技术总结
本发明提出一种角分辨散射测量装置及其测量方法，该装置包括：照明光学组件、成像光学组件、投影物镜及探测器，其特征在于照明光学组件包括光强优化器件，通过调节所述光强优化器件使所述探测器的探测面上反射光强趋于均匀分布。本发明还提出一种利用角分辨散射测量装置的测量方法，透过本发明可以提高测量标记反射光信号的信噪比，从而提高入射光强反射率的测量精度。
技术研发人员：王帆;张青云;陆海亮
受保护的技术使用者：上海微电子装备有限公司
文档号码：201210062966
技术研发日：2012.03.09
技术公布日：2016.12.14