专利名称：装载有校正用气室的气体分析装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种使用了激光吸收光谱技术的气体分析装置。
背景技术：
在使用激光吸收光谱进行气体测量的情况下，基本上能够按照朗伯-比尔 (Lambert Beer)定律来在理论上求出浓度。但是，光学调整有限度，因而难以与理论完全一 致。就现实来说，一般使用零气、浓度已知的气体来制作检量线，将吸光度换算为浓度。此时，将校正用气体导入测量用气室(Gas Cell)，根据其输出进行灵敏度校正。在 其它方法中，始终设置有另外的光学系统、校正用气室以及光检测器，利用半透半反镜将作 为测量光的激光的一部分分离取出并导入到校正用气室，由此具备监视校正值的功能(参 照专利文献1)。专利文献1 日本特开2005-106546号公报
发明内容
发明要解决的问题在使用测量用气室进行校正的情况下，在每次进行校正时都需要将校正用的气体 导入测量用气室。为此，需要具有特别的气体配管以及切换阀等的流路结构。还必须保持 校正用的气体。这种装置结构复杂，并且规模较大。另外，校正用气体也有时会吸附或停留 于用于测量用气室的配管内、阀或者测量用气室本身中，因此在测量精确度上也存在问题。始终具备校正用气室的分析装置具有能够始终对校正值进行监视的优点。但是， 能够用于测量用气室的激光的光量由于半透半反镜而变弱，因此测量用光检测器中的信噪 比(S/N:信号与噪声之比)降低。并且除了具备对透过测量用气室的光进行检测的测量用 光检测器以外还具备监视用光检测器，因此需要增加对两个光检测器之间的灵敏度和线性 度等特性进行的调整，也导致了装置的复杂化。本发明的目的在于，在用于激光吸收光谱测量的分析装置中，不需要向测量用气 室导入校正用气体，并且也不需要额外设置光检测器。用于解决问题的方案在本发明中，为了解决这些问题，能够仅在需要时将校正用气室插入到光路上。即，本发明的分析装置具备激光光源，其产生作为测量光的激光，该测量光具有 被试样气体中的测量对象成分吸收的特定波长；激光光源驱动控制装置，其对激光光源的 驱动进行控制；光检测器，其配置于接收激光的位置处；试样气体测量用气室，其配置于从 激光光源到光检测器的激光的光路上；至少一个校正用气室，其封入有校正用气体；校正 用气室安装机构，其能够将校正用气室中的一个校正用气室可装卸地配置于激光光路上； 以及运算装置，其根据光检测器的检测信号算出试样气体中的测量对象成分的浓度。在下面的说明中，在具体表示波长时使用波数来代替波长。波数与波长相对应，因 此在本发明中，“波长”作为包含“波数”的概念而被使用。
通过另外具有校正用气室，不需要将气体导入测量用气室，也不需要具有校正用 的储气罐，因此校正操作简单并且装置结构也不复杂。另外，由于将校正用气室可装卸地插入到使用于气体测量的光路上，因此不需要 对光学系统追加新的部件。另外也由于不利用半透半反镜对测量用激光进行分离，因此能 够维持激光的光量。并且，由于使用测量用光检测器进行校正，因此能够实现精确度高的校 正。通过改变气体种类、浓度、压力等参数能够制造多种规格的校正用气室，从而成为 能够实现更高程度校正的方式。作为激光光源，能够使用仅产生单一波长的光的激光二极管，但是为了扩展测量 对象、对分析对象具有通用性、或者提高信噪比，能够使用可改变波长的激光光源。作为激 光光源，一般使用振荡光谱线宽较窄的DFB激光(Distributed FeedBackLaser 分布反馈 型激光)二极管，但是只要是能够达到同样的技术要求的激光光源则并不限定其种类。在 使用能够改变波长的激光光源的情况下，激光光源驱动控制装置控制对激光光源的驱动， 使得在对测量对象成分进行测量时产生特定波长的激光。在波长可变激光光源中，能够通过对驱动电流、激光器主体温度这类参数进行控 制来调节所产生的激光的波长。因此，优选为激光光源驱动控制装置具备波长变动数据保 持部，该波长变动数据保持部保持波长变动数据，该波长变动数据表示所产生的激光的波 长与参数之间的关系，在对测量对象成分进行测量时，激光光源驱动控制装置根据所保持 的波长变动数据控制对激光光源的驱动，以使激光光源产生特定波长的激光。作为波长可变激光光源的一例，能够使用如下的激光光源具备对激光器主体的 温度进行调节的温度调节机构，能够通过调节激光器主体的温度使产生的激光波长发生变 化。在这种情况下，优选为激光光源驱动控制装置进行以下控制向用于驱动激光光源的激 光器主体提供固定的基准电流，向用于调节激光器主体温度的温度调节机构提供温度控制 用电流。在要使从波长可变的激光光源产生的激光波长固定时，控制向温度调节机构提供 的电流以使激光器主体的温度固定；在要使产生的激光波长发生变化时，控制向温度调节 机构提供的电流以使激光器主体的温度发生变化。在使用波长可变激光光源产生特定波长的激光的情况下，需要准确地设定激光光 源的驱动条件，因此优选为能够根据需要或在任意时刻对作为驱动条件设定基础的波长变 动数据进行校正。虽然使用分光器能够准确调整输出波长，但是，在本发明中能够不使用分 光器而准确地设定激光波长。因此，使用作为基准的峰值波长并基于激光器主体温度等参 数与所产生的激光波长之间的关系对波长变动数据进行校正。在此，作为本发明优选的一个方式，校正用气室包括波长校正用气室，该波长校正 用气室中封入有具有已知的吸收峰波长的气体。在这种情况下优选为激光光源驱动控制装 置具备波长变动数据校正部，该波长变动数据校正部基于将波长校正用气室安装于光路时 的吸收峰波长来对波长变动数据进行校正。在波长校正中，通过使用多个吸收峰波长，能够更加精密地进行校正。也可以使用由一个波长校正用气室产生这种多个吸收峰的装置。优选为使用于波 长校正的吸收峰与其它吸收峰相比强度大并且陡峭。如果由一个波长校正用气室产生的吸 收峰中包含多个这种适当的吸收峰，则也能够使用它们。
但是，在由一个波长校正用气室产生的适当的吸收峰是一个的情况下，优选为使 用封入有不同的气体的多个波长校正用气室。在这种情况下优选为，例如这种波长校正用 气室包括第一波长校正用气室和第二波长校正用气室，该第一波长校正用气室中封入的气 体的吸收峰波长位于比用于对测量对象成分进行测量的特定波长更长的长波长侧，该第二 波长校正用气室中封入的气体的吸收峰波长位于比特定波长更短的短波长侧。进行波长校正的其它优点在于能够对激光装置进行驱动使其产生将干涉影响限 制到最小限度的最适合波长的激光。另一个校正是校正检量线数据的灵敏度校正。为此，校正用气室包括至少两个灵 敏度校正用气室，上述至少两个校正用气室中封入有浓度互不相同且浓度已知的测量对象 成分。在这种情况下，运算装置具备检量线数据保持部，其保持用于算出测量对象成分浓 度的检量线数据；以及检量线数据校正部，其利用在将灵敏度校正用气室安装于激光的光 路时得到的吸光度对检量线数据保持部的检量线数据进行校正。使用灵敏度校正用气室的其它优点是能够改良对低浓度试样进行测量时的信噪 比。在对吸光度进行测量的情况下，随着试样气体中的测量对象成分的浓度降低，与本底的 区别变得不明显，当由于装置的不稳定等而引起激光光源的波长漂移等时，难以发现正确 的吸收峰，导致信噪比降低而测量精确度降低。因此，优选的方式是，在测量试样气体时也 将灵敏度校正用气室配置于激光的光路上。在这种情况下，运算装置具备吸光度修正部，该 吸光度修正部从利用光检测器求出的吸光度中减去利用在测量试样气体时被配置于激光 的光路上的灵敏度校正用气室得到的吸光度。例如，当将以Ippm的浓度封入了测量对象成 分的气室作为灵敏度校正用气室配置在激光光路上来进行试样气体的测量时，即使试样气 体的测量对象成分浓度接近0，光检测器也总是检测到透过浓度为Ippm以上的测量对象成 分的激光，因此相对于本底来说峰值位置较为明显，从而能够抑制信噪比的降低。发明的效果通过使用本发明，在激光吸收光谱分析中，能够根据需要使用多个气体吸收线进 行波长校正，能够减少干涉气体的影响而对测量波长进行正确设定，或者能够进行检量线 数据校正等多种校正，从而能够利用高精确度的激光吸收光谱来进行气体测量。
图1是概要性地表示一个实施例的框图。图2A是详细示出该实施例中的校正用气室安装机构附近的俯视图。图2B是表示作为校正用气室安装机构的支承机构的正视图。图3是示意性地表示具备多个校正用气室的校正用气室安装机构的一例的概要 结构图。图4是示意性地表示具备多个校正用气室的校正用气室安装机构的其它例的概 要结构图。图5是表示能够进行波长校正的控制部的框图。图6是表示封入有CH4的波长校正用气室的吸收光谱的图表。图7是表示封入有H2O的波长校正用气室的吸收光谱的图表。图8是表示校正后的波长变动数据的图表。
图9是表示CO的吸收光谱的图表。图10是表示能够进行灵敏度校正的运算装置的框图。图11是表示检量线数据的校正的图表。图12是表示提高灵敏度的测量方法的图表。附图标记说明2 激光光源；3 温度调节机构；6 控制部；4 激光驱动电路；8 光检测器；10 激 光光路；12 试样气体测量用气室；14、14a 14d 校正用气室；16 运算装置；22 校正用 气室安装机构的支承机构；23 气室保持架；15 通孔；30 波长变动数据保持部；32 波长 变动数据校正部；40 检量线数据保持部；42 检量线数据校正部；44 吸光度修正部。
具体实施例方式图1概要性地示出了一个实施例的分析装置。在本实施例中，产生作为测量光的 激光的激光光源2是能够改变波长的DFB激光二极管，该测量光具有被试样气体中的测量 对象成分所吸收的特定波长。对能够改变波长的激光光源的种类并没有特别限定。为了调 节激光光源2的激光器主体的温度，激光光源2内置有由珀耳帖元件(Peltier Element) 构成的温度调节机构3。作为控制对激光光源2的驱动的激光光源驱动控制装置，具备激光驱动电路4以 及控制部6，该控制部6由运算处理电路或专用计算机或通用个人计算机构成。激光驱动电 路4根据来自控制部6的控制信号提供固定的基准电流Io作为对激光光源2进行驱动的 驱动电流。为了对从激光光源2产生的激光的波长进行调节，控制部6还对温度调节机构 3的珀耳帖元件提供温度控制用的电流It。对温度控制用电流It进行控制，使得从激光光源2产生的激光的波长成为在对试 样气体中的测量对象成分浓度进行测量时要测量吸光度的特定波长，或者在进行波长扫描 时扫描范围内包括该特定波长。此时激光器主体的温度被调节为与特定波长相对应的固定 温度。在对试样气体或校正用气室中的气体的吸收光谱进行测量时，对从激光光源2产生 的激光进行波长扫描。为此，由控制部6对温度控制用电流It进行控制以使激光器主体的 温度发生变化。在接收从激光光源2产生的测量用激光的位置处配置有光检测器8。光检测器8 是光电二极管或光电倍增管。在从激光光源2至光检测器8的测量用激光的光路10上配置有试样气体测量用 气室12。测量用气室12是流通室，流通试样气体。该分析装置具备封入有校正用气体的至少一个校正用气室14。作为校正用气室 14的种类，有波长校正用气室和灵敏度校正用气室。并且，设置有校正用气室安装机构(在 图1中省略图示)，该校正用气室安装机构能够将校正用气室中的一个可装卸地配置在光 路10上。光检测器8的检测信号被输出到由运算处理电路、专用计算机或通用个人计算机 构成的运算装置16中。运算装置16具备根据光检测器8的检测信号算出试样气体中的测 量对象成分浓度的程序。 可以利用同一装置实现控制部6和运算装置16，也可以利用不同的装置实现控制
7部6和运算装置16。在对从激光光源2产生的激光的波长进行校正时，光检测器8的检测信号也被输 出到控制部6。图2A是详细地示出校正用气室安装机构附近的俯视图。为了将从测量用气室12 射出的激光引导至光检测器8，利用折返镜18使激光的光路10改变方向，并利用聚光镜20 对其进行聚光来将其引导至光检测器8。激光从激光光源2射出，通过使激光向测量用气室 12入射的光学系统成为平行光并被引导入气室12。从气室12射出的激光保持平行光的状 态从折返镜18被引导向聚光镜20，利用聚光镜20将其聚光在作为光检测器的光电二极管 8上。校正用气室14被可装卸地安装于激光光路10上。在本例中，能够将校正用气室14 配置于折返镜18与聚光镜20之间的光路上。进行设计使得不会由于校正用气室14的插 入而使激光产生渐晕(Vignetting)或引起激光在光检测器8上的聚光位置偏移、或者即使 有偏移但光检测器8的输出也是固定的或能够对光检测器8的输出进行校正。在配置有测 量用气室12和校正用气室14的光路中，为了避免气室12、14的窗片平行而引起干涉，在窗 片上附有楔块(Wedge)。如图2B中正视图所示，作为校正用气室安装机构的支承机构22在上部具有开口 的部分使得能够以将校正用气室14从上方嵌入的方式安装校正用气室14，对支承机构22 进行定位使得当将气室14安装于该开口部时光路10透过气室14的中心部。图3示意性地示出了具备多个校正用气室14a 14d的情况。选择气室14a 14d中的任一个安装在支承机构22上。当不使用校正用气室时，气室14a 14d中的任一 个都不安装在支承机构22上。图4示出了校正用气室安装机构的其它实施例。利用与激光的光轴10平行的旋 转轴25以能够进行旋转的方式支承气室保持架23。气室保持架23在以该旋转轴25为圆 心的圆周上配置有一个通孔15和多个校正用气室14a 14c。通过使气室保持架23进行 旋转，能够将通孔15或气室14a 14c中的任一个气室配置在光轴10上。在进行通常的 试样气体测量时，进行定位使通孔15位于光轴上，在进行波长校正或灵敏度校正、或对低 浓度试样进行测量时，将气室14a 14c中的规定的一个气室配置在光路10上。接着，利用图5到图9对波长校正进行说明。为了能够进行波长校正，如图5所示， 控制部6具备波长变动数据保持部30，该波长变动数据保持部30保持波长变动数据，该波 长变动数据表示对激光光源2的驱动条件进行规定的参数与所产生的激光波长之间的关 系。在本例中，对驱动条件进行规定的参数是激光器主体的温度、即流向内置于激光器主体 的温度调节机构3的珀耳帖元件的电流值It。波长变动数据表示流向珀耳帖元件的电流值 与所产生的激光波长之间的关系。控制部6还具备波长变动数据校正部32，该波长变动数 据校正部32基于将波长校正用气室安装在激光的光路10上时的吸收峰的波长对波长变动 数据保持部30的波长变动数据进行校正。控制部6还具备用于设定波长的输入部34，该波 长是用于对测量对象成分进行测量的波长。以下，以试样气体中的一氧化碳(CO)作为测量对象成分、使用封入了甲烷(CH4) 的气室和封入了水蒸气(H2O)的气室作为波长校正用气室为例来进行说明。在对测量对象成分进行测量时，控制部6根据波长变动数据保持部30所保持的 波长变动数据控制流向珀耳帖元件的电流值It，以使激光器主体的温度变为产生适于测量CO的特定波长的激光的温度。从激光驱动电路4提供给激光光源2的驱动电流在对测量对 象成分进行测量时和进行校正时都始终为固定的基准电流Ιο。在进行波长校正时，测量用气室12内不流通试样气体，而在气体测量用气室12中 替换为氮气等不包含测量对象成分的气体。将封入了 CH4的波长校正用气室作为校正用 气室配置在光路10上，对从控制部6流向温度调节机构3的珀耳帖元件的电流值进行控 制以使激光器主体的温度发生变化。由此，从激光光源2产生的激光的波长发生变化而进 行波长扫描。通过该波长扫描，得到图6所示的吸收光谱。如图6中箭头所示那样，CH4在 4294CHT1附近具有突出的强吸收线。可以明确获知该吸收线的详细的峰值波长(波数)。 控制部6的波长变动数据校正部32取入该峰值波长和此时的激光器主体的温度、即流向温 度调节机构3的珀耳帖元件的电流值It1作为波长变动数据。接着，将封入了 H2O的波长校正用气室作为校正用气室配置在光路10上，同样对 从控制部6流向温度调节机构3的珀耳帖元件的电流值进行控制以使激光器主体的温度发 生变化。由此，从激光光源2产生的激光的波长发生变化而进行波长扫描，通过该波长扫 描，得到图7所示的吸收光谱。如图7中箭头所示那样，H2O在4270CHT1附近具有突出的强 吸收线。可以明确获知该吸收线的详细的峰值波长(波数)。控制部6的波长变动数据校 正部32取入该峰值波长和此时的激光器主体的温度、即流向温度调节机构3的珀耳帖元件 的电流值It2作为波长变动数据。这样，利用两种校正用气室得到产生两个波长的激光时的电流值I、、It2作为参 数。波长变动数据校正部32利用该两个参数对波长变动数据保持部30所保持的波长变动 数据进行校正。对校正后的波长变动数据进行图示时得到图8。当然，也可以使用三个以上 的峰值波长进行波长校正。当根据该校正后的波长变动数据从输入部34输入用于对测量对象成分进行测量 的波长(波数)时，由控制部6控制流向温度调节机构3的珀耳帖元件的电流值It以得到 用于产生该波长的激光的激光器主体温度。当对作为测量对象成分的CO进行说明时，如图9所示那样，CO从波数4270cm—1到 4300cm-1具有9条特征性的吸收线。利用任一条吸收线都能够测量CO气体的浓度，但是由 于在该频率附近也存在很多CH4、H2O的吸收线，因此不能忽视由于吸收线的干涉引起的噪 声，因此需要很好地选择干涉影响较小的吸收线。通过从输入部34输入这种干涉影响较小 的吸收线的波长(波数)，由控制部6根据校正后的波长变动数据对从激光光源2产生的激 光的波长进行控制。另外，也能够正确地获知使用CO的这些多条吸收线中的第几条吸收线 进行测量。这样，通过根据存在干涉影响的气体种类而分开使用CO的吸收线，能够将干涉 影响限制在最小限度。接着参照图10和图11来说明灵敏度校正。灵敏度校正是指对用于将测量得到的 吸光度变换为浓度值的检量线数据进行校正。在进行灵敏度校正时，使用封入有浓度互不 相同且浓度已知的测量对象成分的至少两个灵敏度校正用气室作为校正用气室。如图10 所示，运算装置16具备检量线数据保持部40和检量线数据校正部42，其中，该检量线数据 保持部40保持用于算出测量对象成分的浓度的检量线数据，该检量线数据校正部42利用 将灵敏度校正用气室安装在激光光路10上时得到的吸光度对检量线数据保持部40的检量 线数据进行校正。
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在进行灵敏度校正时，将从激光光源2产生的激光的波长固定为用于测量该测量 对象成分的特定波长。在进行灵敏度校正时，测量用气室12内不流通试样气体，而在气体 测量用气室12中替换为氮气等不包含测量对象成分的气体。设在检量线数据保持部40中 保持有图11中表示为Ao的检量线数据。将以已知浓度Cl封入了测量对象成分CO的灵敏度校正用气室作为灵敏度校正用 气室14配置在光路10上来测量吸光度Ab115接着，将以已知浓度C2封入了 CO的灵敏度校 正用气室作为灵敏度校正用气室14配置在光路10上来测量吸光度Ab2。检量线数据校正 部42使用两个CO浓度CpC2下所得到的吸光度AbpAb2来如图11中A1所示那样对检量线 数据保持部40所保持的检量线数据进行校正。当然，也可以使用三个以上的浓度不同的灵 敏度校正用气室进行灵敏度校正，还可以假定检量线通过原点而利用一个灵敏度校正用气 室进行灵敏度校正。在对试样气体的CO浓度进行测量时，将灵敏度校正用气室14从光路10去除，使 试样气体流入测量用气室12并测量吸光度Ab。运算装置16应用校正后的检量线数据根据 所测量出的吸光度Ab算出浓度。说明在使用灵敏度校正用气室14测量低浓度的测量对象成分的情况下提高信噪 比的方式。在这种情况下，在对试样气体进行测量时也在激光光路10上配置封入有浓度适 当且已知的测量对象成分的灵敏度校正用气室14。在这种情况下测量对象成分为C0，封入 到该灵敏度校正用气室内的CO浓度例如为lppm。设测量用气室12内没有流通试样气体而 利用灵敏度校正用气室14得到的吸光度测量值为Abo。当不在光路10上配置灵敏度校正用气室14而使测量用气室12内流通试样气体 来测量吸光度时，对应于试样气体中的测量对象成分浓度的吸光度测量值如图12的Bo所 示那样变化。根据这种测量方法，在测量对象成分浓度为具有吸光度Ab1这种接近0的低 浓度的情况下，吸收峰变小，与本底的区别变得不明显，由于波长漂移而无法进行准确的浓 度测试。与此相对地，当利用本方式，将灵敏度校正用气室14配置在光路10上并使测量用 气室12流通试样气体来测量吸光度时，即使测量对象成分浓度为具有吸光度Ab1这种接近 0的低浓度的情况下，也会检测到Ab1与Abo相加后得到的吸光度Ab/作为吸光度测量值， 因此不会丢失吸收峰，而能够以足以进行正确的浓度测量的信噪比来进行测量。在这种情况下，如图10所示，运算装置16具备吸光度修正部44。吸光度修正部 44进行从由光检测器8求出的吸光度Ab/中减去灵敏度校正用气室的吸光度Abo的运算， 之后根据检量线数据算出浓度。在上面的说明中，将测量对象成分设为⑶，以CH4和H2O作为封入波长校正用气室 的气体，但是这仅是一例，本发明当然也能够应用于其它气体。
权利要求
1. 一种用于测量激光吸收光谱的分析装置，具备激光光源，其产生作为测量光的激光，该测量光具有被试样气体中的测量对象成分吸 收的特定波长；激光光源驱动控制装置，其控制对上述激光光源的驱动； 光检测器，其配置于接收上述激光的位置处；试样气体的测量用气室，其配置于从上述激光光源到上述光检测器的激光的光路上； 至少一个校正用气室，其封入有校正用气体；校正用气室安装机构，其能够将上述校正用气室中的一个校正用气室可装卸地配置于 上述光路上；以及运算装置，其根据上述光检测器的检测信号算出试样气体中的测量对象成分的浓度。
2.根据权利要求1所述的分析装置，其特征在于， 上述激光光源是能够改变波长的激光光源，上述激光光源驱动控制装置具备波长变动数据保持部，该波长变动数据保持部保持波 长变动数据，该波长变动数据表示对上述激光光源的驱动条件进行规定的参数与所产生的 激光波长之间的关系，在对测量对象成分进行测量时，上述激光光源驱动控制装置根据所保持的波长变动数 据控制对上述激光光源的驱动，以使上述激光光源产生特定波长的激光。
3.根据权利要求2所述的分析装置，其特征在于，能够改变波长的上述激光光源具备对激光器主体的温度进行调节的温度调节机构，能 够通过调节激光器主体的温度使产生的激光波长发生变化，上述激光光源驱动控制装置向用于驱动激光光源的激光器主体提供固定的基准电流， 向用于调节激光器主体的温度的上述温度调节机构提供电流，在要使从能够改变波长的上述激光光源产生的激光波长固定时，上述激光光源驱动控 制装置控制向上述温度调节机构提供的电流以使激光器主体的温度固定，在要使产生的激 光波长发生变化时，上述激光光源驱动控制装置控制向上述温度调节机构提供的电流以使 激光器主体的温度发生变化。
4.根据权利要求3所述的分析装置，其特征在于，上述校正用气室包括波长校正用气室，该波长校正用气室中封入有具有已知的吸收峰 波长的气体，上述激光光源驱动控制装置具备波长变动数据校正部，该波长变动数据校正部基于将 上述波长校正用气室安装于上述光路时的吸收峰波长对上述波长变动数据保持部所保持 的波长变动数据进行校正。
5.根据权利要求4所述的分析装置，其特征在于，上述波长校正用气室包括第一波长校正用气室和第二波长校正用气室，该第一波长校 正用气室中封入的气体的吸收峰波长位于比上述特定波长更长的长波长侧，该第二波长校 正用气室中封入的气体的吸收峰波长位于比上述特定波长更短的短波长侧。
6.根据权利要求1至4中的任一项所述的分析装置，其特征在于，上述校正用气室包括封入了浓度互不相同且浓度已知的测量对象成分的至少一个灵 敏度校正用气室，上述运算装置具备检量线数据保持部，其保持用于算出测量对象成分的浓度的检量 线数据；以及检量线数据校正部，其利用在将上述灵敏度校正用气室安装于上述光路时得 到的吸光度对上述检量线数据保持部所保持的检量线数据进行校正。
7.根据权利要求6所述的分析装置，其特征在于，上述灵敏度校正用气室在测量试样气体时也被配置于激光的光路上， 上述运算装置具备吸光度修正部，该吸光度修正部从利用光检测器求出的吸光度中减 去利用在测量试样气体时被配置于激光的光路上的灵敏度校正用气室得到的吸光度。
8.根据权利要求1至7中的任一项所述的分析装置，其特征在于，上述校正用气室安装机构是能够将校正用气室可装卸地安装于上述光路上的支承机构。
9.根据权利要求1至8中的任一项所述的分析装置，其特征在于，上述校正用气室安装机构具备气室保持架，该气室保持架在以旋转中心为中心的圆周 上配置有通孔和多个校正用气室，通过使该气室保持架旋转来将通孔或任一个校正用气室 配置于上述光路上。
全文摘要
一种用于测量激光吸收光谱的分析装置，具备激光光源，其产生作为测量光的激光，该测量光具有被试样气体中的测量对象成分吸收的特定波长；激光光源驱动控制装置，其控制对激光光源的驱动；光检测器，其配置于接收激光的位置处；试样气体的测量用气室，其配置于从激光光源到光检测器的激光的光路上；以及运算装置，其根据光检测器的检测信号算出试样气体中的测量对象成分的浓度。该分析装置还具备至少一个校正用气室，其封入有校正用气体；以及校正用气室安装机构，其能够将校正用气室中的一个校正用气室可装卸地配置于激光光路上。
文档编号G01N21/27GK102007397SQ200880128659
公开日2011年4月6日 申请日期2008年4月15日 优先权日2008年4月15日
发明者松田直树, 森谷直司 申请人:株式会社岛津制作所