专利名称：光学测量装置和光学测量方法
技术领域：
本发明涉及光学仪器技术领域，尤其涉及ー种光学測量装置和光学測量方法。
背景技术：
玻璃具有透明、強度高、不透气的特点，在日常环境中呈化学惰性，也不会与生物起作用，因此用途非常广泛。常见的玻璃包括汽车玻璃、平板玻璃、保温玻璃等。在玻璃制造过程中，难免会在玻璃内部或玻璃表面形成诸如划伤、污点、颗粒等的 缺陷。如何能检查出玻璃内部或玻璃表面的上述缺陷成为本领域技术人员亟待解决的问题之一。现有技术的测量装置中通常采用自动光学检测系统(Automatic OpticalInspection, A0I)检测玻璃的缺陷，所述光学測量装置结构比较复杂、成本较高。而现有技术成本较低测量装置的測量准确度有限、无法获知所述缺陷所在面，这样就无法有针对性地改善玻璃制造エ艺，以避免玻璃表面缺陷的产生。更多关于测量玻璃缺陷的光学測量装置的技术方案可參考公告号为CN101652625B的中国专利，所述中国专利公开的技术方案也未能解决上述技术问题。
发明内容
本发明解决的技术问题是提供一种测量准确度较高的光学測量装置和光学測量方法。为了解决上述问题，本发明提供ー种光学測量装置，用于测量透明基板，包括照明単元，用于照亮所述透明基板的待测面；成像単元，用于使所述待测面成像；数据获取单元，位于所述待测面的像面位置处，用于根据所述待测面像获取待测面的缺陷信息。可选地，所述光学測量装置还包括固定所述透明基板的固定器件，所述固定器件与所述透明基板的待测面相接触。可选地，所述固定器件为支撑式固定器件，所述透明基板位于所述支撑式固定器件的上方，所述透明基板的待测面与所述支撑式固定器件的上表面相接触。可选地，所述成像単元位于支撑式固定器件的上方，所述数据获取单元位于所述成像单元的上方。可选地，所述支撑式固定器件为基台。可选地，所述固定器件为悬挂式固定器件，所述透明基板的待测面与所述悬挂式固定器件的底部相接触。可选地，所述固定器件包括固定于透明基板上表面边缘位置处的两个悬挂式固定器件，所述透明基板位于所述两个悬挂式固定器件的下方，所述透明基板的待测面与所述两个悬挂式固定器件的底部相接触。可选地，所述成像単元位于透明基板下方，所述数据获取单元位于所述成像単元的下方。
可选地，所述成像単元位于透明基板上方，所述数据获取单元位于所述成像単元的上方。可选地，所述悬挂式固定器件包括固定部、连接部、吸盘，所述固定部通过连接部与吸盘连接在一起，所述吸盘与所述透明基板上表面的边缘位置处相接触。可选地，所述悬挂式固定器件包括固定部、连接部、夹持部，所述固定部通过连接部与夹持部的顶面连接在一起，透明基板的端部嵌入至所述夹持部内，与夹持部紧密接触，以实现固定。可选地，所述照明単元包括至少ー个光源，所述光源发出的光掠入射至待测面。可选地，所述照明単元包括位于待测面任意ー侧的光源。可选地，所述照明単元包括分别位于待测面相对侧的两个光源。可选地，所述光学測量装置还包括用于承载所述透明基板的基台，所述透明基板的待测面与基台表面相接触，所述两个光源装配于基台侧面，所述两个光源的发光面朝向基台。可选地，所述光源为线性灯或线性激光。可选地，所述光源发出的光入射待测面的入射角在80 90°的范围内。可选地，所述成像単元为凸透镜。可选地，所述数据获取单元为图像传感器。可选地，所述图像传感器为CMOS图像传感器或CXD图像传感器。可选地，所述成像単元和所述数据获取单元集成在一起。可选地，所述光学測量装置还包括扫描单元，所述扫描単元与成像単元和数据获取単元固定在一起，所述扫描単元能沿与待测面平行的平面移动，以带动所述成像単元和所述数据获取单元移动，获取待测面不同位置处的缺陷信息。可选地,还包括扫描单元,所述扫描单元与所述数据获取单元固定在一起,所述扫描単元用于沿与待测面垂直的方向移动，用于带动数据获取単元移动，以使数据获取単元位于所述待测面像的像面位置处。可选地，所述透明基板为玻璃。相应地，本发明还提供ー种光学測量方法，包括提供透明基板；提供照明光，使所述照明光照亮所述透明基板的待测面；使所述透明基板的待测面成像，形成待测面像；基于所述待测面像，获取待测面的缺陷信息。可选地，所述提供透明基板的步骤包括，提供固定所述透明基板的固定器件，使所述固定器件与所述透明基板的待测面相接触。可选地，提供至少ー个光源，以提供照明光，使所述光源发出的照明光掠入射至待测面。可选地，所述提供至少ー个光源的步骤包括提供一个位于待测面任意一侧的光源。可选地，所述提供至少ー个光源的步骤包括提供分别位于待测面相对侧的两个 光源。可选地，所述提供透明基板的步骤包括提供用于承载所述透明基板的基台，使所述透明基板的待测面与基台表面相接触；所述提供分别位于待测面相对侧的两个光源的步骤包括将所述两个光源装 配在基台侧面，并且使所述两个光源的发光面朝向基台。可选地，提供光源的步骤包括提供线性灯或线性激光。可选地，使所述光源发出的照明光掠入射至待测面的步骤包括使所述照明光以80 90°的入射角入射至待测面。可选地，使所述透明基板的待测面成像，形成待测面像的步骤包括通过凸透镜使所述透明基板的待测面成像，形成待测面像。可选地，所述基于所述待测面像，获取待测面的缺陷信息的步骤包括将待测面像转换为电信号；根据所述电信号获得缺陷信息。可选地，通过成像単元使所述透明基板的待测面成像，形成待测面像；通过数据获取单元获取待测面的缺陷信息；使所述成像単元和所述数据获取单元沿与待测面平行的平面同步移动，以获取待测面不同位置处缺陷信息。可选地，通过数据获取单元获取待测面的缺陷信息；使所述数据获取单元沿与待测面垂直的方向移动，以使所述数据获取单元位于所述待测面像的像面位置处。与现有技术相比，本发明具有以下优点I.照明単元只照亮待测面，位于待测面上的缺陷因为光的散射而在待测面像上形成亮点，数据获取単元仅获取待测面像的信息，由于照明単元的照亮，数据获取单元获得的待测面像中缺陷所对应的信息得到加强，数据获取単元可以基于所述待测面像的分析获得了待测面上缺陷数量、分布、大小等缺陷信息，所述缺陷信息是针对待测面的信息，信息更加准确。2.可选方案中，使待测面与所述固定器件相接触，由于固定器件的位置不变，相应地，待测面的位置不变，即使是对不同厚度的透明基板进行测量，待测面始终是与固定器件相接触的面，从而使待测面与成像単元之间的距离不变，也就是物距不变，这样成像単元所形成的待测面像的位置不变，数据获取単元只要固定在待测面像的位置即可，无需采用自动光学检测系统对不同待测面进行重新聚焦，就可以实现对多种玻璃的检测，从而使结构简单、成本较低，还简化了測量步骤。3.可选方案中，光源为线性灯，以使待测面像中缺陷所对应的亮点最清晰，进而利于获得准确的测量信息。4.可选方案中，扫描单元可以带动所述成像単元和数据获取単元沿与待测面平行的平面移动，以完成对透明基板不同位置处进行光学检测，以获得整个大尺寸透明基板的缺陷信息。
图I是本发明光学測量装置第一实施例的示意图；图2是本发明光学測量装置第二实施例的示意图；图3是本发明光学測量装置第三实施例的示意图；图4是本发明光学測量装置第四实施例的示意图；图5是本发明光学測量方法ー实施方式的流程示意图。
具体实施方式
在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似推广，因此本发明不受下面公开的具体实施的限制。其次，本发明利用示意图进行详细描述，在详述本发明实施例时，为便于说明，所述示意图只是实例，其在此不应限制本发明保护的范围。为了解决现有技术的问题，本发明提供ー种光学測量装置，參考图I示出了本发明光学測量装置第一实施例的示意图。本发明光学測量装置用于测量透明基板100，包括基台101、照明单元102、成像单元103和数据获取单元104。其中，基台101，用于承载所述透明基板100 ；
照明単元102，用于照亮所述透明基板100的待测面；成像単元103，用于使所述待测面成像；数据获取単元104，位于所述待测面像的像面位置处，用于根据所述待测面像获取待测面的缺陷信息。所述照明単元102的光投射至透明基板100的待测面，位于待测面上的缺陷因为光的散射而在待测面像上形成亮点，通过所述亮点可以获得缺陷的位置，此外，所述亮点的大小还与缺陷的尺寸相关，因此，基于待测面像可以获得待测面上缺陷的数量、尺寸、分布等的缺陷信息，本发明可对透明基板100的某一待测面进行缺陷信息的測量，从而可以获得更丰富的缺陷数据。下面结合图I和具体实施例对本发明的技术方案做进ー步说明。本实施例中透明基板100以玻璃为例，但是本发明对此不做限制。基台101，用于承载玻璃。本实施例中，将玻璃的待测面与所述基台101表面相接触。这样即使是对不同厚度的玻璃进行测量，玻璃的待测面始终与基台101的表面齐平，因此玻璃的待测面与成像単元103之间的距离不变，也就是物距不变，这样成像単元103所形成的待测面像的位置不变。因此，无需采用自动光学检测系统对不同待测面进行重新聚焦，就可以实现对多种玻璃的检测，本实施例的光学測量装置结构简单、成本较低。照明単元102包括至少ー个光源，所述光源发出的光掠入射至基台101表面(即玻璃的待测面)。此处所述光掠入射至待测面的入射角在80 90°的范围内。具体地，所述照明単元102可以包括位于待测面任意ー侧的ー个光源，或者包括位于待测面相对侧的两个光源。如图I所示，本实施例中，所述照明単元102包括分别位于基台101相对侧的两个光源 1021、1022。两个光源1021、1022装配于基台101两侧的侧面上，所述两个光源1021、1022的发光面朝向基台101，从而使其发出的光以掠入射方式入射至基台101表面，即使光源1021、1022发出的光以掠入射方式入射至玻璃的待测面。具体地，所述光源1021、1022可以是线性灯(line light)或线性激光(linelaser)。其中，所述光源1021、1022为线性灯时形成的待测面像中缺陷所对应的亮点最清晰，进而利于获得准确的测量信息。因此优选方案中，所述光源1021、1022为线性灯。成像単元103，用于使玻璃的待测面成像。具体地，所述成像単元103可以是凸透镜或者是透镜组。数据获取単元104，可以是用于将待测面像转换为电信号的图像传感器，所述图像传感器位于玻璃的待测面的像面位置处，可以显示待测面像。具体地，待测面像中亮点所在位置即为缺陷位置，数据获取単元104可以基于亮点的数量获得缺陷的数量，可以基于亮点在待测面像中的相对位置可以获得缺陷分布信息。此外，亮点的尺寸和缺陷尺寸成正比，所述数据获取单元104基于亮点的尺寸还可以获得不同位置处缺陷的相对大小。具体 地，所述图像传感器可以是电荷I禹合器件(Charge Coupled Device, CO))或互补金属氧化物半导体(Complementary Metal Oxide Semiconductor, CMOS)等的常用图像传感器。在其他实施例中，所述成像単元103还可以与所述数据获取单元104集成在一起，例如，照相机。本实施例中，由于照明単元102只照亮了待测面(如图I所示的与基台100相接触的玻璃表面)，而数据获取单元104仅获取了所述待测面像的信息。由于照明単元102的照亮，数据获取単元104获得的待测面像中缺陷所对应的信息得到加强，有利于获得准确的缺陷信息。所述数据获取单元104可以基于所述待测面像的分析获得了待测面的缺陷信息。本实施例提供的缺陷信息是更有针对性的基于待测面的信息，信息更加准确。需要说明的是在图I所示的实施例中，以基台101作为固定器件固定所述透明基板100，但是本发明对此不做限制，还可以采用其他固定器件对所述透明基板100进行固定。參考图2，示出了本发明光学測量装置第二实施例的示意图。需要说明的是，为了使附图更加清楚、简洁，图2中省略了照明単元。本实施例中与图I所示第一实施例的相同之处不再赘述，本实施例与第一实施例的不同之处在于，本实施例中，用于固定透明基板100的固定器件为悬挂式固定器件204。如图2所示，所述光学測量装置包括两个悬挂式固定器件204，分别与透明基板100的上表面的边缘位置处相接触，以实现对透明基板100固定。具体地，所述悬挂式固定器件204包括固定部201、连接部202、吸盘203，所述固定部201通过连接部202与吸盘203连接在一起。例如所述固定部201为刚性支撑架，所述连接部202为刚性条状连接件。所述吸盘203可以通过吸力吸附所述透明基板100的上表面，从而实现对透明基板100的固定。本实施例中，透明基板100的上表面为待测面。成像単元103位于所述透明基板100的上方，使所述数据获取单元104位于成像単元103上方、待测面像的像面位置处，根据所述待测面像获得待测面的缺陷信息。对不同的透明基板100进行测试时，由于悬挂式固定器件204中吸盘203的位置不变，并且待测面始終与所述吸盘203相接触，因此待测面的位置是固定的，相应地，成像単元103和数据获取単元104之间的距离可以保持不变，无需采用自动光学測量系统，结构较为简单。继续參考图2，需要说明的是，由于所述透明基板100为透光性器件，同时，悬挂式固定器件204固定于透明基板100的上表面的边缘位置处，因此，所述悬挂式固定器件204不会挡光。因此，透明基板100的上表面(待测面)还可以透过透明基板100而在其下方形成待测面像。因此，成像単元103还可以位于透明基板100的下方，相应地，所述数据获取单元104位于所述成像単元103下方。同样地，与悬挂式固定器件204相接触的所述待测面的位置固定，也就是说物距不变，相应地，成像単元103和数据获取単元104之间的距离可以保持不变，无需采用自动光学測量系统，结构较为简単。与第一实施例相比，第二实施例采用悬挂式固定器件，所述成像単元103和所述数据获取単元104既可以位于透明基板100的上方，也可以位于透明基板100的下方，具有较高的灵活性。 需要说明的是，在其他实施例中，所述光学測量装置还可以只包括一个悬挂式固定器件204，所述悬挂式固定器件204位于透明基板100上方，且与透明基板100的上表面的中心位置处相接触，以实现对透明基板100的固定。成像単元103和数据获取単元104依次位于所述悬挂式固定器件204的下方。在其他实施例中，所述悬挂式固定器件还可以具有不同的结构。參考图3示出了本发明光学測量装置第三实施例的示意图。需要说明的是，为了使附图更加清楚、简洁，图3中省略了照明単元。如图3所示，悬挂式固定器件300包括固定部301、连接部302、夹持部303，所述固定部301通过连接部302与夹持部303的顶面连接在一起。所述固定部301可以是刚性支撑架，所述连接部302为刚性条状连接件。本实施例中，所述夹持部303为横截面呈“c”型的夹持件，但是本发明对此不做限制。透明基板100的端部嵌入至“ c”型的夹持件的开口内，与“ c”型的夹持件紧密接触，以实现固定。本实施例中，透明基板100的上表面为待测面。对于不同厚度的透明基板100，可以采用不同开ロ尺寸的夹持部303。由于夹持部303的顶面位置不变，所述待测面的位置也不变，物距不变，相应地，成像単元103和数据获取単元104之间的距离可以保持不变，无需采用自动光学測量系统，结构较为简単。需要说明的是，上述实施例的光学測量装置适用于小尺寸的透明基板，如果透明基板的面积较大，而成像単元的视场又有所限制，这样，光学測量装置只能对透明基板的局部区域进行测量。对此，本发明还提供了改进的技术方案。结合參考图4，示出了本发明光学測量装置第四实施例的局部示意图。为了使附图更加清楚、简洁，附图4省略了照明単元、固定器件。本实施例的光学測量装置与图I所示实施例的相同之处不再赘述，本实施例与图I所示实施例的区别之处在于，本实施例的光学測量装置还包括扫描单元205。如图4所示，透明基板200在X轴和Y轴所在的平面内，所述扫描单元205包括沿X轴的第一滑轨2051和沿Y轴的第二滑轨2052，成像単元和数据获取単元装配于所述扫描単元205上，所述扫描単元205可以带动所述成像単元和数据获取単元沿第一滑轨2051和第二滑轨2052移动，从而使成像単元和图像传感器沿与待测面平行的平面移动，对透明基板200不同位置处进行光学检测，以获得整个透明基板200的缺陷信息。具体地，所述成像単元和数据获取単元可以先沿第二滑轨2052对Y轴上透明基板200不同位置进行扫描，之后，沿第一滑轨2051移动至X轴另ー測量位置再沿第二滑轨2052进行，直至完成对整个透明基板200的扫描。继续參考图4，所述扫描单元205还包括第三滑轨2053，所述第三滑轨2053沿与待测面垂直的Z轴延伸，所述扫描単元2053与所述数据获取单元固定在一起，所述扫描单元2053可以沿着第三滑轨2053移动，也就是说所述扫描单元2053用于沿与待测面垂直的方向移动，以调节数据获取単元与成像系统之间的间距，以保证数据获取単元位于所述待测面的像面位置处。相应地，本发明还提供ー种光学 測量方法，參考图5，示出了所述光学測量方法一实施方式的流程示意图，所述光学測量方法大致包括以下步骤步骤SI，提供透明基板；步骤S2，提供照明光，使所述照明光照亮所述透明基板的待测面；步骤S3，使所述透明基板的待测面成像，形成待测面像；步骤S4，基于所述待测面像，获取待测面的缺陷信息。下面结合具体实施例对本发明光学測量方法的技术方案做进ー步说明。执行步骤SI，提供透明基板，本实施例中透明基板以玻璃为例，但是本发明对此不做限制。本实施例中，在提供玻璃时，使所述玻璃的待测面与用于固定所述玻璃的固定器件相接触，本实施例中，所述玻璃的待测面与用于承载所述透明基板的基台相接触。在其他实施例中，所述玻璃的待测面还可以与悬挂式固定器件的相接触。这样无需采用自动光学检测系统对不同待测面进行重新聚焦，就可以实现对不同厚度玻璃的检测，简化步骤。执行步骤S2，提供至少ー个光源，本实施例中，使所述光源发出的照明光掠入射至基台表面，以照亮与基台表面相接触的待测面。具体地，在使所述光源发出的照明光掠入射至基台表面(即待测面)时，使入射角在80 90°的范围内。在提供光源时可以提供一个位于待测面任意ー侧的光源，或者提供分别位于待测面相对侧的两个光源。对于提供两个光源的情況，具体地，将所述两个光源装配在基台侧面，并且使所述两个光源的发光面朝向基台，从而使光源发出的光掠入射至基台表面，以照亮玻璃的待测面。其中，所提供的光源可以是线性灯或线性激光。优选地，提供线性灯，以使形成的待测面像中缺陷所对应的亮点比较清晰。执行步骤S3，通过成像単元使所述透明基板的待测面成像，形成待测面像。具体地，可以通过凸透镜使所述透明基板的待测面成像，以形成待测面像，但是本发明对此不做限制，所述成像单元还可以是包括多个透镜的透镜组。执行步骤S4，通过数据获取单元获取缺陷信息，本实施例中，数据获取単元先将待测面像转换为电信号，之后，根据所述电信号分析待测面的缺陷信息。需要说明的是，为了对较大尺寸的透明基板进行光学检测。所述光学測量方法还包括使所述成像単元和所述数据获取单元沿与待测面平行的平面同步移动，以获取待测面不同位置处缺陷信息。具体地，所述成像単元和数据获取単元可以先沿Y轴上透明基板不同位置进行扫描，之后，再沿X轴移动到达另ー測量位置再沿Y轴进行扫描，以完成对整个透明基板的扫描。在其他实施例中，还可以使所述数据获取单元沿与待测面垂直的Z轴移动，以改变数据获取单元与成像単元之间的间距，进而保证数据获取单元位于所述待测面像的像面位置处。综上，本发明提供ー种光学測量装置和光学測量方法，通过照亮透明基板的待测面，对所述待测面进行成像，并基于对待测面像的分析获得待测面的缺陷信息，从而使所述缺陷信息更加准确和具有针对性。本发明虽然已以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定本发明，任何本领域技术人员在不脱离本发明的精神和范围内，都可以利用上述掲示的方法和技术内容对本发明技术方案做出可能的变动和修改，因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化及修饰，均属于本发明技术方案 的保护范围。
权利要求
1.ー种光学測量装置，用于测量透明基板，其特征在于，包括 照明単元，用于照亮所述透明基板的待测面； 成像単元，用于使所述待测面成像； 数据获取単元，位于所述待测面的像面位置处，用于根据所述待测面像获取待测面的缺陷信息。
2.如权利要求I所述的光学測量装置，其特征在于，所述光学測量装置还包括固定所述透明基板的固定器件，所述固定器件与所述透明基板的待测面相接触。
3.如权利要求2所述的光学測量装置，其特征在于，所述固定器件为支撑式固定器件，所述透明基板位于所述支撑式固定器件的上方，所述透明基板的待测面与所述支撑式固定 器件的上表面相接触。
4.如权利要求3所述的光学測量装置，其特征在于，所述成像単元位于支撑式固定器件的上方，所述数据获取单元位于所述成像单元的上方。
5.如权利要求3所述的光学測量装置，其特征在于，所述支撑式固定器件为基台。
6.如权利要求2所述的光学測量装置，其特征在于，所述固定器件为悬挂式固定器件，所述透明基板的待测面与所述悬挂式固定器件的底部相接触。
7.如权利要求6所述的光学測量装置，其特征在于，所述固定器件包括固定于透明基板上表面边缘位置处的两个悬挂式固定器件，所述透明基板位于所述两个悬挂式固定器件的下方，所述透明基板的待测面与所述两个悬挂式固定器件的底部相接触。
8.如权利要求6或7所述的光学測量装置，其特征在于，所述成像単元位于透明基板下方，所述数据获取单元位于所述成像単元的下方。
9.如权利要求7所述的光学測量装置，其特征在于，所述成像単元位于透明基板上方，所述数据获取单元位于所述成像单元的上方。
10.如权利要求7所述的光学測量装置，其特征在于，所述悬挂式固定器件包括固定部、连接部、吸盘，所述固定部通过连接部与吸盘连接在一起，所述吸盘与所述透明基板上表面的边缘位置处相接触。
11.如权利要求7所述的光学測量装置，其特征在于，所述悬挂式固定器件包括固定部、连接部、夹持部，所述固定部通过连接部与夹持部的顶面连接在一起，透明基板的端部嵌入至所述夹持部内，与夹持部紧密接触，以实现固定。
12.如权利要求I所述的光学測量装置，其特征在于，所述照明単元包括至少ー个光源，所述光源发出的光掠入射至待测面。
13.如权利要求12所述的光学測量装置，其特征在于，所述照明単元包括位于待测面任意ー侧的光源。
14.如权利要求12所述的光学測量装置，其特征在于，所述照明単元包括分别位于待测面相对侧的两个光源。
15.如权利要求14所述的光学測量装置，其特征在于，所述光学測量装置还包括用于承载所述透明基板的基台，所述透明基板的待测面与基台表面相接触，所述两个光源装配于 基台侧面，所述两个光源的发光面朝向基台。
16.如权利要求12 15任意ー权利要求所述的光学測量装置，其特征在于，所述光源为线性灯或线性激光。
17.如权利要求12所述的光学測量装置，其特征在于，所述光源发出的光入射待测面的入射角在80 90°的范围内。
18.如权利要求I所述的光学測量装置，其特征在于，所述成像単元为凸透镜。
19.如权利要求I所述的光学測量装置，其特征在于，所述数据获取单元为图像传感器。
20.如权利要求19所述的光学式測量装置，其特征在于，所述图像传感器为CMOS图像传感器或CXD图像传感器。
21.如权利要求I所述的光学式測量装置，其特征在于，所述成像単元和所述数据获取单元集成在一起。
22.如权利要求I所述的光学測量装置，其特征在于，所述光学測量装置还包括扫描单元，所述扫描单元与成像单元和数据获取单元固定在一起，所述扫描单元能沿与待测面平行的平面移动，以带动所述成像単元和所述数据获取单元移动，获取待测面不同位置处的缺陷信息。
23.如权利要求I所述的光学測量装置，其特征在于，还包括扫描单元，所述扫描単元与所述数据获取单元固定在一起，所述扫描単元用于沿与待测面垂直的方向移动，用于带动数据获取单元移动，以使数据获取単元位于所述待测面像的像面位置处。
24.如权利要求I所述的光学測量装置，其特征在于，所述透明基板为玻璃。
25.—种光学测量方法,其特征在于,包括 提供透明基板； 提供照明光，使所述照明光照亮所述透明基板的待测面； 使所述透明基板的待测面成像，形成待测面像； 基于所述待测面像，获取待测面的缺陷信息。
26.如权利要求25所述的光学測量方法，其特征在于，所述提供透明基板的步骤包括提供固定所述透明基板的固定器件，使所述固定器件与所述透明基板的待测面相接触。。
27.如权利要求25所述的光学測量方法，其特征在于，提供至少ー个光源，以提供照明光，使所述光源发出的照明光掠入射至待测面。
28.如权利要求27所述的光学測量方法，其特征在干，所述提供至少ー个光源的步骤包括提供一个位于待测面任意ー侧的光源。
29.如权利要求27所述的光学測量方法，其特征在于，所述提供至少ー个光源的步骤包括提供分别位于待测面相对侧的两个光源。
30.如权利要求29所述的光学測量方法，其特征在于，所述提供透明基板的步骤包括，提供用于承载所述透明基板的基台，使所述透明基板的待测面与基台表面相接触；所述提供分别位于待测面相对侧的两个光源的步骤包括将所述两个光源装配在基台侧面，并且使所述两个光源的发光面朝向基台。
31.如权利要求27 30任意ー权利要求所述的光学测量方法,其特征在于,提供光源的步骤包括提供线性灯或线性激光。
32.如权利要求27所述的光学測量方法，其特征在于，使所述光源发出的照明光掠入射至待测面的步骤包括使所述照明光以80 90°的入射角入射至待测面。
33.如权利要求25所述的光学測量方法，其特征在于，使所述透明基板的待测面成像，形成待测面像的步骤包括通过凸透镜使所述透明基板的待测面成像，形成待测面像。
34.如权利要求25所述的光学測量方法，其特征在于，所述基于所述待测面像，获取待测面的缺陷信息的步骤包括 将待测面像转换为电信号； 根据所述电信号获得缺陷信息。
35.如权利要求25所述的光学测量方法,其特征在于， 通过成像単元使所述透明基板的待测面成像，形成待测面像； 通过数据获取单元获取待测面的缺陷信息； 使所述成像単元和所述数据获取单元沿与待测面平行的平面同步移动，以获取待测面不同位置处缺陷信息。
36.如权利要求25所述的光学測量方法，其特征在干，通过数据获取单元获取待测面的缺陷信息；使所述数据获取单元沿与待测面垂直的方向移动，以使所述数据获取单元位于所述待测面像的像面位置处。
全文摘要
一种光学测量装置和光学测量方法，用于测量透明基板，所述光学测量装置包括照明单元，用于照亮所述透明基板的待测面；成像单元，用于使所述待测面成像；数据获取单元，位于所述待测面的像面位置处，用于根据所述待测面像获取待测面的缺陷信息。所述光学测量方法包括提供透明基板；提供照明光，使所述照明光照亮所述透明基板的待测面；使所述透明基板的待测面成像，形成待测面像；基于所述待测面像，获取待测面的缺陷信息。本发明可以获得较高的测量准确度。
文档编号G01N21/958GK102645437SQ20121010637
公开日2012年8月22日 申请日期2012年4月11日 优先权日2012年4月11日
发明者史伟杰, 孙晓伟, 郑媛, 陈大志 申请人:法国圣戈班玻璃公司