干涉不仅能够测量距静止的测定膽的距离，还能够对测定X像的速度进行测量的距离/速度计和距离/速度测定方法，縮短测定时间。为了达到这样的目的，本发明的距离/速度计包括:第1半导臓光器(1—1)，其向测定m(11)照射第1激光；第2半导##光器(1_2)，其向测定X^按照与第1激光平行的方式照射第2激光；第1激光器驱动器(4—1)，其按照至少振荡波长5S卖地单调增加的振荡期间反复地存在的方式对上述第1半导##光器进行驱动；第2激光器驱动器(4一2)，其按照振荡波长的增减与，第1半导体激光器相反的方式对，第2半导光器进行驱动；第1光接收器(2一l)，其至少将，第1半导皿光器的光输出变换为电信号；第2光接收器(2一2)，其至少将上述第2半导##光器的光输出变换为电信号；计数机构(13)，其对上述第1光接收器的输出信号中包含的、由第1激光和该激光的来自测定对象的返回光所产生的干涉波形的数量，与，第2光接收器的输出信号中包含的、由第2激光和该激光的来自测定X^的返回光所产生的干涉波形的数量分别进行计数；运^m构(8)，其根据战第1和第2半导微光器的最小振荡波长和最大振荡波长与战计数机构的计数结果，计算距战测^m的距离和领l淀膽的速度中的至少一方。本发明的距离/速度测定方法，包括按照至少振荡波，续地单调增加的振荡期间反复存在的方式，驱动对测^t象(11)照射第1激光的第1半导##光器(l一l)的步骤；按照振荡波长的增减与上述第1半导皿光器相反的方式，驱动对测定X像与第1激光平衍也照射第2激光的第2半导微光器(1—2)的步骤；对第l光接收器(2—1)的输出信号中包含的、由第l激光和该激光的来自测定对象的返回光所产生的干涉波形的数量，与第2光接收器(2—2)的输出信号中包含的、由第2激光和该激光的来自测^X^的返回光所产生的干涉波形的数AS行计数的计数步骤；以及根据，第1和第2半导##光器的最小振荡波长及最大振荡波长、与第1和第2激光各自相关的干涉波形的数量，计算距测定对象的距离和测定鄉的鹏中的至少一方的计算步骤。图1为表示本发明的第1实施例的距离/鹏计的结构的方框图。图2为表示本发明的第1实施例的半导傳激光器的振荡波长随时间变化的一例的图。图3A和图3B为以示意方式表示本发明的第1实施例的电流一电压变换放大器的输出电压波形的图，图3C和图3D为以示意方式表示上述滄波电路的输出电压波形的图。图4为表示本发明的第1实施例的计数装置的结构一例的方框图。图5为表示图4的计数装置的动作的流程图。图6A6D为表示图4的计数驢的计数期间的图。图7为表示本发明的第1实施例的运算装置的结构一例的方框图。图8为表示本发明的第1实施例的运算装置的动作的流程图。图9为用于说明本发明的第1实施例中、从激光器驱动器向半导##光器供给的三角波驱动电流的振幅的调整方法的图。图10为表示本发明的第2实施例的距离/速度计的结构的方框图。图11为表示本发明的第1、第2实施例的半导光器的振荡波长随时间变化的另一例的图。图12为表示本发明的第1、第2实施例的半导##光器的振荡波长随时间变化的又一例的图。图13为表就去的激光测定器中的半导鄉光器的复^i皆振親莫型的图。图14为表示半导光器的振荡波长和内置光电二极管的输出波形的关系的图。图15为表，去的距离/皿计的结构的方框图。图16为表示图15的距离/，计中的半导m光器的振荡波长随时间变化的一例的图。具体实施方式本发明是一种根据在采用波长调制的传感时射出的波和由对象物反射的波之间的干涉信号，测量距离的技术。因此，也可适用于自耦合型以外的光学式的干涉计、光以外的干涉计。如果对采用半导，光器的自耦合的情况进行更具体地描述，则在一i^人半导術敫光器对测定X像照躭激光，一边使激光器的振荡波长改变时，在振荡波长从最小振荡波长变为最大振荡波长的期间(或从最大振荡波长至最小振荡波长变化的期间)的测定鄉的位移由MHP的数量反映。于是，可通过研究使振荡波长改变时的MHP的数量来检测测定^m的状态。以上为干涉计的基本原理。(第1实施例)下面参照附图，对本发明的第1实施例进行具体描述。图l为表示本发明的第1实施例的距离/體计的结构的方框图。图1的距离计，包括对观I淀X像ll照射激光的第l、第2半导j繊光器l一1、l一2;分另鹏半导j繊光器l一1、1一2的光输出变换为电信号的第1、第2光接收器、即光电二极管2—1、2—2;分别会聚来自半导体激光器l一l、1—2的光，向测定X^11照射，并且会聚来自测定对象ll的返回光，使向半导，光器1一1、l一2射入的透镜3—1、3—2;使半导体激光器I一l、l一2交替地反复产生振荡波长遊卖地增加的第1振荡期间和振荡波g续地减少的第2振荡期间的第1、第2激光器驱动器4一1、4一2;分别将光电二极管2—1、2—2的输出电流变换为电压，并放大的电流一电压变换放大器5—1、5—2;从电流一电压变大器5—1、5—2的输出电压中去除载波的滤波电路6—1、6—2;对滤波电路6—1、6—2的输出电压中包含的MHP的数量进行计数的计数装置7;计算距测定对象ll的距离和测定对象ll的速度的运算装置8;显^M算装置8的计算结果的显^置9;按照半导体激光器1一l、l一2的驱动电流的振幅变得适当的方式控制激光器驱动器4—1、4一2的振幅调整器IO。电流一电压变换放大器5—1、5—2、滤波电路6—1、6—2和计数装置7构成计数部13。下面为了容易说明，假定半导体激光器1采用不具有跳模(modehopping)Jl^的类型(VCSELX型、DFB激光型)。激光器驱动器4一1、4一2将关于时间按照恒定的变化率而反复增减的三角波驱动电流作为注入电流，供给半导鄉光器l一l、l一2。由此，半导微光器l一l、1一2按照交替反复地产生第1振荡期间和第2振荡期间的方式被驱动，该第1振荡期间中，振荡波长与注入电流的大小成比例以恒定的变化率连续地增加，该第2振荡期间中，振荡波长与注入电流的大小成比例以恒定的变化率M4、。此时，激光器驱动器4—1、4一2，按照半导微光器l一l、l一2中振荡波长的增减相反的方式供给驱动电流。艮P，在半导j繊光器l一l、l一2中，振荡波长的变化率的绝对值相同，而变化率的极性相反。于是，在半导体激光器l一l的振荡波长为最大值时，半导##光器1—2的振荡波长为最小值，在半导微光器l一l的振荡波长为最小值时，半导体激光器1—2的振荡波长为最大值。图2为表示半导光器l一l、l一2的振荡波长随时间变化的图。在图2中，LD1表示半导微光器l一l的振荡波形，LD2标半导##光器l一2的振荡波形，Pl表示第l振荡期间，P2表示第2振荡期间，Xa表示各期间的振荡波长的最小值，人ba表示各期间的振荡波长的最大值，T表示三角波的周肌在本实施例中，振荡波长的最大值Xb和振荡波长的最小值Aa分别始终保持恒定，它们的差值人b—Aa始终保持一定。从半导体激光器l一l、l一2射出的激光Milit镜3—l、3—2而会聚，射入测定mil。此时，半导術敫光器l一1、1—2的激光相互平行地射出，并射入测定旨11。由测^t^11反射的半导傳激光器1—1、1—2的光分别i!Mlt3—1、3—2会聚，并射入半导術敫光器l一1、1—2中。另外，透镜3—1、3—2的聚光不是必需的。光电二极管2—1、2—2分别将半导皿光器1一1、l一2的光输出变换为电流。电流一电压变换放大器5—1、5—2分别将光电二极管2—1、2—2的输出电流变换为电压，并进行放大。滤波电路6—1、6—2具有从调制波提取重叠信号的功能。图3A、图3B分别为以示意方式表示电流一电压变换放大器5—1、5—2的输出电压波形的图，图3C，图3D分别为以示意方式表示熗波电路6—1、6—2的输出电压波形的图。这些附图表示从相当于光电二极管2—1、2—2的输出的图3A、图3B的波形(调制波)中，去除图2的半导j繊光器1—1、l一2的振荡波形(载波)，以提取图3C、图3D的MHP波形(重叠波)的过程。计数装置7针X中滤波电路6—1、6—2的各电路，随时地对、搶波电路6—1、6一2的输出中包含的、每单位时间的MHP的数SS行计数。图4为表示计数装置7的结构一例的方框图，图5为表示计数装置7的动作的流程图。计数装置7由切换开关70、周期测定部71—1、71—2、变换部72—1、72—2构成。首先，计数装置7的切换开关70判断是否切换(图5的步骤S100)，如果切换，贝彻换滤波电路6—1、6—21的输出与周期领啶部71—1、71—2之间的连接(步骤S101)。切换开关70的切换，在每隔三角波的周期T的1/2的时间时发生。艮卩，切换开关70在第1振荡期间P1，将滄波电路6—1的输出与周期测定部71-1的输入连接，将滄波电路6—2的输出与周期湖i淀部71—2的输入连接；在第2振荡期间P2，将滤波电路6—2的输出与周期测定部71—1的输入连接，将搶波电路6-l的输出与周期观啶部71—2连接(步骤SIOI)。周期测定部71—1，每当在切换开关70的输出中产生上升边沿时，测定第l计数期间内的切换开关70的输出的上升边沿的周期(即，MHP的周期)(图5的步骤S102)。同样，周期测定部71—2，每当在切换开关70的输出中产生上升边沿时，观啶第2计数期间内的切换开关70的输出的上升边沿的周期(MHP的周期)(步骤S102)。在这里，采用图6A图6D，对第l、第2的计数期间进行说明。图6A、图6B分另伪以示意方式表示电流一电压变^^夂大器5—1、5—2的输出电压波形的图，图6C、图6D分别为以示意方式表示熗波电路6—1、6—2的输出电压波形的图。Pnl、Pn2、Pn3、Pn4、Pn5、Pn6、Pn7、Pn8分别表示第1计数期间，Pml、Pm2、Pm3、Pm4、Pm5、Pm6、Pm7、Pm8分别表示第2计数期间，tnl、tn2、tn3、to4、to5、tn6、tn7、tn8分别表示第1计数期间Pnl、Pn2、Pn3、Pn4、Pn5、Pn6、Pn7、Pn8的中间时刻，tml、tm2、tm3、加4、加5、tm6、tm7、tm8分别表示第2计数期间Pml、Pm2、Pm3、Pm4、Pm5、Pm6、Pm7、Pm8的中间时刻。如图6C、图6D所示，第l计数期间Pn(Pnl、Pn2、Pn3、Pn4、Pn5、Pn6、Pn7、Pn8)相对滤波电路6—1或6—2的输出中、与振荡波长增加的半导体激光器1—1或1—2对应的输出而设定，第2计数期间Pm(Pml、Pm2、Pm3、Pm4、Pm5、Pm6、Pm7、Pm8)相X寸滤波电路6—1或6—2的输出中的，与振荡波长齡的半导体激光器H或1—2对应的输出而设定。^第1计数期间Pn和第2计数期间Pm比第1振荡期间Pl和第2振荡期间P2的长度，即三角波的周期T的l/2时间短。另外，第l计数期间Pn和第2计数期间Pm的时间需要错开。但是，第1计数期间Pn和第2计数期间Pm的时间可以部分重合。另外，第1计数期间Pn之间的时间也可以部分重合，第2计数期间Pm之间的时间也可以部分重合。输入到周期测定部71—1中的栅极信号GS1是在第1计数期间Pn的起始时上升，在第1计数期间Pn的结束时下降的信号，输入到周期测定部71—2中的栅极信号GS2是在第2计数期间Pm的起始时上升，在第2计数期间Pm的结束时下降的信号。接着，变换部72—1，将周期测定部71—1所测定的MHP的周期的平均值变换为第1计数期间Pn中的每单位时间的MHP的数量n(振荡波长正在增加的情况下半导##光器的干涉波形的数量)，变换部72—2，将周期测定部71—2所测定的MHP的周期的平均值变换为第2计数期间Pm中的每单位时间的MHP的数量m(振荡波长正在减少的情况下半导体激光器的干涉波形的数量)(图5的步骤S103)。如果MHP的平均周期由Ts表示，三角波的频率由f表示，贝晦单位时间的MHP的数量可Mil(2/(fxTs)}而计算。此时的单位时间为三角波的周期T的l/2的时间。计数装置7，每当第1计数期间Pn和每当第2计数期间Pm时进行以上那样的处理。根据图6C、图6D，显然第1计数期间Pn和第2计数期间Pm交替地存在。因此，按照如下方式交替地计算MHP的数量n和m，即在第1计数期间Pn根据周期测定部71—l和变换部72—l的动作，计算MHP的数量n，接着在第2计数期间Pm，根据周期测定部71—2和变换部72—2的动作，计算MHP的数量m。然后，运算装置8基于半导織光器1一1、l一2的最小振荡波长Xa和最大振荡波长入b与MHP的数量n、m，计算距测^(豫11的距离以及测定X^11的速度。图7为表^g算驢8的结构一例的方框图，闺8为表燕算装置8的动作的流程图。运算装置8，包括距离/速度计算部80，其基于半导体激光器l一l、1一2的最小振荡波长Xa和最大振荡波长ib与MHP的数量n、m，计算距测定)(11的距离的候补值和测定X^11的速度的候补值;历史位移计算部81，其计算由距离/3M计算部80计算的距离的候补值与之前计算的距离的候补值之间的差值即历史位移；存储部82，其存储距离/皿计算部80和历史位移计算部81的计算结果；状态判断部83，其根据距离/速度计算部80和历史位移计算部81的计算结果，判断测定X像11的状态；距离/速度确定部8，其根据状态判断部83的判断结果，确定距测定g11的距离和测定对象11的速度的距离和测定対豫ll的速度4。在本实施例中，设测定m11的状态为满足规定剝牛的微小位移状态、或变动比微小位移状态更大的位移状态中的任意一种。在设计数期间Pn和计数期间Pm的每个期间的领i淀对象ll的平均位移为V时，所谓微小位移状态，是指满足ab—Aa)从b〉V/Lb的状态，所谓位移状态，是指满足ab—Xa)从b^V/Lb的状态。其中，Lb为时刻tn(tnl、tn2、tn3、tn4、to5、tn6、tn7、tn8)或tm(tml、tm2、tm3、tm4、tm5、tm6、加7、tm8)时的距离。另外，如果根据将计数期间Pn和计数期间Pm合并后的时间，对位移V进行正规化处理，贝何获得测定对象ll的速度。首先，运算装置8的距离/速度计算部80如下式那样，计算在当前时刻t的距离的候补值L(x(t)，Lp(t)禾口速度的《疾补fl:V(x(t)，V(S(t)，将雜储于存储部82中(图8的步骤S1)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage17</formula>在式(2)式(5)中，MHP(t)为在当前时刻t计算的MHP的数量，MHP(t—l)为在MHP(t)的前1次计算的MHP的数量。比如，如果MHP(t)为通过计数装置7的变换部72—2计算的数量m，则MHP(t—1)为M变换部72—l计算的数量n，相反，如果MHP(t)为ffi31变换部72—l计算的数n，则MHP(t—l)为M变换部72—2计算的数m。另外，上述式(2)和(3)为假定半导##光器l一l、l一2采用不具有跳模5旨的类型的情况。如果半导体激光器l一l、1一2采用具有跳模1^的类型，则需要代替上述式(2)和(3)，采用下述式(2A)和(3A)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage17</formula>L|3(t)二Aax入bx(|MHP(t—1)—(MHP(t)|)/{4xab—Aa—J^np)}...(3A)在这里，Amp表示因跳模现象而变得不连续的频率的宽度的值。在l个期间t内产生多个跳模i赎时，任一Amp者婊示基本相同的值。Z^mp为将在l个期间t内产生的跳模现象弓胞的频率的不连续宽度的大小Amp全部相加所得到的值。候补值La(t)，Va(0为假定湖i淀)(像ll处于微小位移状态而计算的值，候补值L(3(t)，V(3(t)为假定观啶膽ll处于微小位移状态而计算的值。运算装置8,在每当Sil计数體7测定MHP的数量的时刻，进行式(2)式(5)的计算。接着，运算體8的历史位移计算部81，按照下式针对微小位移状态和位移状态的各状态，计算在当前时刻t的距离的候补值，与存储于存储部82中的之前的时刻的距离的候补值之间的差、即历史位移，将蹄储于存储部82中(图8的步骤S2)。另外，在式(6)，式(7)中，设在当前时间t的前1次计算的距离的候补值为La(t—l)，L卩(H)。Vcala(t)=La(t)—La(t—l)…(6)Vcal卩(t)=L(3(t)—L(3(t—1)…(7)历史位移Vcala(t)为假定观啶m11处于微小位移状态而计算的值，历史位移Vcal卩(t)为假定测定X豫11处于位移状态而计算的值。运算驢8，在每当ffi31计数装置7计算MHP的数量的时刻，进行式(6)(7)的计算。另外，在式(4)式(7)中，将测定X豫ll接近本实施例的距离/鹏计的方向规定为正的速度，将远离该距离/速度计的方向规定为负的递度。接着，运算装置8的状态判断部83采用存储于存储部82中的式(2)式(7)的计算结果，判断测定对象ll的状态(图8的步骤S3)。如文献1中戶形己载，在测定，11以微小位移状态(等速运动)移动的情况下，假定测定^m11为微小位移状态所计算的历史位移VcaJa(t)的符号恒定，并且假定测定X像ll为微小位移状态而计算的速度的候补值Va(t)和历史位移Vcaloi(t)的乡树值的平均值相等。另外，在测定X嫁11以微小位移状态等3Iig动的情况下，每当计算MHP的数量的时刻，将假定测定)^11为位移状态而计算的历史位移Vcalj3(t)的符号取反。于是，状态判断部83，在假定测定对象11处于微小位移状态所计算的历史位移Vcala(t)的符号恒定，并且假定测定)(11处于微小位移状态所计算的速度的候补值Va(0与历史位移Vcala(t)的乡叙寸值的平均值相等时，判定测定，11以微小位移状态等ilii动。如文献1中所记载，在测定X寸象11以位移状态移动(等速运动)时，假定测定只豫11为位移状态所计算的历史位移VcalJ3(t)的符号是疸定的，并且假定测定对象11为位移状态所计算的速度的候补值V卩(t)和历史位移Vcal卩(t)的乡树值的平均值相等。另外，在测定X豫11以位移状态进行等速运动的情况下，每当计算MHP的数量的时刻，将假定测定)(豫ll为微小位移状态而计算的历史位移Vcak(t)的符号取反。于是，状态判断部83，在假定湖啶x像ii处于位移状态戶;fi十算的历史位移Vcaip(t)的符号为恒定，并且假定测定X^11处于位移状态所计算的速度的候补值V(3(0和历史位移Vcal卩(t)的绝对值的平均值相等时，判定测定对象ll以位移状态等跪动。如文献1所记载，在测定)(像11以微小位移状态进行等速运动以外的运动的情况下，假定测定对象ll为微小位移状态所计算的速度的候补值Va(t)和假定测定X豫11为微小位移状态所计算的历史位移Vcala(t)的纟fe)(寸值的平均值不一致。同样，假定测定膽ii为位移状态所计算的鹏的候补值vp(t)和假定定对象11为位移状态所计算的历史位移VcalJ3(t)的绝对值的平均值也不一致。另外，在测定膽11以微小位移状态进行等速运动以夕卜的运动的情况下，每当计算MHP的数量的时刻，假定测^m11为微小位移状态所计算的历史位移Vcak(t)的符号取反，g卩使在假定测定X像11为位移状态所计算的历史位移Vc邵(t)存在符号变动的情况下，每当计算MHP的数量的时刻，也不产生该变动。于是，状态判断部83在每当计算MHP的数量的时刻，假定测定对象ll处于微小位移状态所计算的历史位移Vcala(t)的符号取反，并且在假定测定X^ll处于微小位移状态所计算的速度的候补值Voi(t)和历史位移Vcak(t)的绝x寸值的平均值不一致的情况下，判定测定m11以微小位移状态进行等i!M动以外的运动。另外，如果着眼^M的候补值V卩(t)，则V卩(t)的乡树值为常数，该绝对值等于假定测定对象11处于微小位移状态所计算的距离的候补值L(X(t)与半导4繊光器1—1、1—2的波长变化率ab—Xa)从b的乘积的值。于是，状态判断部83，也可在假定观i淀x豫n处于位移状态戶;i十算的速度的候补值v卩(t)的乡叙寸值等于距离的候补值Lct(t)与波长变化率ab—Aa)从b的乘积的值，并且假定测定对象11处于微小位移状态所计算的速度的候补值Va(t)和历史位移Vcala(t)的绝对值的平均值不一致的情况下，判定测定X像ll以微小位移状态进行等^iS动以外的运动。如文献1所记载，测定X像11在位移状态进行等速运动以夕卜的运动的情况下，假定测定X豫11为微小位移状态所计算的速度的候补值Va(t)和假定测定对象ll为微小位移状态所计算的历史位移Vcakt(t)的绝对值的平均值不一致，假定测定x豫ii为位移状态所计算的鹏的候补值vp(t)和假定测定m11为位移状态所计算的历史位移Vcaip(t)的绝对值的平均值也不一致。此外，在测定对象11在位移状态进fi^速运动以外的运动的情况，每当计算MHP的数量的时刻，将假定测定，11为位移状态所计算的历史位移Vcal卩(t)的符号取反转，§卩使在假定测定)(ii为微小位移状态戶;i十算的历史位移Vcak(t)的符号有变动的情况下，每当计算MHP的数量的时刻，也不产生该变化c于是，状态判断部83，在每当计算MHP的数量的时刻，假定测定赠11处于位移状态所计算的历史位移Vcal卩(t)的符号取反，并且假定测定对象11处于位移状态而计算的鹏的候补值VP(t)和历史位移Vc邻(t)的敏寸值的平均值不一致的情况下，判定测定X豫ll以位移状态进行等速运动以夕卜的运动。另外，如果着眼:？的候补值^3^(t)，则Va(t)的^Xt值为常数，该乡叙寸值等于假定测定X豫ll处于位移状态所计算的距离的候补值Lp(t)与半导術敫光器l一1、1—2的波长变化率(Xb—Xa)从b的乘积的值。于是，状态判断部83，也可在假定测^X像ll处于微小位移状态戶;i十算的速度的候补值Vcx(t)的乡叙寸值，等于距离的候补值L(3(t)和波长变化率ab—Aa)从b的乘积的值，并且假定测定膽ii处于位移状态戶;fi十算的繊的候补值vp(t)和历史位移Vcal卩(t)的纟叙寸值的平均值不一致的情况下，判定测定对象以位移状态进行等速运动以外的运动。表1表示以上的状态判断部83的判断动作。表l<table>tableseeoriginaldocumentpage21</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage22</column></row><table>运算装置8的距离/皿确定部84，根据状态判断部83的判断结果，确定测定X^11的，和距测定旨11的距离(图8的步骤S4)。艮P，距离/M确定部84，在判定测^X豫11以微小位移状态进行等i!M动的情况下，将速度的候补值Va(t)作为测定皿ll的速度，距离的候补值VLa(t)作为距测^X像11的距离，在判定测定mil以位移状态进行等艇动的情况下，将繊的候补值VP(t)作为测定X豫ll的速度，距离的候补值L(3(t)作为距领啶X豫11的距离。另外，距离/舰确定部84在判定测^X像11以微小位移状态进行等艇动以外的运动的情况下，将鹏的候补值Va(t)作为测定X豫ll的速度，距离的候补值VLa(t)作为距测定对象ll的距离。其中，实际的距离为距离的候补值La(t)的平均值。另外，距离/鹏确定部84，在判定测定膽11以位移状态进行等速运动以外的运动的情况下，将速度的候补值V卩(t)作为测定)^11的速度，距离的候补值VL(3(t)作为距测定对象ll的距离。其中，实际的距离为距离的候补值VL卩(t)的平均值。另外，根据MHP(t—l)和MHP(t)的大小关系，VP(t)必须为正的值，Va(0为正、负值中的任意一种，但是它们的符号并不表现测定X豫ll的速度的方向。在振荡波长增加的情形下的半导##光器的MHP的数量大于振荡波长>的情形下的半导術敫光器的MHP的数量时，艮P，在n〉m时，测定mil的速度为正向(接近激光器的方向)。运算體8，在比如有来自用户的领l淀结束的指示之前(图8的步骤S5中的"是')，每当通过计数装置7计数MHP的数量的时刻，执行以上那样的步骤S1S4的处理。显示装置9，实时表^MMig算装置8计算的距测定对象11的距离和测定对象ll的速度。另一方面，振幅调整器10采用运算装置8的状态判断部83的判断结果，按照半导体激光器1_1、l一2的三角波驱动电流的振幅成为适当的方式控制激光驱动器4一1、4—2。振幅调整器IO，采用运算装置8的距离/速度计算部80所计算的速度的候补俥Va(t)，VP(t)中的、状态判断部83判断为不是真值而未选择的速度的候补值，进行振幅调整。在判定测定X像11以微小位移状态进行速度运动或等速运动以外的运动的情况下，状态判断部83未选择的速度的候补值为vp(t)，在判定测定对象ll以位移状态进行等速运动或等^动以外的运动的情况下，状态判断部83未选择的速度的候补值为Voi(t)。振幅调整器10，按照状态判断部83未选择的速度的候补值基本等于状态判断部83判定为真值而选择的距离的候补值与半导4機光器1—1、l一2的波长变化率ab—Aa)从b的乘积的值的方式，iM激光器驱动器4一l、4一2，调整三角波驱动电流的振幅。此时，可以调整从激光器驱动器4一1向半导!機光器1一l供给的驱动电流和从激光器驱动器4—2向半导##光器l一2供给的驱动电流双方的振幅，也可调^^壬意一方。图9为用于说明从激光器驱动器4一1、4—2向半导##光器1—1、1—2供给的三角波驱动电流的振幅的调整方法的图。根棘自振幅调整器10的J际，激光器驱动器4一1、4—2，将驱动电流的最大值一直固定在恒定值(在图9的例中，由半导{繊光器1—1、1一2规定的驱动电流的上限值CL)的状态，M增加或减小驱动电流的最小值，来调整驱动电流的振幅AMP。如此，可将驱动电流的振幅设定在适合的值。如本实施例那样，M用多个半导体激光器l一l、l一2的距离/速度计中，如果半导##光器1—1、l一2的波长变化量的乡叙寸值存在差异，贝顿啶值会产生误差。于是，如本实施例那样，M调整三角波驱动电流的振幅，可使半导体激光器l一l、l一2的波长变化量的纟树值相等，可斷氏距离和速度的测定误差。另外，在本实施例中，按照状态判断部83未选择的速度的候补值等于状态判断部83判定为真值而选择的距离的候补值与波长变化率ab—Xa)从b的乘积的值的方式，调整三角波驱动电流的振幅，但是，不必使鹏的候补《貌全等于距离的候补值与波长变化率的乘积的值，只要使其基本相等即可。如上述那样，在本实施例中，使半导体激光器l一l、l一2中交替地反复产生振荡波长连纟彭曾加的第1振荡期间和振荡波长连续地M^的第2振荡期间，针对光电二极管2—1和2—2的各二极管，对光电二极管2—1、2—2的输出信号中包含的MHP的数皿行计数，根据该计数结果和半导体激光l一l、l一2的最小振荡波长Aa以及最大振荡波长入b，可以计算距测定)(，11的距离和测定)tt11的速度。其结果是，在本实施例中，(a)可以使装置小型化；(b)不需要高速的电路；(c)抗扰舌L光强；(d)既灵活采用未选择测定X像的过去的自耦合型的激光测定器的优点，同时不仅能够测量距测定膽11的距离，还能够测量测定微11的速度。另外，根据本实施例，可以判断测定X豫1题行等速运动，还皿行等速运动以外的运动。此外，在本实施例中，从振荡波长的增减相反的半导皿光器l一l、卜2，使相互平行的激光同时射向观啶)(豫11，在比第1振荡期间和第2振荡期间短的第1计数期间Pn，计算光电二极管2—l或2—2的输出中包含的MHP的数量n，在短于第1振荡期间和第2振荡期间，并且至少一部分的时刻与第1计数期间Pn不同的第2计数期间Pm，计算光电二极管2—2或2—1的输出中包含的MHP的数量m，从而对比于文献1中公开的距离/繊计，會^够以更短时间领i淀距离与速度。在文献1中公开的距离/速度计中，需要在至少3次的比如第1振荡期间t一l和第2振荡期间t以麟1振荡期间t+l的期间，对MHP进行计数，在本实施例中，只要在至少3次的比如第1计数期间Pnl和第2计数期间Pml以及第1计数期间Pn2的期间，对MHP的数SS行计数即可。另外，在本实施例中，Mil使半导4繊光器l一l、l一2的波长变化量的绝对值相等，从而可使距离和速度的测定精度提高。此外，在本实施例中计算的速度和距离为图6A图6D的时刻tn(tnl、tn2、tn3、tn4、tn5、tn6、to7、tn8)与时亥!jtm(tml、tm2、tm3、加4、加5、加6、加7、to8)的中间的时亥啲值。比如，采用第l计数期间Pnl中的MHP的数量n与第2计数期间Pml中的MHP的数量m所计算的速度和距离为时刻tnl与tml的中间时亥啲值，采用在第2计数期间Pml的MHP的数量m与第1计数期间Pn2的MHP的数量n戶形十算的鹏和距离为在时刻加l和tn2的中间时亥啲值。因此，也可在图4所示的计数装置7的内部，设置计算与鹏和距离的计算值相对应的时刻的时刻计算部。(第2实施例)在第1实施例中，针对本发明应用于自耦合型的干涉计的情况进行了说明，但是，也可将本发明应用于自耦合型以外的干涉计。图10为表示本发明的第2实施例的距离/速度计的结构的方框图，对与图1相同的结构采用同一标号。在图10中，标号12—1、12—2表示将入射光和反射光分离的分束镜(beamsplitter)。半导体激光器卜l、l一2的激光相互平行地射出，荆才入测定对象ll这一点与第l实施例相同。jg31分束镜12—l、12—2和3tl竟3—l、3—2的激光射入测定膽ll。另外，在本实施例中，由湖啶赠ll反射的半导術敫光器l一l、l一2的光分另嗵过分束镜12—1、12—2，分离为向测定鄉ll的入射光，并导向光电二极管2—1、2—2。由于光电二极管2—1、2—2以后的方案与第1实施例相同，故说明省略。这样，即4顿于自耦合型以夕卜的干涉计，也可获得与第1实施例相同的效果。第l、第2实施例的计数装置7和运算装置8可M31具有比如CPU、剤f^置和接口的计^m和控制这^更件的，，来实现。用于使这样的计算机动作的程序在记录于软盘、CD—ROM、DVD—ROM、存储卡等记录介质中的状，供。CPU将己读入的程序写入存储器中，按照该程序，执行在第l、第2实施例中说明的处理。另外，在第1、第2实施例中，在测定X像11具有非常小的位移的振动时(比如最大^M2nm)、实际的距离的变化(振幅)为数nm，但由于距离计算的分辨率低于位移分辨率，故误差变大。因此，在测定对象处于具有微小位移的运动状态的情况下，代替计算结果，将对位移(速度)进行积分后的值作为距离的变化时，精度提高。此外，在第l、第2实施例中，对半导体激光器l一l、l一2的最小振荡波长Xa相同，并且半导j繊光器l一l和l一2的最大振荡波长Xb相同的情况进行了说明，但是并不限于此，也可如图ll所示的那样，在半导体激光器l一l、l一2之间，最小振荡波长Aa和最大振荡波长入b不同。在图11中，hl、人bl表示半导体激光器l一l的最小振荡波长，最大振荡波长，Aa2、Xb2表示半导j繊光器1—2的最小振荡波长，最大振荡波长。在此情况下，XaalxM)l/{4xabl—Aal)}与Aa2xXb2/{4xab2—Xa2)}始终为相同的固定值。在此瞎况，式(2)式(5)、式(2A)、式(3A)中的Xa、Xb，可以采用Aal、Xbl，也可以采用Xa2、Xb2。此外，虽然在第1、第2实施例中，使半导,光器l一l、l一2呈三角波状，25但是，但并不限于此，也可如图12所示的那样，使半导体激光器l一l、l一2呈锯齿状振荡。即，在本发明中，只要按照至少第1振荡期间Pl反复存在的方式使半导織光器l一l动作，按照振荡波长的增减与半导術敫光器I—I相反的方式使半导体激光器l一2动作即可。可以与图11的情况相同，实现Aal^M，人bl^b2，还可与图2的情况相同，实现Aal-^a2，XbKb2。第1振荡期间Pl的动作与三角波振荡的情况相同。其中，在半导微光器1—1、l一2呈锯齿状振荡的情况下，计数装置7的切换开关70的输出必须固定。即，切换开关70将滤波电路6—1的输出始终与周期测定部71—1的输A^接，将熗波电路6—2的输出始终与周期测定部71—2的输Ai^接。另外，在使半导鄉光器l一l、l一2MH角波状振荡的情况下，能够与测定X豫ll的状态无关:t舰行振幅调整器10的振幅调整，但是，在使半导微光器卜l、l一2呈锯齿状振荡的情况下，仅仅在测定X^11为静止状态时能够进行振幅调整。本发鹏,适用于测量距测定膽的距离和测定^橡的繊的技术。由于干涉型的距离计在观啶距离时，以领淀赠静止为乡树斜牛，故无法测定与具有速度的测定)(，之间的距离。对此，在本发明中，还可以测定距不静止的测定赠的距离。艮卩，按照本发明，可以同时对测定X像的速度(大小、方向)和距离进行测定。另外，按照本发明，根据激光测量器的最小振荡波长和最大振荡波长与计数机构的计数结果，能够判断测定赠是在进行等速运动，还是在进行等速运动以外的运动。另外，根据本发明，从振荡波长的增减处于相反的第1、第2半导体激光器，同时向测定对象照射相互平行的激光，针对第l、第2光接收器的输出信号的每一个，对第l、第2光接收器的输出信号中包含的干涉波形的数敏行计数，由此，會^够以比过去短的时间，测定距离和速度。此外，在本发明中，按照假定测定X豫处于微小位移状态时的避的候补值和假定测定X豫处于位移状态时的驗的候补值中、状态判定部判断不是真值而未选择的速度的候补值，基本等于状态判定部判断是真值而选择的距离的候补值与第1、第2半导体激光器的波长变化率的乘积值的方式，3!31调整从第1、第2激光器驱动器向第1、第2半导##光器供给的驱动电流中的至少一方的振幅，从而可4蝶1、第2半导〈繊光器的波长变化量的会树值相等，倉嫩提高距离和速度的测定精度。权利要求1.一种距离/速度计，包括第1半导体激光器(1-1)，其向测定对象(11)照射第1激光；第2半导体激光器(1-2)，其向测定对象按照与第1激光平行的方式照射第2激光；第1激光器驱动器(4-1)，其按照至少振荡波长连续地单调增加的振荡期间反复地存在的方式对上述第1半导体激光器进行驱动；第2激光器驱动器(4-2)，其按照振荡波长的增减与上述第1半导体激光器相反的方式对上述第2半导体激光器进行驱动；第1光接收器(2-1)，其至少将上述第1半导体激光器的光输出变换为电信号；第2光接收器(2-2)，其至少将上述第2半导体激光器的光输出变换为电信号；计数机构(13)，其对上述第1光接收器的输出信号中包含的、由第1激光和该激光的来自测定对象的返回光所产生的干涉波形的数量，与上述第2光接收器的输出信号中包含的、由第2激光和该激光的来自测定对象的返回光所产生的干涉波形的数量分别进行计数；以及运算机构(8)，其根据上述第1和第2半导体激光器的最小振荡波长和最大振荡波长与上述计数机构的计数结果，计算距上述测定对象的距离和测定对象的速度中的至少一方。2.根据权利要求1戶，的距离/ffi计，其中，第l光接收器，将第l激光和其返回光变换为电信号，，第2光接收器，将第2激光和其返回光变换为电信号。3.根据权利要求1戶，的距离/ffi计，其中上述计辦几构，对M31Jl3S第1及第2激光与各自的返回光t间的自耦合效果所产生的干涉波形的数St行计数。4.根据权利要求1所述的距离/速度计，其中-上述计数机构，在短于±^振荡期间的第1计数期间，求出与上述第l和第2半导体激光器中、振荡波长正在增加的半导光器相对应的光接收器的输出信号所包含的干涉波形的数量，在短于±^振荡期间并且至少一部分的时刻与第l计数期间不同的第2计数期间，求出与战第1及第2半导臓光器中、振荡波长正在减少的半导体激光器相对应的光接收器的输出信号所包含的干涉波形的数量，根据与振荡波长正在增加的半导皿光器相对应的光接收器的输出信号和与振荡波长正在减少的半导皿光器相对应的光接收器的输出信号，交替地求出干涉波形的数量。5.根据权利要求i戶/M的距离/3M计，其中-J^ig敦几构，包括距离/速度计算部(80)，其基于，第1和第2半导##光器的最小振荡波长和最大振荡波长与上述计数机构的计数结果，计算距测定对象的距离的候补值和观l淀3橡的速度的候补值；历史位移计算部(81)，其计算由上淑巨离/皿计算部计算的距离的候补值和前次计算的距离的候补值之间的差值即历史位移；状态判断部(83)，其基于上淑巨离/皿计算部及上述历史位移计算部的计算结果，判定测定,的状态；以及距离/速度确定部(84)，其基于上述状态判断部的判定结果，确定距测定对象的距离和测定)豫的速度中的至少一方。6.根据权利要求5戶腿的距离/鹏计，其中上淑巨离/皿计算部和上述历史位移计算部，使测^t^的状态为微小位移状态和变动比微小位移状态快的位移状态中的任一种，针对假定测定，处于微小位移状态的情况禾嗰定处于位移状态的情况中的各情况，每次战计数机构求出干涉波形的数量时，计算距离的候补值、驗的候补值与战历史位移；上述状态判断部，在每次上淑B离/速度计算部和上述历史位移计算部进行计算时，基于J^巨离/鹏计算部和J^历史位移计算部的计算结果，判断测定对象是处于微小位移状态，还是处于位移状态，并且判断测定x^m皿fi^3l^动、还皿t^i^动以外的运动。7.根据权利要求6戶舰的距离/爐计，其中iJ^状态判断部，在假定测^tm处于微小位移状态所计算的历史位移的符号恒定，并且假定测^jm处于微小位移状态附十算的鹏的候补值与假定测定x像处于微小位移状态戶;i十算的历史位移的t树值的平均值相等时，判定测定对象以微小位移状态进行等3Iii动。8.根据权利要求6戶腿的距离/Mit计，其中上述状态判断部，在假定测^m处于位移状态所计算的历史位移的符号恒定，并且假定测定X像处于位移状态所计算的鹏的候补值与假定测^tm处于位移状态所计算的历史位移的绝对值的平均值相等时，判定测定对象以位移状态进行等艇动。9.根据权利要求6戶腿的距离/鹏计，其中上述状态判断部，在假定测定X^处于微小位移状态所计算的历史位移的符号在每次历史位移的计算时取反，并且假定测定皿处于微小位移状态所计算的速度的候补值和假定领啶对象处于微小位移状态所计算的历史位移的绝对值的平均值不一致的情况下，判定观!f定赠以微小位移状态进行等速运动以外的运动。10.根据权利要求6戶腿的距离/鹏计，其中上述状态判断部，在假定测忽豫处于位移状态所计算的速度的候补值的绝对值等于假定测定鄉处于微小位移状态附十算的距离的候补值与上職1和第2半导體光器的波长变化率的乘积的值，并且假定测^m处于微小位移状态所计算的速度的候补值和假定观啶对象处于微小位移状态所计算的历史位移的乡M值的平均值不一致的情况下，判定测定自以微小位移状态进行等^动以外的运动。11.根据权利要求6戶舰的距离/鹏计，其中，状态判断部，假定测^ia处于位移状态戶^i十算的历史位移符号在每次历史位移的计算时取反，并且假定湖啶膽处于位移状态所计算的被的候补值和假定测定对象处于位移状态所计算的历史位移的绝对值的平均值不一致的情况下，判定测^(豫以位移状态进行等艇动以夕卜的运动。12.根据权利要求6戶腿的距离/速度计，其中战状态判断部，在假定测^X^处于微小位移状态所计算的速度的候补值的会树值等于假定测^tm处于位移状态所计算的距离的候补值与上述第1和第2半导微光器的波长变化率的乘积的值，并且假定测^m处于位移状态戶;fi十算的速度的候补值和假定测定对象处于位移状态而计算的历史位移的绝对值的平均值不一致时，判定测定X豫以位移状态进行等艇动以夕卜的运动。13.根据权利要求1戶皿的距离/ffi计，其中J^M穀几构，在测定3像处于具有微小位移的运动状态时，代替距测定对象的距离和测^m的速度的计算结果，i維移的积分结果作为距测叙豫的距离的变化。14.根据权利要求6所述的距离/速度计，其中还包括振幅调整机构(10)，其按照在假定湖!l定对象处于微小位移状态的情况下的速度的候补值和在假定领l淀对象处于位移状态的情况下的速度的候补值中、上述状态判定部判断不是真值而未选择的速度的候补值，基本等于上述状态判定部判断是真值而选择的距离的候补值与上述第1和第2半导微光器的波长变化率的乘积的值的方式，调整;AJl述第1和第2激光器驱动器向上述第1和第2半导体激光器供给的驱动电流中的至少一方的振幅。15.—种距离/iM测定方法，包括按照至少振荡波，续地单调增加的振荡期间反复存在的方式，驱动对测定X豫(n)照Jt第1激光的第1半导##光器(l一l)的步骤；按照振荡波长的增减与上述第1半导微光器相反的方式，驱动对测^j^与第1激光平行地照射第2激光的第2半导術敫光器(1一2)的步骤；对第1光接收器(2—1)的输出信号中包含的、因第1激光和该激光的来自测定m的返回光所产生的干涉波形的数量，与第2光接收器(2—2)的输出信号中包含的、因第2激光和该激光的来自测定)(的返回光所产生的干涉波形的数翻行计数的计数步骤；以及根据上述第1和第2半导光器的最小振荡波长及最大振荡波长、与第1和第2激光各自相关的干涉波形的数量，计算距测定m的距离和测定Xtm的速度中的至少一方的计算步骤。16.根据权利要求15戶腿的距离/鹏测定方法，还包括M3U^&第1光接收器，将第l激光和其返回光变换为电信号的步骤，MJl^第2光接收器，将第2激光和其返回光变换为电信号的步骤；17.根据权利要求15戶脱的距离/速度测定方法，还包括±述第1光接收器，将上述第1半导皿光器的光输出变换为电信号的步骤；以及MJl^第2光接收器，将上述第2半导光器的光输出变换为电信号的步骤；所述计数步骤，包括对因第1及第2激光与各自的返回光之间的自耦合效应而产生的干涉波形的数m行计数的步骤。18.根据权利要求15所述的距离/速度测定方法，其中所述计数步骤包括在短于振荡期间的第1计数期间，求出上述第1和第2半导JW[光器中、与振荡波长正在增加的半导体激光器相对应的光接收器的输出信号中包含的干涉波形的数量的求出步骤；以及在短于振荡期间并且至少一部分的时刻与第1计数期间不同的第2计数期间，求出与战第l和第2半导ffi光器中、振荡波长正在减少的半导体激光器相对应的光接收器的输出信号所包含的干涉波形的数量的求出步骤；该2个求出步骤交替地执行。19.根据权利要求15戶脱的距离/速度测定方法，其中戶鹏十算步骤包括基于上述第1和第2半导##光器的最小振荡波长和最大振荡波长与已计数的干涉波形的数量，计算距测定膽的距离的候补值和测定赠的速度的候补值的步骤；计算距离的候补值和前次计算的距离的候补值的差值即历史位移的步骤；基于距观(淀鄉的距离的候补值和测定鄉的鄉的候补值与历史位移，判断测定繊的状态的判定步骤；以及基于判断结果，确定距测定X像的距离和测定X像的速度中的至少一方的步骤。20.根据权利要求19所述的距离/测定方法，其中计算候补值和历史位移的步骤包括使测定微的状态为微小位移状态和变动比微小位移状态快的位移状态中的任意一种，针对假定测定)(豫处于微小位移状态盼瞎况和假定位于位移状态的情况中的每种情况，在每7M干涉、跡的数量进行计数时，计算距离的候补值、速度的候补值与历史位移的步骤；戶;M判定步骤包括在每次计算候补值和变更历史时，判定测^X^是处于微小位移状态、还是处于位移状态，测定只豫皿行等3I^动、还皿^^Iig动以外的运动的步骤。21.根据权禾腰求20戶脱的距离/速衝则定方法，其中还包括:按照在假定测定膽处于微小位移状态时的速度的候补值和假定测定X豫处于位移状态时的速度的候补值中、由戶舰判定步骤判断不是真值而未选择的速度的候补值基本等于由所述判定步骤判断是真值而选择的距离的候补值与上述第1和第2半导体激光器的波长变化率的乘积的值的方式，调整向，第1和第2半导体激光器供给的驱动电流中的至少一方的振幅的步骤。全文摘要本发明距离/速度计，包括第1、第2半导体激光器，向测定对象照射平行的激光；第1激光器驱动器，驱动第1半导体激光器使得至少振荡波长连续地单调增加的振荡期间反复地存在；第2激光器驱动器，驱动第2半导体激光器使得振荡波长的增减与第1半导体激光器相反；第1、第2光接收器，至少将第1、第2半导体激光器的光输出变换为电信号；计数机构，对因第1激光和该激光的来自测定对象的返回光所产生的干涉波形的数量，与因第2激光和该激光的来自测定对象的返回光所产生的干涉波形的数量分别计数；以及运算机构，根据第1和第2半导体激光器的最小振荡波长和最大振荡波长与计数机构的计数结果，计算距测定对象的距离和测定对象的速度。文档编号G01P3/36GK101281031SQ20081009632公开日2008年10月8日申请日期2008年4月1日优先权日2007年4月3日发明者上野达也申请人:株式会社山武