专利名称：芯片快速定位工具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种芯片失效分析工具，具体涉及一种芯片快速定位工具。
背景技术：
EF130芯片是采用0. 13微米嵌入式闪存工艺所生产的芯片，其主要类型分为丽09、丽06、丽04三个系列，而各系列芯片的尺寸都有相应的规格。对于EF130芯片的失效分析，需要根据EFA (电学失效分析)所得的数据结果分析失效模式，在Wafer (晶片)上选择相对应的失效芯片，并对该选择芯片进行PFA (物理失效分析)处理，物理分析得出失效原因。在上述通过EFA所得的数据选择失效芯片的过程中，由于M0SAID( —种现有的电学失效分析仪器)无法精确定位所需的选择芯片，因此需要使用显微镜人工定位选择芯片。由于测试后的芯片会在PAD(衬垫)上留下3个针痕，测试人员可以根据测试针痕来进行芯片的选择。具体方法是1、测试人员根据背景信息，随机选择一块区域使用MOSAID进行测试，得到芯片的 Bitmap (位图)；2、产品工程师进行数据分析，通过Bitmap来选择需要做PFA的芯片；3、产品工程师根据针痕，使用显微镜找到测试过的芯片区域；4、工程师根据Wafer map (晶片图)中所需选择芯片的位置，使用显微镜进行人工选择。这种人工定位芯片的方法存在以下缺点1、无法将测试数据与物理位置有效地结合起来，需要根据针痕来判断测试区域， EFA数据与物理地址有时会产生误差，即Wafer map中数据与物理地址无法一一对应，因此需要工程师来判断测试区域的真实位置，会产生误差；2、EF130芯片的尺寸较小，会产生较大的人工误差；3、一旦出现选择芯片错误的现象，很有可能就会造成一个产品失效分析的失败， 无法快速有效地进行工艺改进，进而影响良率的提升。因此需要大量时间来反复确认所需的芯片位置，核实所选芯片是否正确，造成工作效率的低下。
实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种芯片快速定位工具，它可以为解决上述技术问题，本实用新型芯片快速定位工具的技术解决方案为包括两个直角标尺，每个直角标尺设有相互垂直的水平标尺和垂直标尺，水平标尺和垂直标尺上分别标有刻度；两个直角标尺的原点位置设有选择孔；两个直角标尺通过两个选择旋钮实现活动连接；水平标尺和垂直标尺上分别设有轨道，选择旋钮能够在轨道内自由滑动；两个直角标尺的背面分别设有吸盘。所述直角标尺上的刻度间隔为芯片的尺寸。[0017]所述直角标尺上标注有对应于多种系列芯片的刻度。本实用新型可以达到的技术效果是本实用新型利用MOSAID测试出已知芯片和所需芯片的坐标，进而计算出两者的相对位置，然后通过工具将两者的相对位置在工具上标注出来，即可以简便的找到想要选择的芯片。本实用新型在已知一枚芯片的坐标情况下，通过所需芯片与已知芯片之间的相对位置来定位，能够在不使用显微镜等其他仪器的条件下，精确定位所需芯片，从而大大降低人为因素造成的误差并提高工作效率，实现快速定位所需检测的芯片的功能。
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型作进一步详细的说明
图1是本实用新型芯片快速定位工具的示意图；图2是图1的仰视图；图3是本实用新型的使用状态示意图。图中附图标记说明1为直角标尺，11为选择孔，12为轨道，2为选择旋钮，3为吸盘。
具体实施方式
如图1所示，本实用新型芯片快速定位工具，包括两个直角标尺1，每个直角标尺1 设有相互垂直的水平标尺和垂直标尺，水平标尺和垂直标尺上分别标有刻度；两个直角标尺1的原点位置设有选择孔11 ；两个直角标尺1通过两个选择旋钮2实现活动连接；如图1所示，第一直角标尺的水平标尺通过选择旋钮2与第二直角标尺的垂直标尺活动连接，第一直角标尺的垂直标尺通过选择旋钮2与第二直角标尺的水平标尺活动连接；水平标尺和垂直标尺上分别设有轨道12，选择旋钮2能够在轨道12内自由滑动， 使两个直角标尺1之间的相对物理位置发生变化；直角标尺1上的刻度间隔为EF130芯片的尺寸；直角标尺1上可标注对应于多种系列芯片的刻度，用于选择多种尺寸的芯片；如图2所示，两个直角标尺1的背面设有四枚吸盘3，能够起到固定工具同时避免对晶圆造成物理损伤的作用。使用时，将一个直角标尺的选择孔11圈住已知坐标的芯片，根据已知坐标的芯片与目标芯片(即选择芯片)的相对位置，调节选择按钮2并固定，如图3所示，使另一个直接标尺的选择孔11圈住目标芯片。本实用新型的使用方法是1、在Wafer上根据Bit map选择目标芯片Die，并记录其坐标；2、选择任意一个已知芯片Die，并使用MOSAID确定其坐标，得出该任意已知芯片的数据位置；[0038]3、确定Wafer map中已知芯片与目标芯片的坐标关系，得出二者的相对数据位置；4、使用本实用新型将其转化成为二者的相对物理位置，并在Wafer上标注出来， 从而实现对芯片的定位。
权利要求1.一种芯片快速定位工具，其特征在于包括两个直角标尺，每个直角标尺设有相互垂直的水平标尺和垂直标尺，水平标尺和垂直标尺上分别标有刻度；两个直角标尺的原点位置设有选择孔；两个直角标尺通过两个选择旋钮实现活动连接；水平标尺和垂直标尺上分别设有轨道，选择旋钮能够在轨道内自由滑动；两个直角标尺的背面分别设有吸盘。
2.根据权利要求1所述的芯片快速定位工具，其特征在于所述直角标尺上的刻度间隔为芯片的尺寸。
3.根据权利要求2所述的芯片快速定位工具，其特征在于所述直角标尺上标注有对应于多种系列芯片的刻度。
专利摘要本实用新型公开了一种芯片快速定位工具，包括两个直角标尺，每个直角标尺设有相互垂直的水平标尺和垂直标尺，水平标尺和垂直标尺上分别标有刻度；两个直角标尺的原点位置设有选择孔；两个直角标尺通过两个选择旋钮实现活动连接；水平标尺和垂直标尺上分别设有轨道，选择旋钮能够在轨道内自由滑动；两个直角标尺的背面分别设有吸盘。本实用新型在已知一枚芯片的坐标情况下，通过所需芯片与已知芯片之间的相对位置来定位，能够在不使用显微镜等其他仪器的条件下，精确定位所需芯片，从而大大降低人为因素造成的误差并提高工作效率，实现快速定位所需检测的芯片的功能。
文档编号G01R31/28GK201955444SQ201120007918
公开日2011年8月31日 申请日期2011年1月12日 优先权日2011年1月12日
发明者周彬, 张雨田, 曾志敏 申请人:上海华虹Nec电子有限公司