非晶硅材料电阻测量仪专用样品室的制作方法

文档序号:5997212阅读:357来源:国知局
专利名称:非晶硅材料电阻测量仪专用样品室的制作方法
技术领域
本实用新型属于光伏发电应用技术领域,尤其是一种非晶硅材料电阻测量仪专用
样品室。
背景技术
非晶硅薄膜电池的技术核心之一是CVD法沉积非晶硅薄膜。在对薄膜的测量中, 受光时的电阻率的测量是重要的组成部分。电阻率的测量需要用一定剂量的光照射已知尺寸的非晶硅薄膜,并在两侧加一偏压,测量电路中电流,求得电阻值,再根据材料尺寸计算电阻率。由于非晶硅材料电阻率很大,而偏压不能加得很高,因此样品都比较小,而且要求尺寸较准确;同时,测量信号微弱,要求测量环境要排除干扰,再现性好。而目前尚未发现专用样品室。
发明内容本实用新型的目的在于克服现有技术的不足之处,提供一种非晶硅材料电阻测量仪专用样品室。本实用新型解决其技术问题是采取以下技术方案实现的一种非晶硅材料电阻测量仪专用样品室,为一用合页连接的中空可开闭方盒,包括盒盖和盒体,其特征在于在盒盖上制有一安装凸起,在该安装凸起内嵌装有做为引出电极的金属弹簧片,在对应该安装凸起的盒体上制有与安装凸起相配合的凹槽,在凹槽上方的盒体上安装有一光强恒定的灯泡,在正对灯泡的两个金属弹簧片之间制有放置样品的凹槽。而且,所述金属弹簧片由螺钉固定在盒盖上。本实用新型的优点和积极效果是1、本实用新型的样品室在合上后可隔断外界杂散光的污染,弹簧片和透光孔定位精确,限定被测样品和光源的相对位置。因此,只要保证光源强度恒定,在每次实验中可以确定被测样品表面照度恒定。2、本实用新型规范了太阳电池材料测试,提供一个稳定的实验环境,使实验有较好的重复性,提高了科研效率。

图1为本实用新型的立体结构示意图。
具体实施方式
下面通过具体实施例对本实用新型作进一步详述,以下实施例只是描述性的,不是限定性的,不能以此限定本实用新型的保护范围。一种非晶硅材料电阻测量仪专用样品室,为一用合页6连接的中空可开闭方盒,包括盒盖1和盒体9,在盒盖上制有一安装凸起5,在该安装凸起内嵌装有做为引出电极的金属弹簧片2,该金属弹簧片由螺钉固定在盒盖上,在金属弹簧片下部的盒盖上嵌装有栅状金属电极4;在对应该安装凸起的盒体上制有与安装凸起相配合的凹槽7,在凹槽上方的盒体上安装有一光强恒定的灯泡8,在正对灯泡的两个金属弹簧片之间制有放置样品3的凹槽。本实用新型用屏蔽线将弹簧片和测量电路(稳压电源、灵敏电流计)连接,弹簧片两极与稳压电源、灵敏电流计串联形成测量电路,测量是根据欧姆定律进行的。本实用新型的使用方法是用测试仪掩模板在被测样品上蒸镀栅状金属电极,将被测样品插入样品室凹槽内,被测薄膜两侧电极由弹簧片压紧。合上样品室,此时被测薄膜正对透光孔,打开光源和稳压电源,固定电源电压,测量电路中的电流强度。测量结束关光源和稳压电源,打开样品室取出样品。根据电路中电流和电极两侧电压可计算出被测薄膜电阻值,再根据薄膜的长、 宽、厚(长、宽由掩模板确定,厚度需预先测量出来)计算薄膜的电导率。
权利要求1.一种非晶硅材料电阻测量仪专用样品室,为一用合页连接的中空可开闭方盒,包括盒盖和盒体,其特征在于在盒盖上制有一安装凸起,在该安装凸起内嵌装有做为引出电极的金属弹簧片,在对应该安装凸起的盒体上制有与安装凸起相配合的凹槽,在凹槽上方的盒体上安装有一光强恒定的灯泡,在正对灯泡的两个金属弹簧片之间制有放置样品的凹槽。
2.根据权利要求1所述的非晶硅材料电阻测量仪专用样品室,其特征在于所述金属弹簧片由螺钉固定在盒盖上。
专利摘要本实用新型涉及一种非晶硅材料电阻测量仪专用样品室,为一用合页连接的中空可开闭方盒,包括盒盖和盒体,在盒盖上制有一安装凸起,在该安装凸起内嵌装有做为引出电极的金属弹簧片,在对应该安装凸起的盒体上制有与安装凸起相配合的凹槽,在凹槽上方的盒体上安装有一光强恒定的灯泡,在正对灯泡的两个金属弹簧片之间制有放置样品的凹槽。本实用新型的样品室在合上后可隔断外界杂散光的污染,弹簧片和透光孔定位精确,限定被测样品和光源的相对位置。因此,只要保证光源强度恒定,在每次实验中可以确定被测样品表面照度恒定。
文档编号G01R27/14GK201935960SQ20102065751
公开日2011年8月17日 申请日期2010年12月14日 优先权日2010年12月14日
发明者张鑫, 李宝瑛, 郭增良 申请人:天津市津能电池科技有限公司
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