专利名称：测试装置、校正方法及程序的制作方法
技术领域：
本发明涉及测试装置、校正方法及程序。
背景技术：
测试装置，在每个测试周期内，在从基准相位延迟了指定的时间的时序中，输出指定波形的测试信号。另外，测试装置，在从基准相位延迟了所指定的时间的时序中，取得来自被测试器件的响应信号值。另外，测试装置，具备与被测试器件进行信号收发的多个信号输入输出部。调整多个信号输入输出部，以使在测试之前，彼此的基准相位一致(专利文献 1)。专利文献1 日本专利第3565837号说明书。发明所要解决的问题不过，多个信号输入输出部分散设置于多个基板上，由于每块基板条件(例如，连接器的嵌合条件等)的不同，两个信号输入输出部间基准相位的相位差，与在同一基板内的情况相比，在不同基板上时容易变大。于是，要使多个信号输入输出部的基准相位一致时，测试装置，将多个信号输入输出部分成各个群组(例如各基板)，首先，在群组内调整信号输入输出部的基准相位，接着在群组间调整信号输入输出部的基准相位。由此，测试装置能够高效率地使多个信号输入输出部的基准相位一致。此处，以两阶段进行调整时，测试装置需要用于在群组内调整信号输入输出部的基准相位的校正用插件和用于在群组间调整信号输入输出部的基准相位的校正用插件。作为一例，在群组内的调整用校正用插件，设置有将群组内邻接端子短路的配线。测试装置， 使用这种校正用插件，依序使互相连接的两信号输入输出部间的基准相位一致。由此，测试装置，能够使群组内所有信号输入输出部的基准相位一致。另一方面，作为一例，在群组间的调整用校正用插件，被设置有将不同群组间的多个端子一对一短路的配线。测试装置，使用这种校正用插件，算出在不同群组间一对互相连接着的两信号输入输出部的基准相位的差。然后，测试装置，使一方群组内的多个信号输入输出部的基准相位，各自偏移多个对基准相位差的平均值。由此，测试装置能够使不同群组之间的多个信号输入输出部的基准相位一致。然而，若像这样以两个阶段进行调整，便至少需要两种用来调整基准相位而装载在测试装置主体上的校正用插件。于是，校正用插件装载作业的时间及校正用插件的费用等会增大，结果，会增加测试成本。
发明内容
为了解决上述问题，在本发明的第一方式中，提供一种测试装置，用于测试被测试器件，其具有第一端子群组和第二端子群组，所述第一端子群组和所述第二端子群组具有向所述被测试器件输出信号的多个驱动器；第一共用设定部，其共用地设定从所述第一端子群组中的一驱动器和所述第二端子群组中的一驱动器输出的信号的延迟量；以及群组间调整部，其基于所述第一共用设定部在所述第一端子群组内调整基准相位时所设定的延迟量设定值，及所述第一共用设定部在所述第二端子群组内调整基准相位时所设定的延迟量设定值，来拉近从所述第一端子群组内的多个驱动器输出的信号的基准相位与从所述第二端子群组内的多个驱动器输出的信号的基准相位。同时，提供校正这种测试装置的校正方法及程序。此外，上述的发明概要，并没有列举出本发明的所有必要特征。另外，这些特征群的次组合也可成为发明。
图1与被测试器件300 —起表示本实施方式涉及的测试装置10的硬件构成。图2表示本实施方式涉及的测试装置10在校正时的功能构成。图3表示输入输出部30的构成的例子。图4表示输出同一信号的两个输入输出部30的构成的例子。图5表示本实施方式涉及的测试装置10的校正处理流程。图6表示步骤Sll的处理的信号流动。图7表示步骤S12的处理的信号流动。图8表示步骤S13的处理的信号流动。图9表示将第一组端子群组的延迟量的设定值平均设为0时，在端子群组内进行基准相位调整后，第一组至第四组端子群组的延迟量的设定值的例子。 图10表示在图9的内容之外，再加上以第四组端子群组的延迟量设定值作为基准的第一组端子群组的延迟量设定值的例子。图11表示步骤S12的其他处理的连接例。图12表示本实施方式涉及的电脑1900的硬件构成的例子。
具体实施例方式以下通过发明的实施方式来说明本发明，但以下的实施方式并非对权利要求范围的发明作出限制。另外，发明的解决手段不一定必需包含实施方式中所说明的特征的所有组合。图1与被测试器件300 —起表示本实施方式涉及的测试装置10的硬件构成。本实施方式涉及的测试装置10，测试被测试器件(DUT) 300。测试装置10具有主体部12、连接部14、控制装置16。主体部12，搭载多个测试模块18。多个测试模块18中的每个，执行测试程序，并与被测试器件300之间发送和接收信号来测试被测试器件300。更详细地说，在每个测试周期中，多个测试模块18中的每个，在从基准相位延迟了指定的时间的时序，输出指定波形的测试信号。另外，多个测试模块18中的每个，在从基准相位延迟了指定的时间的时序中，取得来自被测试器件300的响应信号值。连接部14，装载于主体部12上。连接部14，搭载被测试器件300，连接多个测试模块18和被测试器件300。作为一例，连接部14可为装载于主体部12的插件等。
控制装置16，控制搭载于主体部12的测试模块18，使多个测试模块18执行被测试器件300的测试。进而，控制装置16，在测试之前先行校正多个测试模块18中的每个。 更详细地说，控制装置16，在校正时，使多个测试模块18中的每个的基准相位彼此一致。图2表示本实施方式涉及的测试装置10在校正时的功能构成。测试装置10，具有第一端子群组21、第二端子群组22、第三端子群组23、多个第一分别设定部31、多个第二分别设定部32、多个第三分别设定部33、至少一个第一共用设定部41、至少一个第二共用设定部42、端子调整部M、群组内调整部56、群组间调整部58。此外，作为一例，端子调整部M、群组内调整部56和群组间调整部58，由控制装置 16来实现。且作为一例，剩下的部件，设置于主体部12内的测试模块18内。还有，在校正时，校正用连接部19代替测试模块18而被装载于主体部12上。第一端子群组21、第二端子群组22和第三端子群组23中的每个，具有多个输入输出部30。多个输入输出部30中的每个，对应一个或多个被测试器件300的各端子而设置。 多个输入输出部30中的每个，具有向被测试器件300的端子输出信号的驱动器和从端子输入信号的比较器。而且，多个输入输出部30中的每个，对被测试器件300的对应端子输入输出信号，而测试被测试器件300。此外，输入输出部30的构成的例子，将在图3及图4中进一步说明。第一共用设定部41，对应第一端子群组21内的其中一输入输出部30而设置。第一共用设定部41，设定从第一端子群组21内的一输入输出部30内的驱动器输出的信号的延迟量，及第一端子群组21内的一输入输出部30内的比较器输入信号的时序的延迟量。此处，由第一共用设定部41调整延迟量的第一端子群组21内的一输入输出部30 内的驱动器，与第二端子群组22内的其中一输入输出部30内的驱动器输出同一信号。于是，第一共用设定部41，共用地设定从第一端子群组21内的一驱动器输出的信号的延迟量和从第二端子群组22内的一驱动器输出的信号的延迟量。例如，从共用的延迟电路供给信号至由第一共用设定部41调整延迟量的第一端子群组21内的一驱动器和第二端子群组22内的其中一驱动器。而且在此时，第一共用设定部41，设定延迟电路的延迟量，该延迟电路延迟共用地对第一端子群组21内的一驱动器和第二端子群组22内的一驱动器供给的信号。此外，第二共用设定部42，对应第二端子群组22内其中一输入输出部30而设置。 第二共用设定部42，设定从第二端子群组22内的一输入输出部30内的驱动器输出的信号的延迟量，及第二端子群组22内的一输入输出部30内的比较器输入信号的时序的延迟量。此处，由第二共用设定部42调整延迟量的第二端子群组22内的一输入输出部30 内的驱动器，与第三端子群组23内的其中一输入输出部30内的驱动器输出同一信号。于是，第二共用设定部42，共用地设定从第二端子群组22内的一驱动器输出的信号的延迟量及从第三端子群组23内的一驱动器输出的信号的延迟量。例如，从共用的延迟电路供给信号至由第二共用设定部42调整延迟量的第二端子群组22内的一驱动器和第三端子群组23内的其中一驱动器。而且在此时，第二共用设定部42，设定延迟电路的延迟量，该延迟电路延迟共用地对第二端子群组22内的一驱动器和第三端子群组23内的一驱动器供给的信号。例如，若在该测试装置10并行测试多个被测试器件300的构成的情况中，可对应用于给予同一信号(例如位址信号)至多个被测试器件300的多个驱动器，而设置第一共用设定部41和第二共用设定部42。多个第一分别设定部31中的每个，对应第一端子群组21内的第一共用设定部41 所对应的一输入输出部30以外的多个输入输出部30中的每个而设置。多个第二分别设定部32中的每个，对应第二端子群组22内的第二共用设定部42所对应的一输入输出部30 以外的多个输入输出部30中的每个而设置。多个第三分别设定部33中的每个，对应第三端子群组23内的多个输入输出部30中的每个而设置。而且，多个第一分别设定部31、多个第二分别设定部32和多个第三分别设定部 33，设定从对应的输入输出部30内的驱动器输出的信号的延迟量，及对应的输入输出部30 内的比较器输入信号的时序的延迟量。此外，多个第二分别设定部32和多个第三分别设定部33，当所对应的输入输出部30内的驱动器的延迟量由第一共用设定部41或第二共用设定部42所设定时，仅设定比较器输入信号的时序的延迟量。端子调整部M，对多个输入输出部30的每一个，互相拉近从驱动器输出的信号的基准相位与比较器输入信号的时序的基准相位，而使其一致。群组内调整部56，调整第一共用设定部41和多个第一分别设定部31中的每个所设定的延迟量，而互相拉近从第一端子群组21内的多个驱动器中的每个所输出的信号的基准相位，使其一致。进而，群组内调整部56，调整第一共用设定部41和多个第二分别设定部32中的每个所设定的延迟量，而互相拉近从第二端子群组22内的多个驱动器中的每个所输出的信号的基准相位，使其一致。群组间调整部58，互相拉近从第一端子群组21内的多个驱动器输出的信号的基准相位与从第二端子群组22内的多个驱动器输出的信号的基准相位，而使其一致。进而， 群组间调整部58，互相拉近从第二端子群组22内的多个驱动器输出的信号的基准相位与从第三端子群组23内的多个驱动器输出的信号的基准相位，而使其一致。此外，测试装置10，也可为具备四组以上的多个端子群组的构成。此时，多个端子群组中的每个，具有与第一端子群组21和第二端子群组22相同的功能及构成。另外，当测试装置10具备四组以上的多个端子群组时，具备对应多个端子群组中的每个的多个分别设定部，及至少一个共用设定部。多个分别设定部中的每个，具有与第一分别设定部31、第二分别设定部32和第三分别设定部33相同的功能及构成。又，至少一个共用设定部，具有与第一共用设定部41和第二共用设定部42相同的功能及构成。另外，具有四组以上的多个端子群组的端子调整部M，对在多个端子群组内的全部输入输出部30的每一个，互相拉近从驱动器输出的信号的基准相位与比较器输入信号的时序的基准相位，而使其一致。又，群组内调整部56，对多个端子群组的每一个，互相拉近端子群组内的多个输入输出部30的基准相位，而使其一致。又，群组间调整部58，互相拉近多个端子群组间的多个输入输出部30的基准相位，而使其一致。图3表示输入输出部30的构成的例子。输入输出部30，包含驱动器60、比较器 62、图案产生器64、时序产生器66、输出侧延迟电路68、波形成形部70、取得侧延迟电路72、 取得部74、判定部76。驱动器60，将与波形成形部70所给予的逻辑信号对应的电压位准的信号，供给至被测试器件300的对应端子。比较器62，从被测试器件300的对应端子输入信号，而产生一逻辑信号，所述逻辑信号表示对应输入信号的电压位准的逻辑值。比较器62，将产生的逻辑信号给予取得部74。此外，驱动器60输出信号的端子及比较器62输入信号的端子为同一个。图案产生器64，产生一逻辑图案，其指定从该输入输出部30产生的信号的波型和产生时序。进而，图案产生器64，产生一期待图案，其指定该输入输出部30输入的信号的期待值及取得信号的取得时序。图案产生器64，在每个测试周期中将产生的逻辑图案供给至波形成形部70。并且，图案产生器64，将产生的期待图案供给至判定部76。时序产生器66，产生一时序信号，其用来指定该输入输出部30输出信号的时序。 又，时序产生器66，产生一选通信号，其用来指定该输入输出部30输入信号值的时序。作为一例，时序产生器66，在每个测试周期中产生时序时号和选通信号。时序产生器66，将时序信号供给至输出侧延迟电路68，并将选通信号供给至取得侧延迟电路72。输出侧延迟电路68，对于在每个测试周期中从时序产生器66供给而来的时序信号，从基准相位延迟了对应指定的产生时序的延迟量后，供给至波形成形部70。又，输出侧延迟电路68，由第一分别设定部31、第二分别设定部32或第三个别设定33给予延迟量设定值。输出侧延迟电路68，将基准相位设为与被给予的设定值对应的相位。波形成形部70，在由输出侧延迟回路68延迟过的时序信号的时序中，产生由图案产生器64所指定的波形的逻辑信号。波形成形部70，将产生的逻辑信号供给至驱动器60。取得侧延迟电路72，对于在每个测试周期中从时序产生器66供给而来的选通信号，从基准相位延迟了对应被指定的取得时序的延迟量后，供给至取得部74。又，取得侧延迟电路72，由第一分别设定部31、第二分别设定部32或第三分别设定部33给予延迟量设定值。取得侧延迟电路72，将基准相位设为与被给予的设定值对应的相位。取得部74，在由取得侧延迟电路72延迟过的选通信号的时序中，取得从比较器62 输出的逻辑信号的逻辑值。取得部74，将取得的逻辑值供给至判定部76。判定部76，比较由取得部74所取得的逻辑值是否与由图案产生器64所指定的期待值一致。取得部74，将比较结果供给至图案产生器64、控制装置16或可从控制装置16 读出的存储器等。图4表示输出同一信号的两个输入输出部30的构成的例子。第二端子群组22内的多个输入输出部30中的其中一输入输出部30，与第一端子群组21内的其中一输入输出部30输出同一信号。在此情况下，第二端子群组22内的一输入输出部30，为不具有输出侧延迟电路68和波形成形部70的构成。而且，在此情况下，第二端子群组22内的一输入输出部30内的驱动器60，从第一端子群组21内的一输入输出部30内的波形成形部70接收信号。于是，第一共用设定部 41，可共用地设定从第一端子群组21内的一输入输出部30内的驱动器60，及第二端子群组 22内的一输入输出部30内的驱动器60输出的信号的延迟量。另外，同样地，第三端子群组23内的多个输入输出部30中的其中一输入输出部 30，与第二端子群组22内的其中一输入输出部30输出同一信号。在此情况下，第三端子群组23内的一输入输出部30，为不具有输出侧延迟电路68和波形成形部70的构成。而且，在此情况下，第三端子群组23内的一输入输出部30内的驱动器60，从第二端子群组22内的一输入输出部30内的波形成形部70接收信号。于是，第二共用设定部42，可共用地设定从第二端子群组22内的一输入输出部30内的驱动器60，及第三端子群组 23内的一输入输出部30内的驱动器60输出的信号的延迟量。图5表示本实施方式涉及的测试装置10的校正处理流程。测试装置10，在测试之前，依序进行以下步骤Sll到S13的校正处理。首先，测试装置10，对于该测试装置10所具备的多个输入输出部30中的每一个， 使从驱动器60输出的信号的基准相位与比较器62导入信号的时序的基准相位一致(Sll)。 关于步骤Sll的处理的例子，将在图6中进一步说明。接着，测试装置10，对于每组端子群组，使端子群组内的多个输入输出部30中的每个的基准相位互相一致(Si》。关于步骤S12的处理的例子，将在图7中进一步说明。接着，测试装置10，使不同端子群组间的输入输出部30的基准相位互相一致 (S13)。关于步骤S13的处理，将在图8以后进一步说明。通过执行以上处理，测试装置10， 可使该测试装置10内的全部输入输出部30的基准相位互相一致。图6表示步骤Sll的处理的信号流动。在步骤11中，端子调整部M，对多个输入输出部30中的每个执行下述处理。端子调整部M，使驱动器60输出规定波形的信号。从驱动器60输出的信号，经环回后被给予该输入输出部30内的比较器62。然后，端子调整部M，变更给予输出侧延迟电路68或取得侧延迟电路72的延迟量设定值，让取得部74在延迟了配线量的时间中取得输出的规定波形的信号。由此，端子调整部M，对于多个输入输出部30中的每一个，可使从驱动器60输出的信号的基准相位与从比较器62导入的信号的时序的基准相位一致。此外，当端子调整部 54执行步骤Sll的处理时，放开输入输出部30与被测试器件300间的继电器(relay)为佳。图7表示步骤S12的处理的信号流动。在步骤S12中，群组内调整部56，对多个端子群组中的每个(在本例中，为第一端子群组21、第二端子群组22和第三端子群组23中的每个)执行下述处理。首先，将短接端子群组内邻接端子的校正用连接部19装载于该测试装置10上。接着，群组内调整部56，使端子群组内第一个输入输出部30输出规定波形的信号，并使信号的输出时序或取得时序从初期值变化，以使第二个输入输出部30取得从第一个输入输出部30输出的规定波形的信号。接着，群组内调整部56，使端子群组内第二个输入输出部30输出规定波形的信号，并使信号的输出时序或取得时序从初期值变化，以使第一个输入输出部30取得从第二个输入输出部30输出的规定波形的信号。接着，算出一差值的1/2，该差值为以下两数值间的差值当第二个输入输出部30取得第一个输入输出部30所输出的信号时，距离初期值的时序变化量，与当第一个输入输出部30取得第二个输入输出部30所输出的信号时，距离初期值的时序变化量。然后，群组内调整部56，使给予第二个输入输出部30内的输出侧延迟电路68和取得侧延迟电路72的延迟量设定值，偏移对应算出结果的延迟量。由此，群组内调整部56，可使第一个输入输出部30的基准相位与第二个输入输出部30的基准相位一致。接着，群组内调整部56，在第二个输入输出部30与第三个输入输出部30间也进行同样的处理。进而，在第三个以后的各输入输出部30与下一个输入输出部30间也进行同样的处理。由此，群组内调整部56，在各端子群组内，可互相拉近从多个驱动器60中的每个所输出的信号的基准相位，使其一致。此外，当群组内调整部56执行步骤S12的处理时，将未进行处理的输入输出部30的输入输出端子终止为佳。图8表示步骤S13的处理的信号流动。在步骤S13中，群组间调整部58，执行下述处理。首先，群组间调整部58，取得第一共用设定部41在第一端子群组21内调整基准相位时所设定的延迟量设定值。接着，群组间调整部58，取得第一共用设定部41在第二端子群组22内调整基准相位时所设定的延迟量设定值。接着，群组间调整部58，算出一差量值，该差量值为第一共用设定部41在第一端子群组21内调整基准相位时所设定的延迟量设定值，与第一共用设定部41在第二端子群组22内调整基准相位时所设定的延迟量设定值间的差量值。接着，群组间调整部58，算出与已算出的差量值对应的第一偏移量。例如，群组间调整部58，在第一共用设定部41为一个的情况下，将算出的差量值设为第一偏移量。又，在该测试装置10具备多个第一共用设定部41的情况下，群组间调整部58，将对多个第一共用设定部41中的每个所算出的多个差量值的平均设为第一偏移量。然后，群组间调整部58，将第二共用设定部42和多个第二分别设定部32所设定的延迟量设定值中的每个，偏移算出的第一偏移量。由此，群组间调整部58，可拉近从第一端子群组21内的多个驱动器60输出的信号的基准相位与从第二端子群组22内的多个驱动器60输出的信号的基准相位，使其一致。进而，群组间调整部58，取得第二共用设定部42在第二端子群组22内调整基准相位时所设定的延迟量设定值。接着，群组间调整部58，取得第二共用设定部42在第三端子群组23内调整基准相位时所设定的延迟量设定值。接着，群组间调整部58，算出一差量值，该差量值为第二共用设定部42在第二端子群组22内调整基准相位时所设定的延迟量设定值，与第二共用设定部42在第三端子群组23内调整基准相位时所设定的延迟量设定值间的差量值。接着，群组间调整部58，算出与已算出的差量值对应的第二偏移量。例如，群组间调整部58，在第二共用设定部42为一个的情况下，将算出的差量值设为第二偏移量。又，在该测试装置10具备多个第二共用设定部42的情况下，群组间调整部58，将对多个第二共用设定部42中的每个所算出的多个差量值的平均设为第二偏移量。然后，群组间调整部58，将多个第三分别设定部33所设定的延迟量设定值中的每个，偏移算出的第一偏移量与第二偏移量相加而得的值。由此，群组间调整部58，可拉近从第二端子群组22内的多个驱动器60输出的信号的基准相位与从第三端子群组23内的多个驱动器60输出的信号的基准相位，使其一致。此外，群组间调整部58，在步骤S13中，可一起运算而算出多个端子群组中的每个的偏移量。而且，群组间调整部58，可使多个端子群组中的各输入输出部30的延迟量的设定值一起偏移。若采用这种测试装置10，便可不使用用来调整端子群组间的专用校正用连接部 (例如，一对一短接不同群组间的端子的插件)，而进行端子群组间的基准相位调整。由此，
11若采用测试装置10，因为可省去用来调整端子群组间的专用校正用连接部的装载作业及制造费用，故能够降低测试成本。图9表示将第一组端子群组的延迟量设定值的平均设为0时，在端子群组内进行过基准相位调整之后，第一组至第四组端子群组的延迟量设定值的例子。在第g组端子群组(g为一以上的整数)与第g+Ι组端子群组内之间，互相设置了 nmax个(nmax为1以上的整数)输出同一输出信号的端子。在这些端子中的第g组端子群组内的第η个端子(η为1以上，nmax以下的整数) 中，设依据共用设定部的延迟量设定值为CALDA(Gg，η)。另外，在与此端子输出相同输出信号的第g+Ι组端子群组内的端子中，设依据共用设定部的延迟量设定值为CALDA(Gg+1，η)。此时，第g组端子群组与第g+Ι组端子群组间的差量值(Diff (Gg，Gg+1))，为表示于下述公式⑴的值。即，差量值(Diff(Gg，Gg+1))，为互相输出相同信号的各端子对的延迟量设定值的差值的平均，该延迟量设定值的差值，由第g+Ι组端子群组的端子的延迟量设定值减去第g组端子群组的端子的延迟量设定值。[公式1]
权利要求
1.一种测试装置，用于测试被测试器件，其具有第一端子群组和第二端子群组，所述第一端子群组和所述第二端子群组包括向所述被测试器件输出信号的多个驱动器；第一共用设定部，其共用地设定从所述第一端子群组中的一驱动器和所述第二端子群组中的一驱动器输出的信号的延迟量；以及群组间调整部，其基于所述第一共用设定部在所述第一端子群组内调整基准相位时所设定的延迟量设定值，及所述第一共用设定部在所述第二端子群组内调整基准相位时所设定的延迟量设定值，来拉近从所述第一端子群组内的多个驱动器输出的信号的基准相位与从所述第二端子群组内的多个驱动器输出的信号的基准相位。
2.根据权利要求1所述的测试装置，其中所述第一共用设定部，设定延迟电路的延迟量，该延迟电路延迟共用地供给至所述第一端子群组内的一驱动器和所述第二端子群组内的一驱动器的信号。
3.根据权利要求2所述的测试装置，其中还具有多个第一分别设定部，其设定从所述第一端子群组内的一驱动器以外的各驱动器输出的信号的延迟量；多个第二分别设定部，其设定从所述第二端子群组内的一驱动器以外的各驱动器输出的信号的延迟量；群组内调整部，其调整所述第一共用设定部和所述多个第一分别设定部中的每个所设定的延迟量，而互相拉近从所述第一端子群组内的多个驱动器中的每个所输出的信号的基准相位，并且调整所述第一共用设定部和所述多个第二分别设定部中的每个所设定的延迟量，而互相拉近从所述第二端子群组内的多个驱动器中的每个所输出的信号的基准相位。
4.根据权利要求3所述的测试装置，其中所述群组间调整部，将所述多个第二分别设定部所设定的各延迟量的设定值分别偏移第一偏移量，该第一偏移量对应于在所述第一端子群组内调整了基准相相位时所述第一共用设定部所设定的延迟量的设定值与在所述第二端子群组内调整了基准相位时所述第一共用设定部所设定的延迟量的设定值的差量值。
5.根据权利要求4所述的测试装置，其中该测试装置具备多个所述第一共用设定部，且所述群组间调整部，将相对于多个所述第一共用设定部中的每个的所述差量值的平均设为所述第一偏移量。
6.根据权利要求4至5中任何一项所述的测试装置，其中还具备第三端子群组，其具有向所述被测试器件输出信号的多个驱动器；第二共用设定部，其共用地设定从所述第二端子群组中的一驱动器和所述第三端子群组中的一驱动器输出的信号的延迟量；以及多个第三分别设定部，其设定从所述第三端子群组内的一驱动器以外的各驱动器输出的信号的延迟量；而且，所述群组内调整部，调整所述第二共用设定部和所述多个第三分别设定部中的每个所设定的延迟量，而互相拉近从所述第三端子群组内的多个驱动器中的每个所输出的信号的基准相位；所述群组间调整部，将所述第一共用设定部和所述多个第二分别设定部所设定的各延迟量设定值偏移所述第一偏移量；并且，将所述多个第三分别设定部所设定的延迟量设定值偏移所述第一偏移量与第二偏移量相加而得的值，该第二偏移量对应所述第二共用设定部在所述第二端子群组内基准相位时所设定的延迟量设定值与所述第二共用设定部在所述第三端子群组内调整基准相位时所设定的延迟量设定值的差量值。
7.根据权利要求6所述的测试装置，其中还具有多个端子群组，其具有向所述被测试器件输出信号的多个驱动器；以及多个共用设定部，其分别对应于所述多个端子群组中的每个，共用地设定从对应端子群组内的一驱动器和所对应的端子群组的下一端子群组内的一驱动器输出的信号的延迟量；而且，所述群组间调整部，对于从第一组端子群组至倒数第二组端子群组为止的各个，算出在调整了基准相位时对应的共用设定部所设定的延迟量设定值与在下一端子群组内调整了基准相位时对应的所述共用设定部所设定的延迟量的设定值的差量值；并对于最后端子群组，算出对应的所述共用设定部在调整基准相位时所设定的延迟量设定值与对应的所述共用设定部在第一组端子群组内调整基准相位时所设定的延迟量设定值的差量值；再将从所述第一组端子群组至所述最后端子群组为止的各所述差量值的平均，作为周期误差而算出；然后对于所述多个端子群组中的每个，将从该端子群组内的多个驱动器输出的信号的延迟量的设定值，偏移对应所述差量值的偏移量，及基于分散至该端子群组中的所述周期误差成分的修正偏移量。
8.根据权利要求1至7的任何一项所述的测试装置，其中 该测试装置，并行测试多个被测试器件；且所述第一共用设定部，与用于供给同一信号至所述多个被测试器件的多个驱动器对应而设置。
9.根据权利要求3所述的测试装置，其中所述第一端子群组和所述第二端子群组，具有第一内部群组和第二内部群组，该等内部群组具有多个输入输出部，而该等输入输出部具有向所述被测试器件的端子输出信号的驱动器和从所述端子输入信号的比较器；所述群组内调整部，在所述第一内部群组的各所述输入输出部与所述第二内部群组的各所述输入输出部处于互相连接的状态中，对互相连接着的各对所述第一内部群组的所述输入输出部和所述第二内部群组的所述输入输出部，算出基准相位的差量，并基于算出的基准相位的差量而拉近彼此的基准相位。
10.一种校正方法，用于校正测试被测试器件的测试装置，其中所述测试装置具有第一端子群组和第二端子群组，其具有向所述被测试器件输出信号的多个驱动器；以及第一共用设定部，其共用地设定从所述第一端子群组中的一驱动器和所述第二端子群组中的一驱动器输出的信号的延迟量；而且，该校正方法，基于所述第一共用设定部在所述第一端子群组内调整基准相位时所设定的延迟量设定值，及所述第一共用设定部在所述第二端子群组内调整基准相位时所设定的延迟量设定值，来拉近从所述第一端子群组内的多个驱动器输出的信号的基准相位与从所述第二端子群组内的多个驱动器输出的信号的基准相位。
11. 一种程序，是用于使电脑作为对用于测试被测试器件的测试装置进行校正的装置而发挥功能的程序，其中所述测试装置具有第一端子群组和第二端子群组，其具有向所述被测试器件输出信号的多个驱动器；以及第一共用设定部，其共用地设定从所述第一端子群组中的一驱动器和所述第二端子群组中的一驱动器输出的信号的延迟量；而且，该程序使所述电脑作为群组间调整部而发挥功能；该群组间调整部，基于所述第一共用设定部在所述第一端子群组内调整基准相位时所设定的延迟量设定值，及所述第一共用设定部在所述第二端子群组内调整基准相位时所设定的延迟量设定值，来拉近从所述第一端子群组内的多个驱动器输出的信号的基准相位与从所述第二端子群组内的多个驱动器输出的信号的基准相位。
全文摘要
本发明提供一种测试装置，用于测试被测试器件，其包括第一端子群组和第二端子群组，其具有向被测试器件输出信号的多个驱动器；第一共用设定部，其共用地设定从第一端子群组中的一驱动器和第二端子群组中的一驱动器输出的信号的延迟量；以及群组间调整部，其基于第一共用设定部在第一端子群组内调整基准相位时所设定的延迟量设定值，及第一共用设定部在第二端子群组内调整基准相位时所设定的延迟量设定值，来拉近从第一端子群组内的多个驱动器输出的信号的基准相位与从第二端子群组内的多个驱动器输出的信号的基准相位。
文档编号G01R31/28GK102460194SQ20098016016
公开日2012年5月16日 申请日期2009年6月29日 优先权日2009年6月29日
发明者小塚纪义 申请人:爱德万测试株式会社